微电子元件及其制备方法、电子设备技术

本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，涉及集成电路技术领域。微电子元件包括基底、至少两个调节件、支撑结构和微镜结构；至少两个调节件沿第一方向排布，各调节件的第一端设置于基底，各调节件的第二端可沿第二方向伸缩设置；支撑结构包括支撑梁、支撑柱和转动梁，支撑梁连接调节件的第二端，支撑梁远离基底的表面通过支撑柱连接转动梁，转动梁远离支撑梁的表面连接微镜结构。本申请能够解决微电子元件的结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大的问题。程难度大的问题。程难度大的问题。

【技术实现步骤摘要】
微电子元件及其制备方法、电子设备


[0001]本申请涉及集成电路的领域，尤其涉及微电子元件及其制备方法、电子设备。

技术介绍

[0002]微振镜是一种常见的微电子结构，广泛应用于汽车激光雷达等领域，随着汽车自动驾驶技术的发展，具有微振镜的微电子元件也在不断地创新与改进。
[0003]目前在具有微振镜的微电子元件中，通常利用电磁驱动等方式实现微振镜偏转角度的调节过程，然而，上述微电子元件结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大。

技术实现思路

[0004]本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，用以解决微电子元件的结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大的问题。
[0005]本申请提供的微电子元件，包括基底、至少两个调节件、支撑结构和微镜结构；
[0006]至少两个所述调节件沿第一方向排布，各所述调节件均可沿第二方向伸缩设置，所述调节件的第一端设置于所述基底；
[0007]所述支撑结构包括支撑梁、支撑柱和转动梁，所述支撑梁连接所述调节件的第二端，所述支撑梁远离所述基底的表面通过所述支撑柱连接所述转动梁，所述转动梁远离所述支撑梁的表面连接所述微镜结构。
[0008]通过采用上述技术方案，通过设置至少两个调节件、支撑结构和微镜结构，并使调节件沿第一方向排布，当需要实现微镜结构偏转角度的调节过程时，各调节件均沿第二方向伸长或缩短，从而带动支撑梁绕垂直于第一方向的转动轴转动，使得支撑梁能够依次带动支撑柱和转动梁转动，进而使转动梁能够带动微镜结构绕垂直于第一方向的转动轴转动，以使微镜结构倾斜，实现微镜结构偏转角度的调节过程，简化了带有微振镜的微电子元件的结构，并且使得微振镜偏转角度的调节过程更加方便。
[0009]在一些可能的实施方式中，所述支撑梁和所述转动梁均沿所述第一方向延伸，所述支撑梁与所述转动梁相对设置；
[0010]所述支撑柱的数量设置为两个，所述支撑柱的第一端连接所述支撑梁，所述支撑柱的第二端连接所述转动梁。
[0011]在一些可能的实施方式中，所述微镜结构包括两个微镜单元和连接部，所述两个微镜单元沿第三方向排布，所述第三方向垂直于所述第一方向，所述两个微镜单元之间设置所述转动梁；
[0012]所述连接部连接所述转动梁远离所述支撑梁的表面，且所述连接部的第一端连接其中一个所述微镜单元，所述连接部的第二端连接另一个所述微镜单元。
[0013]在一些可能的实施方式中，所述基底设置有静电吸引层，以使所述微镜单元靠近或远离所述基底。
[0014]在一些可能的实施方式中，所述静电吸引层包括多个静电吸引部，所述多个静电
吸引部呈多行多列分布。
[0015]在一些可能的实施方式中，所述第二方向垂直于所述第一方向；
[0016]所述调节件的数量设置为三个，其中两个所述调节件各对应设置于所述支撑梁沿所述第一方向的端部，另一个所述调节件设置于所述支撑梁沿所述第一方向的中部。
[0017]在一些可能的实施方式中，所述微镜结构设置有多个，所述多个微镜结构呈多行多列分布；各所述微镜结构均通过一个所述支撑结构连接至少两个所述调节件。
[0018]在一些可能的实施方式中，所述调节件包括可存储电荷的第一极板和第二极板，以及弹性连接件；
[0019]所述第一极板和所述第二极板沿所述第二方向间隔设置，所述第一极板和所述第二极板中的一个连接所述基底，另一个连接所述支撑梁；
[0020]所述弹性连接件的一端连接所述第一极板，另一端连接所述第二极板。
[0021]在一些可能的实施方式中，所述第一极板设置有绝缘层，所述绝缘层连接所述弹性连接件远离所述第二极板的一端；
[0022]和/或，所述第二极板设置有绝缘层，所述绝缘层连接所述弹性连接件远离所述第一极板的一端。
[0023]在一些可能的实施方式中，所述调节件包括电阻导热层、膨胀层和固定层；
[0024]所述膨胀层的第一表面连接所述电阻导热层，所述膨胀层的第二表面连接所述固定层。
[0025]在一些可能的实施方式中，所述膨胀层呈环状设置，所述膨胀层的内侧容置所述固定层；
[0026]所述电阻导热层设置于所述膨胀层的外侧，所述电阻导热层的端部靠近所述基底。
[0027]本申请实施例还提供一种电子设备，包括上述任一项所述微电子元件。
[0028]通过采用上述技术方案，通过设置至少两个调节件、支撑结构和微镜结构，并使调节件沿第一方向排布，当需要实现微镜结构偏转角度的调节过程时，各调节件均沿第二方向伸长或缩短，从而带动支撑梁绕垂直于第一方向的转动轴转动，使得支撑梁能够依次带动支撑柱和转动梁转动，进而使转动梁能够带动微镜结构绕垂直于第一方向的转动轴转动，以使微镜结构倾斜，实现微镜结构偏转角度的调节过程，简化了带有微振镜的微电子元件的结构，并且使得微振镜偏转角度的调节过程更加方便。
[0029]本申请实施例还提供一种微电子元件的制备方法，包括：
[0030]在基底的表面形成第一牺牲层；
[0031]在所述第一牺牲层形成调节件和支撑梁，其中，所述支撑梁形成于所述第一牺牲层远离所述基底的表面；所述调节件的第一端连接所述基底，所述调节件的第二端连接所述支撑梁；
[0032]在所述支撑梁远离所述第一牺牲层的表面形成第二牺牲层；
[0033]在所述第二牺牲层形成支撑柱和转动梁，其中，所述转动梁形成于所述第二牺牲层远离所述支撑梁的表面；所述支撑柱连接所述支撑梁和所述转动梁；
[0034]在所述转动梁远离所述第二牺牲层的表面形成微镜结构；
[0035]去除所述第一牺牲层和所述第二牺牲层。
[0036]通过采用上述技术方案，当制备上述微电子元件时，在基底上形成第一牺牲层，并利用第一牺牲层形成调节件和支撑梁；然后在支撑梁表面形成第二牺牲层，并利用第二牺牲层形成支撑柱和用于连接微镜结构的转动梁；当需要实现微镜结构偏转角度的调节过程时，各调节件均沿第二方向伸长或缩短，从而带动支撑梁绕垂直于第一方向的转动轴转动，使得支撑梁能够依次带动支撑柱和转动梁转动，进而使转动梁能够带动微镜结构绕垂直于第一方向的转动轴转动，以使微镜结构倾斜，实现微镜结构偏转角度的调节过程，简化了带有微振镜的微电子元件的结构，并且使得微振镜偏转角度的调节过程更加方便。
[0037]在一些可能的实施方式中，所述微镜结构包括两个微镜单元，所述制备方法还包括：
[0038]在所述基底形成静电吸引层，以通过所述静电吸引层带动所述微镜单元靠近或远离所述基底。
[0039]在一些可能的实施方式中，在所述第一牺牲层形成调节件的步骤中，包括：
[0040]在所述第一牺牲层形成过渡孔，所述过渡孔沿第二方向的长度等于所述第一牺牲层的厚度；
[0041]在所述过渡孔靠近所述基底的一端形成第一极板；
[0042]在所述第一极板远离所述基底的表面形成弹性连接件；
[0043]在所述弹性连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微电子元件，其特征在于，包括基底、至少两个调节件、支撑结构和微镜结构；至少两个所述调节件沿第一方向排布，各所述调节件的第一端设置于所述基底，各所述调节件的第二端可沿第二方向伸缩设置；所述支撑结构包括支撑梁、支撑柱和转动梁，所述支撑梁连接各所述调节件的第二端，所述支撑梁远离所述基底的表面通过所述支撑柱连接所述转动梁，所述转动梁远离所述支撑梁的表面连接所述微镜结构。2.根据权利要求1所述的微电子元件，其特征在于，所述支撑梁和所述转动梁均沿所述第一方向延伸，所述支撑梁与所述转动梁相对设置；所述支撑柱的数量设置为至少两个，所述支撑柱的第一端连接所述支撑梁，所述支撑柱的第二端连接所述转动梁。3.根据权利要求1所述的微电子元件，其特征在于，所述微镜结构包括两个微镜单元和连接部，所述两个微镜单元沿第三方向排布，所述第三方向垂直于所述第一方向，所述两个微镜单元之间设置所述转动梁；所述连接部连接所述转动梁远离所述支撑梁的表面，且所述连接部的第一端连接其中一个所述微镜单元，所述连接部的第二端连接另一个所述微镜单元。4.根据权利要求3所述的微电子元件，其特征在于，所述基底设置有静电吸引层，以使所述微镜单元靠近或远离所述基底。5.根据权利要求4所述的微电子元件，其特征在于，所述静电吸引层包括多个静电吸引部，所述多个静电吸引部呈多行多列分布。6.根据权利要求1所述的微电子元件，其特征在于，所述第二方向垂直于所述第一方向；所述调节件的数量设置为三个，其中两个所述调节件各对应设置于所述支撑梁沿所述第一方向的端部，另一个所述调节件设置于所述支撑梁沿所述第一方向的中部。7.根据权利要求1所述的微电子元件，其特征在于，所述微镜结构设置有多个，所述多个微镜结构呈多行多列分布；各所述微镜结构均通过一个所述支撑结构连接至少两个所述调节件。8.根据权利要求1
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7任一项所述的微电子元件，其特征在于，所述调节件包括可存储电荷的第一极板和第二极板，以及弹性连接件；所述第一极板和所述第二极板沿所述第二方向间隔设置，所述第一极板和所述第二极板中的一个连接所述基底，另一个连接所述支撑梁；所述弹性连接件的一端连接所述第一极板，另一端连接所述第二极板。9.根据权利要求8所述的微电子元件，其特征在于，所述第一极板设置有绝缘层，所述绝缘层连接所述弹性连接件远离所述第二极板的一端；和/或，所述第二极板设置有绝缘层，所述绝缘层连接所述弹性连接件远离所述第一极板的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：康晓旭，蒋宾，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：