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本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，涉及集成电路技术领域。微电子元件包括基底、至少两个调节件、支撑结构和微镜结构；至少两个调节件沿第一方向排布，各调节件的第一端设置于基底，各调节件的第二端可沿第二方向伸缩设置；支撑结构包括支撑梁、支...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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