【技术实现步骤摘要】
一种液态氩转移装置
[0001]本技术涉及化工类转移装置
,具体是一种液态氩转移装置。
技术介绍
[0002]氩是稀有气体中在空气中含量最多的一个,由于在自然界中含量很多,氩是目前最早发现的稀有气体,化学性极不活泼,不能燃烧,也不能助燃,液态氩的存储温度为
‑
186℃。高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。
[0003]现在的液态氩转移装置,在转移过程中,不能对氩的进行低温运输,有时会破坏液态氩,影响后期使用,转移装置大多为固定的,管道无法延伸或者转角度,不能同时对多组容器进行添加液态氩,而且氩的温度低,可致皮肤冻伤,于是,我们提供了一种液态氩转移装置解决以上问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的就是为了改善上述的技术问题,提供了一种液态氩转移装置。
[0005]技术方案
[0006]本技术提供如下技术方案:一种液态氩转移装置,包括储罐和低温运输管组件,低温运输 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液态氩转移装置,包括储罐(1)和低温运输管组件(7),低温运输管组件(7)包括低温制冷主管道(701)、密封圈(702)、低温制冷活动管道(703)、内置运输氩软管(704)和隔温层(705),其特征在于:所述储罐(1)的顶端设置有第一连接件(2),所述第一连接件(2)的顶端连接有抽氩口(3),所述抽氩口(3)的一端连接有真空泵(4),所述真空泵(4)的顶面设置有旋转底座(5),所述旋转底座(5)的顶部设置有管道头(6),所述管道头(6)的侧面设置有低温运输管组件(7),所述低温运输管组件(7)的一端连接有阀门(8),所述阀门(8)的下方设置有第二连接件(9),所述第二连接件(9)的下方连接有瓶口塞(10),所述瓶口塞(10)的下方连接有输出管(11)。2.根据权利要求1所述的一种液态氩转移装置,其特征在于,所述抽氩口(3)通过第一连接件(2)与储罐(1)之间为螺纹连接,所述第一连接件(2)的顶部贯穿于真空泵(4)。3.根据权利要求1所述的一种液态氩转移装置,其特征在于,所述低温运输管组件(7)与管道头(6)之间为焊接连接,所述低温运输管组件(7)通过旋转底座(5)与储罐(1)构成旋转结构。4.根据权利要求1所述的一种液态氩转移装置,其特征在于,所述低温运输管组件(7)包括低温制冷主管道(701)、密封圈(702)、低温制冷活动管道(703)、内置运输...
【专利技术属性】
技术研发人员:万建余,
申请(专利权)人:福建鑫和联众实业有限公司,
类型:新型
国别省市:
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