基板保持机械手和基板搬运机器人制造技术

一种基板保持机械手和基板搬运机器人，该基板保持机械手(1)具备：叶片(31)，包括支承基板(W)的支承部(311、312)；可移动支承单元(32)，进行用于支承基板的进退移动；可移动按压单元(33、34)，进行用于按压基板的进退移动；以及定位部(35)，对可移动支承单元和可移动按压单元进行共同定位。压单元进行共同定位。压单元进行共同定位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板保持机械手和基板搬运机器人


[0001]该专利技术涉及基板保持机械手和基板搬运机器人，涉及具备可移动支承单元和可移动按压单元的基板保持机械手和基板搬运机器人。

技术介绍

[0002]以往，公知有具备可移动支承单元和可移动按压单元的基板保持机械手。例如在日本特开2013
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69914号公报中公开有这样的机械手。
[0003]在上述日本特开2013
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69914号公报中公开有用于搬运基板的基板搬运用机械手(基板保持机械手)。该基板搬运用机械手具备包括进行用于支承基板的进退移动的基端侧支承部在内的可移动支承单元、和包括进行用于按压基板的进退移动的按压部在内的可移动按压单元。
[0004]专利文献1：日本特开2013
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69914号公报
[0005]这里，虽然在上述日本特开2013
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69914号公报中没有记载，但是在上述日本特开2013
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69914号公报所记载的那样的以往的基板搬运用机械手中，对可移动支承单元和可移动按压单元分别进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板保持机械手，其中，所述基板保持机械手具备：叶片，包括支承基板的支承部；可移动支承单元，进行用于支承所述基板的进退移动；可移动按压单元，进行用于按压所述基板的进退移动；以及定位部，对所述可移动支承单元和所述可移动按压单元进行共同定位。2.根据权利要求1所述的基板保持机械手，其中，所述定位部包括定位销，所述可移动支承单元和所述可移动按压单元分别包括具有能够沿着所述定位销插入所述定位销的销插入孔的被定位部。3.根据权利要求2所述的基板保持机械手，其中，所述定位销设置为能够在与所述叶片的主面垂直的方向上延伸，所述可移动支承单元和所述可移动按压单元通过在沿着与所述叶片的主面垂直的方向排列的状态下将所述定位销插入于所述被定位部的所述销插入孔，而被所述定位销共同定位。4.根据权利要求3所述的基板保持机械手，其中，所述可移动支承单元包括支承所述基板的支承部件，所述可移动按压单元包括按压所述基板的按压部件，从与所述叶片的主面垂直的方向观察，所述支承部件和所述按压部件以不重叠的方式配置，并且，所述可移动支承单元的具有所述销插入孔的所述被定位部和所述可移动按压单元的具有所述销插入孔的所述被定位部以重叠的方式配置。5.根据权利要求4所述的基板保持机械手，其中，所述支承部件包括一对支承部件，所述按压部件包括一对按压部件，从与所述叶片的主面垂直的方向观察，所述一对支承部件和所述一对按压部件相对于在所述可移动支承单元和所述可移动按压单元的进退方向上延伸的中心线配置于对称的位置，从与所述叶片的主面垂直的方向观察，所述销插入孔相对于所述中心线配置于一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水一平，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：