温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基板保持机械手和基板搬运机器人，该基板保持机械手(1)具备：叶片(31)，包括支承基板(W)的支承部(311、312)；可移动支承单元(32)，进行用于支承基板的进退移动；可移动按压单元(33、34)，进行用于按压基板的进退移动；以及定...
该专利属于川崎重工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过川崎重工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。