一种多结半导体器件光学检测设备和光学检测方法技术

本发明专利技术提供一种多结半导体器件的光学检测设备和方法。所述多结半导体器件光学检测设备包括：移动工作台，用于放置待测多结半导体器件并能够沿第一方向和第二方向移动；多个激发光源，适于同时照射所述多结半导体器件，以使所述多结半导体器件的每一结半导体材料分别产生光致发光；多个图像记录装置，适于分别捕获所述多结半导体器件的每一结半导体材料被激发后发出的辐射光并形成每结半导体材料的图像。根据本申请的多结半导体器件的光学检测设备和光学检测方法，实现了通过一次性检测获得多结半导体器件中的每一结半导体材料的性质，极大地减少了检测的工作量，提高了工作效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种多结半导体器件光学检测设备和光学检测方法


[0001]本申请属于半导体器件检测
,具体涉及一种多结半导体器件的光学检测设备和光学检测方法。

技术介绍

[0002]基于多结半导体材料构成的半导体器件，如多结太阳能电池、多结探测器、多结激光器等，具有广泛的应用，但是在研发和生产制造过程中，需要准确检测和识别每结半导体材料的质量，如缺陷分布、厚度分布等等。
[0003]光致发光(PL)是指物体依赖外界光源进行照射，从而获得能量，产生激发导致发光的现象。辐射出的光子能量与基态和激发态之间的能量差值相关。选择特定波长的光源激发材料，可反映半导体材料带隙等信息。光致发光是一种高效、非接触以及无损的检测手段，被广泛应用半导体材料表征与分析。光致发光的谱图和图像在半导体检测领域中，可被用于半导体材料的带隙检测、缺陷侦查以及杂质探测等。
[0004]在现有的多结半导体器件PL检测装置中，一般一次只能检测多结材料中的一个结的材料性质，无法满足多吸收波段组合的多结半导体器件的实际检测需要。而通过调节光源波段或使用多个机台分别检测每一结的性质本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多结半导体器件光学检测设备，包括：移动工作台，所述移动工作台用于放置待测多结半导体器件并能够沿第一方向和与第一方向相交的第二方向移动；多个激发光源，所述多个激发光源适于同时照射所述多结半导体器件，以使所述多结半导体器件的每一结半导体材料分别产生光致发光；多个图像记录装置，所述多个图像记录装置适于分别捕获所述多结半导体器件的每一结半导体材料被激发后发出的辐射光并形成每一结半导体材料的图像。2.根据权利要求1所述的多结半导体器件光学检测设备，其中，所述多个激发光源所发射的激发光线的波长分别对应于所述多结半导体器件的每一结半导体材料的光吸收波长。3.根据权利要求1所述的多结半导体器件光学检测设备，其中，所述多个图像记录装置分别包括多个滤镜，以使得每个图像记录装置仅捕获与其对应的一结半导体材料被激发后发出的辐射光。4.根据权利要求1所述的多结半导体器件光学检测设备，其中，所述多个激发光源的每一个均为线型激光光源。5.根据权利要求1所述的多结半导体器件光学检测设备，还包括图像处理装置，所述图像处理装置适于处理所述多个图像记录装置传送的图像以对每一结半导体材料的质量进行评估。6.根据权利要求1所述的多结半导体器件光学检测设备，还包括多个光源固定装置，用于分别固定所述多个激发光源，每个光源固定装置包括调节支架，用于调节每个激发光源的光照射角度。7.根据权利要求1所述的多结半导体器件光学检测设备，还包括图像记录装置固定装置，所述图像记录装置固定装置用于将所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宇荧，莫晓亮，褚君浩，王伟明，
申请(专利权)人：江苏宜兴德融科技有限公司，
类型：发明
国别省市：