【技术实现步骤摘要】
电池氧化铝钝化性能的确定方法、电子设备及存储介质
[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种电池氧化铝钝化性能的确定方法、电子设备及存储介质。
技术介绍
[0002]在目前太阳能电池的生产中，电池正面的表面复合问题是影响电池效率提升的一个重要因素，因此需要对电池正面进行钝化处理，以减少电池的表面复合从而提升电池效率。目前，太阳能电池生产线中，对电池正面进行钝化处理主要采用的方法是：在电池正面的表面沉积薄层氧化铝。由于氧化铝表面含有大量表面负电荷及氢键，因此可以起到优良的场钝化作用和化学钝化作用，从而有效减少太阳能电池的表面复合以提升电池效率。
[0003]然而，在实际太阳能电池的生产中，生产工序较多且大多工序的工艺时间也较长，当电池的生产线出现异常时，相关技术人员较难排查出具体异常工序和异常原因，从而可能会造成大量太阳能电池或产线流转在制品不合格，进而对企业造成较大经济损失。并且，由于薄层氧化铝的膜厚测试方法复杂且时间长的问题，薄膜氧化铝日常并不作为太阳能电池生产过程中质量管控的监控项。目前大多仅是在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电池氧化铝钝化性能的确定方法，其特征在于，包括：将氧化铝设备维护周期划分为M个时段，并在每个时段下，分别对对应组的硅片依次进行双面氧化铝镀膜处理和双面氮化硅镀膜处理，得到各个时段对应的测试硅片组；其中，M为正整数；在每个时段下，对对应的测试硅片组中第一预设数量的硅片进行氧化铝钝化性能测试，得到对应时段下测试硅片组的第一测试结果；基于每个时段下的第一测试结果，确定每个时段下测试硅片组中硅片上氧化铝的钝化性能，以便于在测试硅片组中硅片上氧化铝的钝化性能不稳定的时段对产线工艺进行调整或对氧化铝设备进行维护。2.根据权利要求1所述的电池氧化铝钝化性能的确定方法，其特征在于，在每个时段下，分别对对应组的硅片依次进行双面氧化铝镀膜处理和双面氮化硅镀膜处理之前，还包括：获取满足预设电阻率范围的N个硅片，并将所述硅片进行双面碱抛光处理；其中，N为正整数；对双面碱抛光处理后表面反射率满足第一预设条件的所有硅片进行分组，得到M个硅片组；将所有硅片组对应到氧化铝设备维护周期的各个时段，以在不同时段对对应的硅片组中的硅片进行处理。3.根据权利要求2所述的电池氧化铝钝化性能的确定方法，其特征在于，所述预设电阻率范围为~或者~。4.根据权利要求2或3所述的电池氧化铝钝化性能的确定方法，其特征在于，所述将所述硅片进行双面碱抛光处理，包括：基于第一预设浓度的氢氧化钾溶液和第二预设浓度的过氧化氢溶液对所有硅片进行第一次清洗，并对第一次清洗后的硅片进行第一次水洗；基于第三预设浓度的氢氧化钾溶液和第四预设浓度的添加剂对第一次水洗后的硅片进行抛光，并对抛光后的硅片进行第二次水洗；基于第五预设浓度的氯化氢溶液和第六预设浓度的氟化氢溶液对第二次水洗后的硅片进行第二次清洗，并在慢提拉槽内对第二次清洗后的硅片进行慢提拉水洗；对慢提拉水洗后的硅片进行烘干处理。5.根据权利要求1至3中任一项所述的电池氧化铝钝化性能的确定方法，其特征在于，所述在每个时段下，对对应的测试硅片组中第一预设数量的硅片进行氧化铝钝化性能测试，得到对应时段下测试硅片组的第一测试结果，包括：在每个时段下，分别对对应的测试硅片组中第一预设数量的硅片进行第一PL测试和第一Sinton测试，得到对应时段下测试硅片组中第一预设数量的硅片的第一PL图像和第一iVOC值；基于所述第一PL图像和所述第一iVOC值得到每个时段下测试硅片组的第一测试结果。6.根据权利要求5所述的电池氧化铝钝化性能的确定方法，其特征在于，所述基于每个时段下的第一测试结果，确定每个时段下测试硅片组中硅片上氧化铝的钝化性能，包括：当每个时段下的第一PL图像的第一亮度满足第二预设条件，且第一PL图像的第...
【专利技术属性】
技术研发人员：李倩，王静，张东升，吝占胜，李青娟，何广川，李志彬，刘新玉，魏双双，冉祖辉，李龙，陈晨，刘伟，于波，张树骞，
申请(专利权)人：英利能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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