晶圆检测平台制造技术

本实用新型专利技术实施例提供的一种晶圆检测平台例如包括：检测台架；激光产生组件，设置在所述检测台架上；快门组件，包括普克尔斯盒和偏振片，所述普克尔斯盒和所述偏振片分别设置在所述检测台架上；扩束组件，设置在所述检测台架上；起偏器，设置在所述检测台架上；光路整形组件，设置在所述检测台架上；以及图像采集检测组件，设置在是检测台架上。本实用新型专利技术的实施例提供的晶圆检测平台具有极高的频率、极短的响应时间，能够长时间使用，且满足晶圆检测的多种需求。的多种需求。的多种需求。

【技术实现步骤摘要】
晶圆检测平台


[0001]本技术涉及晶圆检测
，尤其涉及一种晶圆检测平台。

技术介绍

[0002]晶圆的检测通常是采用图像采集检测组件进行检测。而在检测设备中需要用到快门组件。目前在晶圆检测平台上常用的是Thorlabs SHB025光学叶片式快门，其最高连续运行频率为15HZ，最高爆发式运行频率为50HZ。然而，由于叶片式快门连续开关可能导致过热的原因，使得叶片式快门无法长时间工作，从而无法满足晶圆检测平台对快门频率的要求。此外，机械式快门的响应时间一般为毫秒级别，其无法完全满足检测需求。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的至少部分不足和缺陷，本技术的实施例提供的一种晶圆检测平台，具有极高的频率、极短的响应时间，能够长时间使用，且满足晶圆检测的多种需求。
[0004]具体地，本技术实施例提供的一种晶圆检测平台，例如包括：检测台架；激光产生组件，设置在所述检测台架上；快门组件，包括普克尔斯盒和偏振片，所述普克尔斯盒和所述偏振片分别设置在所述检测台架上；扩束组件，设置在所述检测台架上；起偏器，设置在所述检测台架上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测平台，其特征在于，包括：检测台架；激光产生组件，设置在所述检测台架上；快门组件，包括普克尔斯盒和偏振片，所述普克尔斯盒和所述偏振片分别设置在所述检测台架上；扩束组件，设置在所述检测台架上；起偏器，设置在所述检测台架上；光路整形组件，设置在所述检测台架上；以及图像采集检测组件，设置在是检测台架上；其中，所述激光产生组件用于产生激光光束；所述普克尔斯盒用于对所述激光光束的偏振方向进行调制，得到调制后光束；所述偏振片用于控制所述调制后光束的通过或不通过；所述扩束组件用于对通过所述偏振片的所述调制后光束进行扩束处理，得到扩束后光束；所述起偏器用于对所述扩束后光束的偏振处理，得到偏振处理后光束；所述光路整形组件用于对所述偏振处理后光束进行整形处理，得到整形后光束、并将所述整形后光束传导到待测晶圆上；所述图像采集检测组件用于对所述待测晶圆进行图像采集和检测。2.如权利要求1所述的晶圆检测平台，其特征在于，所述检测台架包括：底板；第一腔体与第二腔体，所述第一腔体与所述第二腔体均设置于所述底板上；第三腔体，设置在所述第一腔体上远离所述底板的一侧、且抵靠所述第一腔体的一侧和所述第二腔体的一侧；所述激光产生组件发出的激光光线依次经过第三腔体、第二腔体与第一腔体，所述第三腔体与所述第二腔体连通，所述快门组件设于所述第三腔体与所述第二腔体的光路上，所述光路整形组件设置在所述第一腔体内侧，所述图像采集检测组件设置在所述底板上，所述待测晶圆位于所述底板远离所述第一腔体的一侧。3.如权利要求2所述的晶圆检测平台，其特征在于，所述晶圆检测平台还包括第一光束方向调节组件，所述第一光束方向调节组件设置是所述第三腔体内、且用于将所述激光产生组件产生的所述激光光束传导至所述快门组件。4.如权利要求3所述的晶圆检测平台，其特征在于，所述晶圆检测平台还包括光束稳定探测与调节组件，所述光束稳定探测与调节组件包括：光束稳定探测器，设置在所述第三腔体内；压电可调镜架，设置在所述第三腔体内，所述第一光束方向调节组件设置在所述压电可调镜架上；以及控制单元，设置在所述第三腔体上且电连接所述光束稳定探测器和所述压电可调镜架；其中，所述光束稳定探测器用于接收所述激光产生组件产生的所述激...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗思语，黄有为，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：