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本实用新型实施例提供的一种晶圆检测平台例如包括：检测台架；激光产生组件，设置在所述检测台架上；快门组件，包括普克尔斯盒和偏振片，所述普克尔斯盒和所述偏振片分别设置在所述检测台架上；扩束组件，设置在所述检测台架上；起偏器，设置在所述检测台架上...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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