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本发明提供一种多结半导体器件的光学检测设备和方法。所述多结半导体器件光学检测设备包括：移动工作台，用于放置待测多结半导体器件并能够沿第一方向和第二方向移动；多个激发光源，适于同时照射所述多结半导体器件，以使所述多结半导体器件的每一结半导体材...
该专利属于江苏宜兴德融科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宜兴德融科技有限公司授权不得商用。

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