一种经济性高的双光源切换光刻照明系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种经济性高的双光源切换光刻照明系统，其包括底板、前后活动设置在所述底板上的LED安装座、固定在所述LED安装座右侧表面上的第一光源与第二光源、位于所述LED安装座右侧且沿同一光学母线依次设置的光通、第一准直透镜与第二准直透镜、以及驱动所述LED安装座前后运动的驱动件。本实用新型专利技术极大的降低了功耗和热管理的压力，同时消除了不必要的杂散光，提高系统的噪声抑制水平。提高系统的噪声抑制水平。提高系统的噪声抑制水平。

【技术实现步骤摘要】
一种经济性高的双光源切换光刻照明系统


[0001]本技术属于无掩膜光刻
，具体的说涉及一种经济性高的双光源切换光刻照明系统。

技术介绍

[0002]无掩膜光刻机的核心组件之一就是曝光光源，光刻机通过特制的照明光路将曝光光源的圆形光斑整形为我们需要的矩形光斑，然后投射到数字微镜DMD表面上，经过数字微镜的图形变换再将光源反射到特制的成像光路中，最后可实现将图形投影到对应的PCB板上，进行曝光工作。
[0003]现有技术专利公开号为CN112965340A公开了一种紧凑型无掩模光刻系统及其曝光方法，其进一步的公开了一种将紫外光刻光源与照明、对准光源集于一体的集成光刻光源，其包括照明光源面、一个红光LED以及多个紫光LED，所述红光LED位于照明光源面正中心，多个紫光LED以红光LED为中心对称点，环状等间距排布在照明光源面上。该照明光源中，虽然实现了光刻照明与对准两种光源，满足了曝光需求，但两种光源置于一个平面上，整个光学镜筒的直径需要做的更大，不利于小型化设计；且由于紫外光环绕中心的红外光光源设计，外部的紫外光不处于光学母线上，后续需要配置较为复杂的准直匀光系统，导致整体的光学镜片较多，增加了制作成本。
[0004]因此，有必要提供一种新的经济性高的双光源切换光刻照明系统来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种经济性高的双光源切换光刻照明系统，满足曝光工艺中对准、紫外光曝光的光源需求，更加有利于实现小型化设计，且结构简单，制作成本低。r/>[0006]本技术通过如下技术方案实现上述目的：一种经济性高的双光源切换光刻照明系统，其包括底板、前后活动设置在所述底板上的LED安装座、固定在所述LED安装座右侧表面上的第一光源与第二光源、位于所述LED安装座右侧且沿同一光学母线依次设置的光通、第一准直透镜与第二准直透镜、以及驱动所述LED安装座前后运动的驱动件。
[0007]进一步的，所述第一光源的波长为550nm；所述第二光源的波长为405nm。
[0008]进一步的，所述第一光源为黄光LED；所述第二光源为紫外光LED。
[0009]进一步的，所述底板上安装有前后设置的滑轨，所述LED安装座通过滑块活动设置在所述滑轨上，所述驱动件驱动所述LED安装座前后移动，实现所述第一光源与所述第二光源在所述光学母线上的位置切换。
[0010]进一步的，所述驱动件为气缸驱动或微型电机驱动。
[0011]进一步的，所述LED安装座的左侧表面上设置有散热片模组。
[0012]进一步的，所述第一光源和所述第二光源通过导热硅胶安装在所述LED安装座上。
[0013]进一步的，所述光通安装在一旋转盘上，所述旋转盘旋转设置在一旋转支座上，在调整好所述光通的角度后通过锁紧件锁紧固定；所述旋转支座固定在所述底板上。
[0014]进一步的，所述底板上设置有左右方向延伸的条形槽，所述第一准直透镜与所述第二准直透镜通过透镜底座位置能够调节的设置在所述底板上，且通过锁紧结构穿过所述条形槽锁紧固定。
[0015]与现有技术相比，本技术一种经济性高的双光源切换光刻照明系统的有益效果在于：在LED安装座上设置了第一光源与第二光源，其中第一光源为黄光满足曝光工艺中掩膜图形对准需求，第二光源为紫外光满足曝光需求；两个光源通过驱动件进行水平移动实现在光学母线上的位置切换，根据工艺需求选择性的则其中一光源于光学母线位置上，无需增加镜筒直径，更加有利于实现小型化设计；整体结构简单，且由于作用光源位于光学母线上，无需复杂的准直云光聚焦系统，制作成本低。
【附图说明】
[0016]图1为本技术实施例的爆炸结构示意图；
[0017]图2为本技术实施例的立体结构示意图；
[0018]图中数字表示：
[0019]100
‑
经济性高的双光源切换光刻照明系统；
[0020]1‑
底板；2
‑
LED安装座；3
‑
第一光源；4
‑
第二光源；5
‑
光通；6
‑
第一准直透镜；7
‑
第二准直透镜；8
‑
驱动件；9
‑
滑轨；10
‑
散热片模组；11
‑
导热硅胶；12
‑
旋转盘；13
‑
旋转支座；14
‑
条形槽；15
‑
透镜底座。
【具体实施方式】
[0021]实施例：
[0022]请参照图1
‑
图2，本实施例为一种经济性高的双光源切换光刻照明系统100，其包括底板1、前后活动设置在底板1上的LED安装座2、固定在LED安装座2右侧表面上的第一光源3与第二光源4、位于LED安装座2右侧且沿同一光学母线依次设置的光通5、第一准直透镜6与第二准直透镜7、以及驱动LED安装座2前后运动的驱动件8。
[0023]第一光源3的波长为550nm，优选为黄光，实现对准功能；第二光源4的波长为405nm，优选为紫外光，实现曝光功能。
[0024]底板1上安装有前后设置的滑轨9，LED安装座2通过滑块活动设置在滑轨9上，通过所述驱动件驱动LED安装座2前后移动，实现第一光源3与第二光源4在所述光学母线上的位置切换，进而实现对准与曝光功能的自动切换。
[0025]所述驱动件8为气缸驱动或微型电机驱动。
[0026]为了保障第一光源3与第二光源4工作时的散热效果，LED安装座2的左侧表面上设置有散热片模组10，且第一光源3和第二光源4通过导热硅胶11安装在LED安装座2上，提高导热与散热效果，保障照明系统的性能。
[0027]光通5是一个把点光源通过内部多次反射达到匀光作用的器件，也叫匀光管。通常由四片镀有反射膜层的光学玻璃或者一个整体的外表面抛光的光学玻璃棒构成，可在市面上购买获得。光通5安装在一旋转盘12上，旋转盘12旋转设置在旋转支座13上，在调整好光
通5的角度后通过锁紧件(如顶丝)锁紧固定。旋转支座13固定在底板1上。
[0028]底板1上设置有左右方向延伸的条形槽14，第一准直透镜6与第二准直透镜7通过透镜底座15位置能够调节的设置在底板1上，且通过锁紧结构穿过条形槽14锁紧固定，可根据需求调节第一准直透镜6与第二准直透镜7之间的间距。为了方便调节第一准直透镜6与第二准直透镜7之间的距离，底板1上设置有刻度标记(图中未标示)。
[0029]本实施例为一种经济性高的双光源切换光刻照明系统100的工作原理为：控制驱动件8的控制器在收到上位机的指令后，开始动作，将对应的第一光源3或第二光源4移动至所述光学母线位置上，然后第一光源3或第二光源4开启发光，光线经过LED光源前端的汇聚透镜，聚焦在光通5的入口处，然后经过光通5内部的反复多次反射后，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种经济性高的双光源切换光刻照明系统，其特征在于：其包括底板、前后活动设置在所述底板上的LED安装座、固定在所述LED安装座右侧表面上的第一光源与第二光源、位于所述LED安装座右侧且沿同一光学母线依次设置的光通、第一准直透镜与第二准直透镜、以及驱动所述LED安装座前后运动的驱动件。2.如权利要求1所述的一种经济性高的双光源切换光刻照明系统，其特征在于：所述第一光源的波长为550nm；所述第二光源的波长为405nm。3.如权利要求2所述的一种经济性高的双光源切换光刻照明系统，其特征在于：所述第一光源为黄光LED；所述第二光源为紫外光LED。4.如权利要求1所述的一种经济性高的双光源切换光刻照明系统，其特征在于：所述底板上安装有前后设置的滑轨，所述LED安装座通过滑块活动设置在所述滑轨上，所述驱动件驱动所述LED安装座前后移动，实现所述第一光源与所述第二光源在所述光学母线上的位置切换。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪燕，陈凡，陈小林，张俊飞，
申请(专利权)人：复拓科学仪器苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：