下载一种经济性高的双光源切换光刻照明系统的技术资料

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本实用新型公开了一种经济性高的双光源切换光刻照明系统,其包括底板、前后活动设置在所述底板上的LED安装座、固定在所述LED安装座右侧表面上的第一光源与第二光源、位于所述LED安装座右侧且沿同一光学母线依次设置的光通、第一准直透镜与第二准直透...
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