光刻板清洗治具制造技术

提供一种光刻板清洗治具，其包括第一板体、第二板体、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆，第一板体和第二板体彼此间隔开且彼此面对，第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆均位于第一板体和第二板体之间、各沿前后方向延伸并将第一板体和第二板体连接；第一连接杆和第二连接杆彼此间隔开，第三连接杆与第一连接杆和第二连接杆间隔开，第三连接杆位于第一连接杆和第二连接杆的下方；第一板体、第二板体、第一连接杆、第二连接杆以及第三连接杆围成在上下左右四侧内外连通的空间；第一连接杆设有的第一卡槽和第二连接杆设有的第二卡槽用于分别收容并卡住光刻板的左右两侧，第三连接杆设有的第三卡槽用于收容并支撑光刻板的底侧。的第三卡槽用于收容并支撑光刻板的底侧。的第三卡槽用于收容并支撑光刻板的底侧。

【技术实现步骤摘要】
光刻板清洗治具


[0001]本公开涉及清洗治具领域，更具体地涉及一种光刻板清洗治具。

技术介绍

[0002]光刻板清洗一般使用的是机器自动清洗或手动清洗，其中手动清洗时需要设计专门清洗治具用于盛放光刻板。
[0003]于2022年7月8日公布的中国专利技术专利申请公布号CN114721231A公开了一种用于光刻版清洗的工装夹具，采用四个支柱连接方框型的顶部卡槽板和底部卡槽板，顶部卡槽板和底部卡槽板分别设有卡住光刻板的上部和底部的左右两侧的卡槽，底部卡槽板内设有中间板，中间板支撑光刻板的底面，中间板的底部设有滤网。针对同一个光刻板，顶部卡槽板和底部卡槽板共有四个卡槽，而四个卡槽会对光刻板的在四个卡槽处的两面清洗产生影响。中间板的设置将底部卡槽板完全封闭，尽管滤网供清洗液通过，但是影响了清洗液在上下方向的流动和流通，从而影响光刻板的清洗。此外，四个支柱因为是杆件，竖直方向受到承压而会因杆的挠曲使得工装夹具的结构稳定性减弱。因此有必要在光刻板清洗的治具上进一步进行改进。

技术实现思路

[0004]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻板清洗治具，其特征在于，光刻板清洗治具(100)包括第一板体(1)、第二板体(2)、第一连接杆(3)、第二连接杆(4)、第三连接杆(5)，第一板体(1)和第二板体(2)在前后方向(D1)上彼此间隔开且彼此面对，第一连接杆(3)、第二连接杆(4)、第三连接杆(5)均位于第一板体(1)和第二板体(2)之间、各沿前后方向(D1)延伸并将第一板体(1)和第二板体(2)连接；第一连接杆(3)和第二连接杆(4)在左右方向(D2)彼此间隔开，第三连接杆(5)在上下方向(D3)上与第一连接杆(3)和第二连接杆(4)间隔开，第三连接杆(5)位于第一连接杆(3)和第二连接杆(4)的下方；第一板体(1)、第二板体(2)、第一连接杆(3)、第二连接杆(4)以及第三连接杆(5)围成在上下左右四侧内外连通的空间(S)；第一连接杆(3)设有第一卡槽(31)，第二连接杆(4)设有第二卡槽(41)，第三连接杆(5)设有第三卡槽(51)，第一卡槽(31)和第二卡槽(41)用于分别收容并卡住光刻板(200)的左右两侧以使光刻板(200)的左右两侧仅由第一卡槽(31)和第二卡槽(41)来卡住，第三卡槽(51)用于收容并支撑光刻板的底侧以使光刻板(200)的底侧仅存在有第三连接杆(5)。2.根据权利要求1所述的光刻板清洗治具，其特征在于，第一连接杆(3)和第二连接杆(4)位于第一板体(1)的顶缘(11)的下方和第二板体(2)的顶缘(21)的下方。3.根据权利要求1所述的光刻板清洗治具，其特征在于，第一连接杆(3)位于第一板体(1)的左缘(12)的右侧和第二板体(2)的左缘(22...

【专利技术属性】
技术研发人员：游曼辉，张伟，许涛，陈洋，陈棚，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：