下载光刻板清洗治具的技术资料

文档序号:37340433

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种光刻板清洗治具,其包括第一板体、第二板体、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆,第一板体和第二板体彼此间隔开且彼此面对,第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆均位于第一板体和第二板体之间、各沿前后方向延伸并将第一板体和第二板体连接;第一连...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。