固定支架、气缸组件及检测设备制造技术

本实用新型专利技术实施例公开的一种固定支架包括：固定部，与一待固定件固定连接；所述固定部上开设有在第一方向上贯穿的通孔；调节垫片，设置在所述通孔内并可绕所述通孔的轴线转动；所述调节垫片上开设有在所述第一方向上贯穿的通槽。本实用新型专利技术实施例公开的调节支架可降低检测设备零部件的准确定位的难度。低检测设备零部件的准确定位的难度。低检测设备零部件的准确定位的难度。

【技术实现步骤摘要】
固定支架、气缸组件及检测设备


[0001]本技术涉及晶圆检测
，尤其涉及一种固定支架、一种气缸组件和一种检测设备。

技术介绍

[0002]在晶圆检测过程中对检测装置进行固定时，对零部件的固定通常需要较高的定位精度，但是在实际安装过程中无法准确的对安装孔进行定位。因此在检测设备的安装过程中需要不断地调整零部件的位置，在现有检测设备的安装过程中通常需要对固定零部件的螺丝进行反复的拆装，定位难度大且不够精准。
[0003]因此，亟需提供一种方案来解决上述检测设备零部件定位难度大的问题。

技术实现思路

[0004]因此，为克服现有技术中的至少部分缺陷，本技术实施例提供了一种固定支架、一种气缸组件和一种检测设备，可降低检测设备零部件的准确定位的难度。
[0005]具体地，一方面，本技术一个实施例提供的一种固定支架，包括：固定部，与一待固定件固定连接；所述固定部上开设有在第一方向上贯穿的通孔；调节垫片，设置在所述通孔内并可绕所述通孔的轴线转动；所述调节垫片上开设有在所述第一方向上贯穿的通槽。
[0006]在一个实施例中，所述通槽为圆形通槽，所述通槽与所述通孔偏心布置。
[0007]在一个实施例中，所述通槽包括第一子槽，所述第一子槽包括分别沿从所述调节垫片的中心朝靠近所述调节垫片的周边的方向延伸且相对设置的两个槽侧壁，以及连接于所述两个槽侧壁之间的槽底壁，所述槽底壁位于所述两个槽侧壁邻近所述调节垫片的周边的一侧。
[0008]在一个实施例中，所述通槽包括多条所述第一子槽，所述多条第一子槽靠近所述调节垫片中心的一侧相互连通。
[0009]在一个实施例中，所述两个槽侧壁之间形成第一通道，所述两个槽侧壁上分别设置有沿从所述调节垫片的中心朝靠近所述调节垫片的周边的方向依次排布的多个第二子槽；所述多个第二子槽分别与所述第一通道连通。
[0010]在一个实施例中，所述通孔内形成有朝靠近其中心方向凸出的环形台阶；所述环形台阶支撑所述调节垫片的一侧。
[0011]在一个实施例中，所述调节垫片上形成朝远离其中心方向凸出的第二环形台阶；所述第二环形台阶抵接所述固定部。
[0012]本技术的另一个实施例提供一种气缸组件，包括：气缸；如前述任意一项实施例所述的固定支架，与所述气缸固定连接。
[0013]本技术的另一个实施例提供一种检测设备，包括：气缸；固定支架，包括：固定部，与所述气缸固定连接；所述固定部上开设有在第一方向上贯穿的通孔；调节垫片，设置
在所述通孔内并可绕所述通孔的轴线转动；所述调节垫片上开设有在所述第一方向上贯穿的通槽；固定底板，所述固定底板上设置有螺丝孔，所述固定部设置在所述固定底板上，且所述通槽与所述螺丝孔连通；螺丝，穿设所述通槽并与所述螺丝孔配合连接。
[0014]在一个实施例中，所述通槽包括第一子槽，所述第一子槽包括分别沿从所述调节垫片的中心朝靠近所述调节垫片的周边的方向延伸且相对设置的两个槽侧壁，以及连接于所述两个槽侧壁之间的槽底壁，所述槽底壁位于所述两个槽侧壁邻近所述调节垫片的周边的一侧；所述两个槽侧壁之间的距离大于所述螺丝的直径。
[0015]由上可知，本技术上述实施例可以达成以下一个或多个有益效果：通过将设置有通槽的调节垫片可转动的设置在固定部中，使得在对检测设备上的零部件进行定位时，通过转动调节垫片并调节固定部与螺丝之间的位置，可以增大待固定零件的活动范围和允许误差。并且可以在不完全拆卸固定螺丝的情况下调节固定件的位置，操作方便，定位更精准。
[0016]通过以下参考附图的详细说明，本技术的其它方面和特征变得明显。但是应当知道，该附图仅仅为解释的目的设计，而不是作为本技术的范围的限定。还应当知道，除非另外指出，不必要依比例绘制附图，它们仅仅力图概念地说明此处描述的结构和流程。
附图说明
[0017]下面将结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细的说明。
[0018]图1为本技术一个实施例提供的检测设备的分解结构示意图。
[0019]图2为本技术一个实施例提供的气缸组件的结构示意图。
[0020]图3为图2的俯视图。
[0021]图4为本技术一个实施例提供的固定支架中固定部的结构示意图。
[0022]图5为图4中的A
‑
A剖面图。
[0023]图6为本技术一个实施例提供的固定支架中调节垫片的俯视示意图。
[0024]图7为本技术另一个实施例提供的固定支架中调节垫片的俯视示意图。
[0025]图8为本技术另一个实施例提供的固定支架中调节垫片的俯视示意图。
[0026]图9为本技术另一个实施例提供的固定支架中调节垫片的俯视示意图。
[0027]图10为本技术另一个实施例提供的固定支架的剖面示意图。
[0028]【附图标记说明】
[0029]300：检测设备；200：气缸组件；100：固定支架；10：固定部；11：通孔；111：环形台阶；20：调节垫片；21：通槽；211：第一子槽；2111：槽侧壁；2112：槽底壁；2113：第一通道；2114：第二子槽；212：第二环形台阶；30：气缸；40：固定底板；41：螺丝孔；50：螺丝。
具体实施方式
[0030]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0031]为了使本领域普通技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，
所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0032]需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0033]还需要说明的是，本技术中多个实施例的划分仅是为了描述的方便，不应构成特别的限定，各种实施例中的特征在不矛盾的情况下可以相结合，相互引用。
[0034]如图1所示，本专利技术一个实施例提供一种检测设备300包括固定支架100。具体地，固定支架100例如包括固定部10和调节垫片20。固定部10上开设有在第一方向上贯穿的通孔11。调节垫片20设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固定支架(100)，其特征在于，包括：固定部(10)，与一待固定件固定连接；所述固定部(10)上开设有在第一方向上贯穿的通孔(11)；调节垫片(20)，设置在所述通孔(11)内并可绕所述通孔(11)的轴线转动；所述调节垫片(20)上开设有在所述第一方向上贯穿的通槽(21)。2.如权利要求1所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通槽(21)为圆形通槽(21)，所述通槽(21)与所述通孔(11)偏心布置。3.如权利要求1所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通槽(21)包括第一子槽(211)，所述第一子槽(211)包括分别沿从所述调节垫片(20)的中心朝靠近所述调节垫片(20)的周边的方向延伸且相对设置的两个槽侧壁(2111)，以及连接于所述两个槽侧壁(2111)之间的槽底壁(2112)，所述槽底壁(2112)位于所述两个槽侧壁(2111)邻近所述调节垫片(20)的周边的一侧。4.如权利要求3所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通槽(21)包括多条所述第一子槽(211)，所述多条第一子槽(211)靠近所述调节垫片(20)中心的一侧相互连通。5.如权利要求3所述的固定支架(100)，其特征在于，所述两个槽侧壁(2111)之间形成第一通道(2113)，所述两个槽侧壁(2111)上分别设置有依次排布的多个第二子槽(2114)；所述多个第二子槽(2114)分别与所述第一通道(2113)连通。6.如权利要求1所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通孔(11)内形成有朝靠近其中心方向凸出的第一环形台阶(111)；所述第一环形台阶(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王赢，张龙，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：