检测系统技术方案

本申请实施例提供一种检测系统，检测系统包括光源，适于发出与待测物表面成第一夹角且与所述待测物所在表面内纵横交错排布的切割道成45

【技术实现步骤摘要】
检测系统


[0001]本申请实施例涉及光学检测
，尤其涉及一种检测系统及检测方法。

技术介绍

[0002]随着大规模集成电路关键尺寸的不断缩小，与制造工艺相匹配的缺陷检测的最小检测尺寸也在不断的缩小。在晶圆缺陷检测系统中，通常使用明场照明以及暗场照明的方式进行检测，其中暗场缺陷检测的灵敏度会更高。
[0003]然而，暗场照明主要利用物体表面的漫反射，使一些不规整的如凸起、凹陷、斜楞的缺陷相对规整的横平竖直的正常图案产生突出的对比信号，因此，晶圆规整的图案会对暗场照明产生不需要的信号，降低了系统缺陷检出的灵敏度。
[0004]因此，如何减少规整图案产生的信号干扰以提高检测系统的灵敏度，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本申请实施例解决的技术问题是提高检测系统的灵敏度。
[0006]为解决上述问题，本申请实施例提供一种检测系统，包括：
[0007]光源，适于发出与待测物表面成第一夹角且与所述待测物所在表面内纵横交错排布的切割道成45
°
的入射光；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，其特征在于，包括：光源，适于发出与待测物表面成第一夹角且与所述待测物所在表面内纵横交错排布的切割道成45
°
的入射光；照明反射镜，设置于所述光源发射光线的路径上，使得所述光源发射的光线朝向待测物表面传输；光源调节装置，适于调节所述光源的角度，用于调节出射光的方向，以调节光源在待测物表面的成像区域大小；探测器，所述探测器的视场选取待测物表面的成像区域中的部分区域采集图像进行检测。2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括：显微物镜和成像管镜镜组，所述显微物镜用于收集所述待测物表面的散射光信号，所述成像管镜镜组用于将所述显微物镜收集到的散射光信号成像在探测器上。3.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述照明反射镜相对于所述探测器倾斜设置，且朝向靠近所述探测器的一侧倾斜，所述照明反射镜用于折叠光路。4.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括：照明透镜组，适于将所述光源发出的光线进行整形。5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述照明透镜组包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘健鹏，张鹏斌，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：