一种高强度喷淋管制造技术

本申请涉及半导体晶片清洗领域，公开了一种高强度喷淋管，包括喷管主体，喷管主体内设置有支撑网，支撑网抵接在喷管主体的内侧壁上，喷管主体的内侧壁上设置有支撑层，且支撑网设置在支撑层内。本申请具有能够通过采用支撑网和支撑层对喷管主体的内侧壁进行支撑，同时支撑层也对支撑网进行支撑，从而提高喷管主体的结构强度，使得喷管主体在喷射清洗液时不易发生晃动，达到改善淋管喷射清洗液时易发生晃动的效果。晃动的效果。晃动的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高强度喷淋管


[0001]本申请涉及半导体晶片清洗的领域，尤其是涉及一种高强度喷淋管。

技术介绍

[0002]在制造高集成度半导体器件时，晶片表面上的微细颗粒会严重损害器件特性。因此，能有效地清洗晶片表面上的微细颗粒的清洗技术就显得尤为重要。
[0003]目前，半导体晶片需使用清洗液进行清洗，清洗液经过供液管路输送至喷淋管内，喷淋管再将清洗液喷射到指定位置，从而对半导体晶片进行喷射清洗。喷淋管多使用工程塑料制成，因此喷淋管的结构强度稍差，当供液管路内的清洗液进入喷淋管内时，清洗液会对喷淋管进行冲击，使得喷淋管易发生晃动，喷淋管喷射出的清洗液易发生偏斜，从而使得半导体晶片上的细微颗粒清洗不彻底。
[0004]因此，亟需一种更加稳定的喷淋管，使得喷淋管喷射清洗液时喷淋管不易发生晃动。

技术实现思路

[0005]为了改善喷淋管喷射清洗液时易发生晃动的问题，本申请提供一种高强度喷淋管。
[0006]本申请提供的一种高强度喷淋管采用如下的技术方案：
[0007]一种高强度喷淋管，包括喷管主体，所述喷管主体内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高强度喷淋管，其特征在于：包括喷管主体(1)，所述喷管主体(1)内设置有支撑网(2)，所述支撑网(2)抵接在喷管主体(1)的内侧壁上，所述喷管主体(1)的内侧壁上设置有支撑层(3)，且所述支撑网(2)设置在支撑层(3)内。2.根据权利要求1所述的一种高强度喷淋管，其特征在于：所述支撑网(2)包括多个第一加强筋(21)和第二加强筋(22)，所述第一加强筋(21)沿喷管主体(1)的轴线方向设置在喷管主体(1)的内侧壁上，多个所述第一加强筋(21)沿喷管主体(1)的直径方向间隔设置，所述第二加强筋(22)沿喷管主体(1)的直径方向设置在喷管主体(1)的内侧壁上，多个所述第二加强筋(22)沿喷管的轴线方向间隔设置，所述第一加强筋(21)垂直于第二加强筋(22)，且所述第一加强筋(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张迢，宋建辉，
申请(专利权)人：上海沃特华本半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：