一种高强度喷淋管制造技术

本申请涉及半导体晶片清洗领域，公开了一种高强度喷淋管，包括喷管主体，喷管主体内设置有支撑网，支撑网抵接在喷管主体的内侧壁上，喷管主体的内侧壁上设置有支撑层，且支撑网设置在支撑层内。本申请具有能够通过采用支撑网和支撑层对喷管主体的内侧壁进行支撑，同时支撑层也对支撑网进行支撑，从而提高喷管主体的结构强度，使得喷管主体在喷射清洗液时不易发生晃动，达到改善淋管喷射清洗液时易发生晃动的效果。晃动的效果。晃动的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高强度喷淋管


[0001]本申请涉及半导体晶片清洗的领域，尤其是涉及一种高强度喷淋管。

技术介绍

[0002]在制造高集成度半导体器件时，晶片表面上的微细颗粒会严重损害器件特性。因此，能有效地清洗晶片表面上的微细颗粒的清洗技术就显得尤为重要。
[0003]目前，半导体晶片需使用清洗液进行清洗，清洗液经过供液管路输送至喷淋管内，喷淋管再将清洗液喷射到指定位置，从而对半导体晶片进行喷射清洗。喷淋管多使用工程塑料制成，因此喷淋管的结构强度稍差，当供液管路内的清洗液进入喷淋管内时，清洗液会对喷淋管进行冲击，使得喷淋管易发生晃动，喷淋管喷射出的清洗液易发生偏斜，从而使得半导体晶片上的细微颗粒清洗不彻底。
[0004]因此，亟需一种更加稳定的喷淋管，使得喷淋管喷射清洗液时喷淋管不易发生晃动。

技术实现思路

[0005]为了改善喷淋管喷射清洗液时易发生晃动的问题，本申请提供一种高强度喷淋管。
[0006]本申请提供的一种高强度喷淋管采用如下的技术方案：
[0007]一种高强度喷淋管，包括喷管主体，所述喷管主体内设置有支撑网，所述支撑网抵接在喷管主体的内侧壁上，所述喷管主体的内侧壁上设置有支撑层，且所述支撑网设置在支撑层内。
[0008]通过采用上述技术方案，喷管主体内侧壁上的支撑网对喷管主体进行支撑，提高了喷管主体的结构强度，支撑层对喷管主体的内侧壁进行支撑，且支撑层同时也对支撑网进行限位固定，从而进一步提高喷管主体的结构强度，使得喷管主体在喷射清洗液时不易发生晃动。
>[0009]优选的，所述支撑网包括多个第一加强筋和第二加强筋，所述第一加强筋沿喷管主体的轴线方向设置在喷管主体的内侧壁上，多个所述第一加强筋沿喷管主体的直径方向间隔设置，所述第二加强筋沿喷管主体的直径方向设置在喷管主体的内侧壁上，多个所述第二加强筋沿喷管的轴线方向间隔设置，所述第一加强筋垂直于第二加强筋，且所述第一加强筋和第二加强筋均位于支撑层内。
[0010]通过采用上述技术方案，第一加强筋沿喷管主体的轴线方向设置，第二加强筋沿喷管主体的直径方向设置，且第一加强筋和第二加强筋互相垂直交错设置，使得支撑网的结构强度更高，从而使得支撑网对喷管主体的支撑效果更佳。
[0011]优选的，所述喷管主体的内侧壁和/或外侧壁上设置有防腐层。
[0012]通过采用上述技术方案，防腐层对喷管主体进行防腐，从而使得喷淋管符合防腐要求。
[0013]优选的，所述喷管主体的外侧壁上设置有包覆层。
[0014]通过采用上述技术方案，包覆层对喷管主体进行包覆保护，使得喷管主体的外壁不易受到损伤。
[0015]优选的，所述喷管主体的端部设置有喷嘴，且所述喷嘴与包覆层一体成型设置。
[0016]通过采用上述技术方案，喷管主体内的清洗液从喷嘴内喷出，喷嘴与包覆层一体设置，使得清洗液不易从喷嘴与喷管主体的连接处发生泄漏。
[0017]优选的，所述喷管主体为SUS折弯管。
[0018]通过采用上述技术方案，使用SUS不锈钢弯折管制成喷管主体，从而增加了喷管主体自身的结构强度。
[0019]优选的，所述防腐层为PTFE涂层。
[0020]通过采用上述技术方案，PTFE防腐涂层具体良好的耐腐蚀性，同时PTFE防腐涂层具有较强的附着性，从而使防腐层不易从喷管主体上脱落。
[0021]优选的，所述包覆层和支撑层均为PFA套管。
[0022]通过采用上述技术方案，PFA套管具有良好的抗蠕变性以及抗压缩性，使得支撑层和包覆层的结构强度更高，从而提高了对喷管主体的支撑效果。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.通过采用支撑网和支撑层，支撑网和支撑层对喷管主体的内侧壁进行支撑，同时支撑层也对支撑网进行支撑，从而提高喷管主体的结构强度，使得喷管主体在喷射清洗液时不易发生晃动；
[0025]2.通过采用防腐层，防腐层对喷管主体进行防腐，从而使得喷淋管符合防腐要求；
[0026]3.通过采用包覆层，包覆层对喷管主体进行包覆保护，使得喷管主体的外壁不易受到损伤。
附图说明
[0027]图1是本申请高强度喷淋管的整体结构示意图；
[0028]图2是本申请高强度喷淋管的剖面图；
[0029]图3是本申请高强度喷淋管为突出展示支撑网的部分结构示意图。
[0030]附图标记说明：1、喷管主体；2、支撑网；21、第一加强筋；22、第二加强筋；3、支撑层；4、防腐层；5、包覆层；6、喷嘴。
具体实施方式
[0031]以下结合附图1
‑
3对本申请作进一步详细说明。
[0032]本申请实施例公开一种高强度喷淋管。
[0033]参照图1，一种高强度喷淋管包括喷管主体1，喷管主体1为SUS不锈钢弯折管，喷管主体1位于弯折较短处的端部安装有喷嘴6，喷管主体1位于弯折较长处的端部与供液管路固定连通。供液管路将清洗液输送至喷管主体1内，清洗液进入喷管主体1并从喷嘴6处喷出至指定位置，从而对半导体晶片进行清洗。且SUS不锈钢材质的喷管主体1使得喷淋管的自身结构强度更高，从而使清洗液进入喷管主体1内时，喷淋管不易发生晃动，进而使得清洗液对半导体晶片清洗的更加彻底。
[0034]参照图1和2，喷管主体1的内侧壁和外侧壁上均涂刷形成有防腐层4，防腐层4对喷管主体1进行防腐，使得喷淋管符合防腐要求。本申请中，防腐层4可选用为PTFE防腐涂层，PTFE防腐涂层是由超细聚四氟乙烯粉末制成，并具有附着力强、耐腐蚀性高、抗极压性高和耐高温的特点，从而使得防腐层4具有良好防腐效果的同时不易从喷管主体1上脱落。
[0035]喷管主体1外侧壁上套设安装有包覆层5，包覆层5对喷管主体1外侧壁上的防腐层4进行包覆保护，使得防腐层4不易受到损伤。本申请中，包覆层5可选用为PFA外套管，PFA套管具有良好的抗蠕变性以及抗压缩性，从而使得包覆层5的保护效果更佳。
[0036]同时，喷嘴6与包覆层5可选用为PFA材料一体成型制成，当包覆层5套设安装在喷管主体1上时，喷嘴6同包覆层5共同安装在喷管主体1上，且喷嘴6与包覆层5一体设置，使得清洗液不易从喷嘴6与喷管主体1的连接处发生泄漏。
[0037]参照图2和3，喷管主体1的内侧壁上安装有圆筒状支撑网2，支撑网2包括多个第一加强筋21和第二加强筋22。第一加强筋21沿喷管主体1的轴线方向安装在喷管主体1内，且多个第一加强筋21沿喷管主体1的周向等间距环绕安装在喷管主体1的内侧壁上；第二加强筋22沿喷管主体1的周向设置有圆形，且多个第二加强筋22沿喷管主体1的轴线方向等间距安装在喷管主体1的内侧壁上。第一加强筋21与第二加强筋22相互垂直并焊接固定。相互垂直并焊接固定的多个第一加强筋21和第二加强筋22增加的支撑网2的结构强度，从而使得支撑网2对喷管主体1进行支撑，提高了喷管主体1的结构强度，使得喷管主体1在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高强度喷淋管，其特征在于：包括喷管主体(1)，所述喷管主体(1)内设置有支撑网(2)，所述支撑网(2)抵接在喷管主体(1)的内侧壁上，所述喷管主体(1)的内侧壁上设置有支撑层(3)，且所述支撑网(2)设置在支撑层(3)内。2.根据权利要求1所述的一种高强度喷淋管，其特征在于：所述支撑网(2)包括多个第一加强筋(21)和第二加强筋(22)，所述第一加强筋(21)沿喷管主体(1)的轴线方向设置在喷管主体(1)的内侧壁上，多个所述第一加强筋(21)沿喷管主体(1)的直径方向间隔设置，所述第二加强筋(22)沿喷管主体(1)的直径方向设置在喷管主体(1)的内侧壁上，多个所述第二加强筋(22)沿喷管的轴线方向间隔设置，所述第一加强筋(21)垂直于第二加强筋(22)，且所述第一加强筋(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张迢，宋建辉，
申请(专利权)人：上海沃特华本半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：