一种用于半导体清洗液的装配式储液箱制造技术

本申请涉及储液箱领域，公开了一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，两个第一侧板相互平行并拼接设置在底板上，两个第二侧板相互平行并拼接设置在底板上，顶板设置在两个第一侧板和第二侧板顶端，第一侧板与顶板、底板、第二侧板的连接处以及第二侧板与顶板、底板的连接处均设置有密封加固层。本申请具有能够通过采用顶板、底板、第一侧板和第二侧板拼接组成储液箱，当需要大批量运输储液箱时，采用先运输后组装的方式，由于板体之间可相互堆叠，因此，能够大大降低储液箱占据的空间，从而使得单次运输能够大大增加储液箱的运输数量，降低了储液箱的运输成本，达到改善大批量储液箱运输成本较高的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体清洗液的装配式储液箱


[0001]本申请涉及储液箱的领域，尤其是涉及一种用于半导体清洗液的装配式储液箱。

技术介绍

[0002]半导体清洗液主要用于清洗半导体晶片表面玷污的石蜡、油脂和油脂类高分子化合物以及表面玷污的金属原子和金属离子等。半导体清洗液存放在储液箱内，清洗设备吸取储液箱内的半导体清洗液，从而对半导体晶片进行清洗。
[0003]目前，半导体清洗液用储液箱大多为一体成型制成，一体成型的储液箱样式无法改变，因此会占据较大的空间，这就给储液箱的运输带来了困难。当需要大批量运输储液箱时，运输车辆单次可运输的储液箱数量有限，多次运输则会大大增加储液箱的运输成本。因此，亟需一种储液箱，能够使得单次运输可大大增加储液箱的运输数量。

技术实现思路

[0004]为了改善大批量储液箱运输成本较高的问题，本申请提供一种用于半导体清洗液的装配式储液箱。
[0005]本申请提供的一种用于半导体清洗液的装配式储液箱采用如下的技术方案：
[0006]一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，包括顶板、底板、两个第一侧板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，其特征在于：包括顶板(1)、底板(2)、两个第一侧板(3)和两个第二侧板(4)，两个所述第一侧板(3)相互平行并拼接设置在底板(2)上，两个所述第二侧板(4)相互平行并拼接设置在底板(2)上，所述第一侧板(3)垂直于第二侧板(4)并与第二侧板(4)拼接组合，所述顶板(1)设置在两个第一侧板(3)和第二侧板(4)远离底板(2)的顶端，且所述顶板(1)上开设有进液口(18)和出液口(19)，所述第一侧板(3)与顶板(1)、底板(2)、第二侧板(4)的连接处以及第二侧板(4)与顶板(1)、底板(2)的连接处均设置有密封加固层(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，其特征在于：所述底板(2)的顶壁上开设有安装环槽(6)，所述第一侧板(3)靠近底板(2)的底壁上形成有第一卡条(7)，所述第二侧板(4)靠近底板(2)的底壁上形成有第二卡条(8)，且所述第一卡条(7)和第二卡条(8)均插接设置在安装环槽(6)内。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，其特征在于：两个所述第一侧板(3)靠近第二侧板(4)的两个均形成有第三卡条(9)，两个所述第二侧板(4)相互靠近的侧壁上均开设有两个安装卡槽(10)，且所述第三卡条(9)插接设置在安装卡槽(10)内。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张迢，杨旗钢，
申请(专利权)人：上海沃特华本半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：