一种用于半导体清洗液的装配式储液箱制造技术

本申请涉及储液箱领域，公开了一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，包括顶板、底板、第一侧板和第二侧板，两个第一侧板相互平行并拼接设置在底板上，两个第二侧板相互平行并拼接设置在底板上，顶板设置在两个第一侧板和第二侧板顶端，第一侧板与顶板、底板、第二侧板的连接处以及第二侧板与顶板、底板的连接处均设置有密封加固层。本申请具有能够通过采用顶板、底板、第一侧板和第二侧板拼接组成储液箱，当需要大批量运输储液箱时，采用先运输后组装的方式，由于板体之间可相互堆叠，因此，能够大大降低储液箱占据的空间，从而使得单次运输能够大大增加储液箱的运输数量，降低了储液箱的运输成本，达到改善大批量储液箱运输成本较高的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体清洗液的装配式储液箱


[0001]本申请涉及储液箱的领域，尤其是涉及一种用于半导体清洗液的装配式储液箱。

技术介绍

[0002]半导体清洗液主要用于清洗半导体晶片表面玷污的石蜡、油脂和油脂类高分子化合物以及表面玷污的金属原子和金属离子等。半导体清洗液存放在储液箱内，清洗设备吸取储液箱内的半导体清洗液，从而对半导体晶片进行清洗。
[0003]目前，半导体清洗液用储液箱大多为一体成型制成，一体成型的储液箱样式无法改变，因此会占据较大的空间，这就给储液箱的运输带来了困难。当需要大批量运输储液箱时，运输车辆单次可运输的储液箱数量有限，多次运输则会大大增加储液箱的运输成本。因此，亟需一种储液箱，能够使得单次运输可大大增加储液箱的运输数量。

技术实现思路

[0004]为了改善大批量储液箱运输成本较高的问题，本申请提供一种用于半导体清洗液的装配式储液箱。
[0005]本申请提供的一种用于半导体清洗液的装配式储液箱采用如下的技术方案：
[0006]一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，包括顶板、底板、两个第一侧板和两个第二侧板，两个所述第一侧板相互平行并拼接设置在底板上，两个所述第二侧板相互平行并拼接设置在底板上，所述第一侧板垂直于第二侧板并与第二侧板拼接组合，所述顶板设置在两个第一侧板和第二侧板远离底板的顶端，且所述顶板上开设有进液口和出液口，所述第一侧板与顶板、底板、第二侧板的连接处以及第二侧板与顶板、底板的连接处均设置有密封加固层。
[0007]通过采用上述技术方案，先使用一个顶板和底板以及两个第一侧板和第二侧板拼接组成储液箱，再使用密封加固层对储液箱的各个连接处进行密封加固，即可完成储液箱的快速组装，且半导体清洗液从进液口注入储液箱内，从出液口流出储液箱。当需要大批量运输储液箱时，采用先运输后组装的方式，运输顶板、底板、第一侧板和第二侧板即可，由于板体之间可相互堆叠，因此，能够大大降低储液箱占据的空间，从而使得单次运输能够大大增加储液箱的运输数量，降低了储液箱的运输成本。
[0008]优选的，所述底板的顶壁上开设有安装环槽，所述第一侧板靠近底板的底壁上形成有第一卡条，所述第二侧板靠近底板的底壁上形成有第二卡条，且所述第一卡条和第二卡条均插接设置在安装环槽内。
[0009]通过采用上述技术方案，在对储液箱进行组装时，先通过第一卡条与安装环槽的配合，将两个第一侧板快速拼接安装在底板上，再通过第二卡条与安装环槽的配合，将两个第二侧板快速拼接安装在底板上，从而便于工作人员对储液箱进行快速组装。
[0010]优选的，两个所述第一侧板靠近第二侧板的两个均形成有第三卡条，两个所述第二侧板相互靠近的侧壁上均开设有两个安装卡槽，且所述第三卡条插接设置在安装卡槽
内。
[0011]通过采用上述技术方案，当第二侧板安装在底板上时，第二侧板的安装卡槽卡接在第一侧板的第三卡条上，两个第二侧板通过安装卡槽对两个第一侧板进行限位，增加了第一侧板的稳定性，进而增加了储液箱的稳定性。
[0012]优选的，所述顶板靠近底板的底壁上形成有限位凸台，两个所述第一侧板和第二侧板抵接在限位凸台的周侧壁上。
[0013]通过采用上述技术方案，当两个第一侧板以及第二侧板拼接组装后，将顶板放置在两个第一侧板以及第二侧板上，此时，限位凸台的周侧壁抵接两个第一侧板以及第二侧板，从而进一步增加储液箱的稳定性。
[0014]优选的，所述第一侧板、第二侧板、顶板和底板相互连接的侧壁上均开设有倒角，所述密封加固层设置在相邻两个板体连接处的两个倒角内。
[0015]通过采用上述技术方案，当储液箱完成拼接后，将密封加固层添加至相邻两个板体连接处的两个倒角内，一方面，储液箱拼接完成后再使用密封加固层对储液箱进行密封加固，使得密封加固层的使用更加方便快捷；另一方面，倒角增加了密封加固层与板体之间的接触面积，使得密封加固层的密封与固定效果更佳。
[0016]优选的，所述顶板上开设有观察窗口。
[0017]通过采用上述技术方案，工作人员通过观察窗口可以观察到储液箱内半导体清洗液的剩余量，从而便于工作人员对半导体清洗液进行及时添加。
[0018]优选的，所述顶板上放置有透明挡板，所述透明挡板覆盖在观察窗口上，所述透明挡板靠近底板的底壁上设置有限位块，且所述限位块相适配设置在观察窗口内。
[0019]通过采用上述技术方案，使用透明挡板对观察窗口进行遮罩，使得储液箱内不易进入异物，且限位块安装在观察窗口内，从而对透明挡板进行限位，使得透明挡板不易从顶板上滑落。
[0020]优选的，所述第二侧板与顶板的外侧壁上设置有加固板，所述加固板上至少设置有两个加固螺栓，且一个所述加固螺栓穿过加固板并固定在顶板内，另一个所述加固螺栓穿过加固板并固定在第二侧板内。
[0021]通过采用上述技术方案，当储液箱完成组装并添加密封加固层后，使用加固螺栓将加固板安装在顶板和第二侧板上，从而对顶板与第二侧板进行加固，进一步提高了密封性的稳固性。
[0022]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0023]1.通过采用顶板、底板、第一侧板和第二侧板拼接组成储液箱，当需要大批量运输储液箱时，采用先运输后组装的方式，运输顶板、底板、第一侧板和第二侧板即可，由于板体之间可相互堆叠，因此，能够大大降低储液箱占据的空间，从而使得单次运输能够大大增加储液箱的运输数量，降低了储液箱的运输成本；
[0024]2.通过采用观察窗口，工作人员通过观察窗口可以观察到储液箱内半导体清洗液的剩余量，从而便于工作人员对半导体清洗液进行及时添加；
[0025]3.通过采用加固板，使用加固螺栓将加固板安装在顶板和第二侧板上，从而对顶板与第二侧板进行加固，进一步提高了密封性的稳固性。
附图说明
[0026]图1是本申请实施例1中装配式储液箱的整体结构示意图；
[0027]图2是本申请实施例1中装配式储液箱的俯视爆炸示意图；
[0028]图3是本申请实施例1中装配式储液箱的仰视爆炸示意图；
[0029]图4是本申请图2中A处放大示意图；
[0030]图5是本申请实施例2中装配式储液箱的整体结构示意图。
[0031]附图标记说明：1、顶板；2、底板；3、第一侧板；4、第二侧板；5、密封加固层；6、安装环槽；7、第一卡条；8、第二卡条；9、第三卡条；10、安装卡槽；11、限位凸台；12、倒角；13、观察窗口；14、透明挡板；15、限位块；16、加固板；17、加固螺栓；18、进液口；19、出液口。
具体实施方式
[0032]以下结合附图1
‑
5对本申请作进一步详细说明。
[0033]本申请实施例公开一种用于半导体清洗液的装配式储液箱。
[0034]实施例1：
[0035]参照图1和2，一种用于半导体清洗液的装配式储液箱包括一个矩形的顶板1和底板2以及两个矩形的第一侧板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，其特征在于：包括顶板(1)、底板(2)、两个第一侧板(3)和两个第二侧板(4)，两个所述第一侧板(3)相互平行并拼接设置在底板(2)上，两个所述第二侧板(4)相互平行并拼接设置在底板(2)上，所述第一侧板(3)垂直于第二侧板(4)并与第二侧板(4)拼接组合，所述顶板(1)设置在两个第一侧板(3)和第二侧板(4)远离底板(2)的顶端，且所述顶板(1)上开设有进液口(18)和出液口(19)，所述第一侧板(3)与顶板(1)、底板(2)、第二侧板(4)的连接处以及第二侧板(4)与顶板(1)、底板(2)的连接处均设置有密封加固层(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，其特征在于：所述底板(2)的顶壁上开设有安装环槽(6)，所述第一侧板(3)靠近底板(2)的底壁上形成有第一卡条(7)，所述第二侧板(4)靠近底板(2)的底壁上形成有第二卡条(8)，且所述第一卡条(7)和第二卡条(8)均插接设置在安装环槽(6)内。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗液的装配式储液箱，其特征在于：两个所述第一侧板(3)靠近第二侧板(4)的两个均形成有第三卡条(9)，两个所述第二侧板(4)相互靠近的侧壁上均开设有两个安装卡槽(10)，且所述第三卡条(9)插接设置在安装卡槽(10)内。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张迢，杨旗钢，
申请(专利权)人：上海沃特华本半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：