【技术实现步骤摘要】
处理装置、测定装置以及测定方法
[0001]本申请以日本专利申请2021
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168495(申请日2021年10月14日)为基础，从该申请享有优先的利益。本申请通过参照该申请，包括该申请的全部内容。
[0002]本专利技术的实施方式涉及处理装置、测定装置以及测定方法。
技术介绍
[0003]例如，存在对光学部件等的特性进行测定的测定装置。在测定装置中，期望提高准确度。
技术实现思路
[0004]本专利技术的实施方式提供能够提高准确度的处理装置、测定装置以及测定方法。
[0005]根据本专利技术的实施方式，处理装置包括取得部以及处理部。所述取得部以及所述处理部能够实施第一动作。所述取得部在所述第一动作中取得第一像数据、第二像数据以及第三像数据。所述第一像数据包括与来自所述第一像数据中的第一背景像的包括第一图案的第一光所通过后的对象部件的第一对象部件像有关的数据。所述第二像数据包括与来自所述第二像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第二光所通过后的所述对象部件的第二对象部件像...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种处理装置，具备：取得部；以及处理部，所述取得部以及所述处理部能够实施第一动作，所述取得部在所述第一动作中取得第一像数据、第二像数据以及第三像数据，所述第一像数据包括与来自所述第一像数据中的第一背景像的包括第一图案的第一光所通过后的对象部件的第一对象部件像有关的数据，所述第二像数据包括与来自所述第二像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第二光所通过后的所述对象部件的第二对象部件像有关的数据，所述第三像数据包括与来自所述第三像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第三光所通过后的所述对象部件的第三对象部件像有关的数据，所述第二像数据中的所述第一背景像与所述第二像数据中的所述对象部件之间的第二相对位置，不同于所述第一像数据中的所述第一背景像与所述第一像数据中的所述对象部件之间的第一相对位置，所述第三像数据中的所述第一背景像与所述第三像数据中的所述对象部件之间的第三相对位置，与所述第一相对位置不同，并与所述第二相对位置不同，所述处理部在所述第一动作中，基于所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据，导出第一导出数据。2.根据权利要求1所述的处理装置，所述处理部在所述第一动作中，基于所述第一相对位置与所述第二相对位置的第一差、以及所述第一相对位置与所述第三相对位置的第二差，导出所述第一导出数据，所述第一导出数据包括与所述第一图案的位移量有关的数据，所述第一导出数据的所述导出中的、所述第一背景像与所述对象部件之间的第一导出相对位置，与所述第二相对位置不同，并与所述第三相对位置不同。3.根据权利要求2所述的处理装置，所述第一相对位置与所述第一导出相对位置之差的绝对值，小于所述第一差的绝对值，并小于所述第二差的绝对值。4.根据权利要求1所述的处理装置，所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据是基于第一保存数据而取得的，所述第一保存数据包括与多个相对位置有关的信息，该多个相对位置与所述第一背景像以及所述对象部件有关。5.根据权利要求1所述的处理装置，所述取得部在所述第一动作中取得多个像数据，所述多个像数据中的一个像数据包括与多个状态中的一个状态下的所述第一背景像和来自所述多个状态中的所述一个状态下的所述第一背景像的光所通过后的所述对象部件的像有关的数据，所述处理部包括：在所述第一动作中，基于所述多个像数据以及所述第一保存数据的至少一部分来导出所述第一导出数据，
所述处理部在所述第一动作中，能够对所述多个像数据以及所述第一保存数据的所述至少一部分进行比较而输出与不足数据有关的信息。6.根据权利要求1所述的处理装置，所述取得部以及所述处理部能够进一步实施第二动作，所述取得部在所述第二动作中取得第四像数据、第五像数据以及第六像数据，所述第四像数据包括与来自所述第四像数据中的第二背景像的包括第二图案的第四光所通过后的所述对象部件的第四对象部件像有关的数据，所述第五像数据包括与来自所述第五像数据中的所述第二背景像的包括所述第二图案的第五光所通过后的所述对象部件...
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