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本发明提供能够提高准确度的处理装置、测定装置以及测定方法。根据实施方式，处理装置包括取得部以及处理部。取得部取得第一～第三像数据。第一像数据包括来自第一背景像的第一光所通过后的对象部件的第一对象部件像。第二像数据包括来自第一背景像的第二光所...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

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