薄板材表面处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种薄板材表面处理装置，能消除空白区域、滞留液、紊流、条纹状轨迹等，实现均匀的药液处理和清洗处理，而且可降低制造成本和设备费。其用于印刷线路基板的制造工序，对被传送机１３的运送辊１４以水平姿势运送的印刷线路基板材２，从对应配置着的各喷嘴１１喷射处理液。各喷嘴１１分别位于与运送辊１４的各前后间隔１６对应的位置，并且朝着宽度方向Ｂ的左方向或右方向，以倾斜的喷射角度Ｇ固定配置着。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄板材表面处理装置。即，例如用于印刷线路基板制造工序，对被运送的印刷线路板材喷射处理液，进行表面处理的表面处理装置。各种薄板材，例如印刷线路基板、彩色滤镜用的玻璃板、等离子显示(PDP)用的玻璃板等电子零件用的薄板，是在切成预定尺寸后，进行各种药液处理、多次清洗处理等的表面处理而制成的。这些表面处理中，薄板材外表面的均匀表面处理和成本是最重要的课题。下面，以作为上述薄板材代表例的印刷线路基板的制造工序为例，进行说明。图5A是现有技术的第一实施例的正面图，图5B是现有技术的第一实施例的平面图，图5C是现有技术的第二实施例的主要部分正面图。图6A是印刷线路基板(材)的现有技术中的滞留液例，图6B是印刷线路基板(材)的现有技术中的喷射轨迹，图6C是印刷线路基板(材)的现有技术中的正常例。印刷线路基板1是连续地经过以下工序制成的把在绝缘基材上粘贴着铜箔的印刷线路基板材2切断→穿孔用的开孔加工、研磨、镀层→抗蚀剂的涂敷、干燥或贴面→照射电路用底片使其曝光→显影→腐蚀→电路部分等的抗蚀剂的剥离等。该印刷线路基板材2的显影、腐蚀、剥离等各工序中，分别是一边运送印刷线路基板材2，一边用喷嘴3、4喷射显影液、腐蚀液、剥离液等的处理液A，进行显影、腐蚀、剥离等的药液处理。另外，这些各工序和其它的制造工序中，附带地进行喷射水洗液的清洗工序。药液处理和清洗处理等的表面处理，已往是这样进行的。在显影装置、腐蚀装置、剥离装置等的表面处理装置5、6中，用对应配置着的多个喷嘴3、4，对被运送机(图未示)以水平姿势运送过来的印刷线路基板材2喷射处理液A，这样，印刷线路基板材2被进行表面处理。处理液A从配管P被分送到喷管7、8后，从以一定间隔固定配置在平行喷射管7、8上的多个喷嘴3、4中喷出。图5A和图5B所示第一实施例表面处理装置5中，喷嘴3朝着正下方(或正上方)地固定配置在喷管7上，该喷管7沿左右宽度方向B固设着。处理液A以垂直于印刷线路基板材2的喷射角度从喷嘴3中喷出。图5C所示第二实施例表面处理装置6中，喷管8沿着前后运送方向C排列，并且以其轴为中心朝左右宽度方向B连续地往复摆动。喷嘴4固定配置在该喷管8上，该喷嘴4随着喷管8的摆动，朝左右宽度方向B作摇头动作地往复摆动，以从左方向到右方向摆动变位的喷射角度，将处理液A喷射到印刷线路基板材2上。第三实施例表面处理装置(图未示)中，喷管8沿前后运送方向C排列，朝左右宽度方向B连续地往复动作。该例中，喷嘴4也朝左右宽度方向B连续地水平往复动，以朝着右方向或左方向一边变位一边朝正下方(或正上方)以直角的喷射角度，将处理液A喷射到印刷线路基板材2上。上述现有技术存在以下问题。a，图5A和图5B所示第一实施例表面处理装置5中，如图5A所示，从朝正下方(或正上方)固定着的各喷嘴3中喷射处理液A，所以，在印刷线路基板材2上，有从各喷嘴3喷射的处理液A相互间达不到的部分，产生空白区域D。图5C所示第二实施例的摇头摆动式表面处理装置6和图未示第三实施例水平往复动式表面处理装置，是为了消除上述第一实施例中产生的空白区域D而研究出的。b，但是，在该第二实施例和第三实施例的表面处理装置6等中，如图6A所示，喷射出的处理液A，在印刷线路基板材2的外表面中央部，形成隆起的浓滞留液E。即，喷射出的处理液A，朝左右宽度方向B在印刷线路基板材2的外表面流动，进行了外表面的表面处理后，应该从左右两侧流下，流出。而第二实施例和第三实施例的表面处理装置6等中，由于各喷嘴4作摇头摆动或水平往复动，所以，在宽度方向B相互间喷射的处理液A彼此影响，处理液A不能顺利地朝左右宽度方向B流动，而朝四面八方无秩序地紊流，结果容易在中央部产生滞留液E。另外，在上述的第一实施例中，也产生该紊流和滞留液E。c，在第二实施例和第三实施例中，如图6B所示，处理液A以条纹状轨迹F喷射到印刷线路基板材2的外表面。即，在第二实施例和第三实施例的表面处理装置6等中，由于喷嘴4朝左右宽度方向B作摇头摆动和水平往复动，处理液A以锯齿状条纹轨迹朝左右喷射。这种条纹状轨迹F的产生，可以通过控制运送印刷线路基板材2的运送机速度来消除。但是，微调喷嘴4的摇头摆动和水平往复动的距离、时间、运送机的运送速度，使之相匹配不是容易的事，另外，为了处理的迅速化，要求提高运送速度，所以现实中条纹状轨迹F的消除是困难的。另外，上述现有技术的第一实施例、第二实施例、第三实施例表面处理装置5、6等中，如上所述，由于产生空白区域D、滞留液E、条纹状轨迹F，所以，印刷线路基板材2的表面处理不均匀。即，在处理液A的空白区域D与其以外的部位、在处理液A的滞留液E部位与其以外的部位、处理液A的条纹状轨迹F部位与其以外的部位，产生处理液A的浓淡，导致处理液A对印刷线路基板材2外表面的处理不均匀。例如，造成显影处理、腐蚀处理、剥离处理等的药液处理或水清洗处理不均匀，产生处理的迟速差、过量或不足部位、不均匀现象，从而引起所形成的电路9宽度不均匀等问题。对于要求电路9的高密度化、微细化、高精度化的印刷线路基板1来说，上述问题是绝对不能容许的。上述现有技术的问题，是处理不均匀化。在该现有技术的第一实施例、第二实施例、第三实施例表面处理装置5、6等中，由于上述的处理不均匀，制造出的印刷线路基板1不合品多，成品率低生产性差，制造成本高。另外，在上述第二实施例、第三实施例的表面处理装置6等中，为了使喷管8和喷嘴4摇头往复摆动或水平往复动，要对所有的喷管8附设摇头摆动和水平往复动机构，这样，提高了装置的设备费。所以上述现有技术的问题，是成本高。为了解决上述问题，本专利技术者经锐意研究提出了本专利技术。本专利技术的目的是提供一种薄板材表面处理装置，本专利技术的装置中，以朝左右宽度方向倾斜的喷射角度固定住喷嘴，消除空白区域、滞留液、条纹状轨迹等，使处理均匀化。另外，制造成本和设备费也降低。为了实现上述目的，本专利技术的技术方案如下。本专利技术的薄板材表面处理装置，对被运送的薄板材从对应配置着的多个喷嘴喷射处理液，进行该薄材的表面处理；其特征在于，该喷嘴相对于运送方向是朝着左右的宽度方向，并以倾斜的喷射角度固定配置着。在本专利技术的薄板表面处理装置中，该薄板材被传送机以水平姿势运送，该传送机备有上下地挟住该薄板材运送的多个运送辊；该喷嘴分别位于与形成在运送辊间的各前后间隔间对应的位置，并且，在每个该前后间隔朝着左方向或右方向；从该喷嘴喷射的处理液，以朝左方向或右方向倾斜的喷射角度喷射到该薄板材上，在该薄板材的外表面上，形成无滞留液、无紊流的朝左方向或右方向的规则流。在本专利技术的薄板表面处理装置中，朝左方向的喷嘴和朝右方向的喷嘴，在整个装置中约为相同数目。在本专利技术的薄板表面处理装置中，喷嘴的倾斜喷射角度是可变更调节的，可用适当的角度固定。在本专利技术的薄板表面处理装置中，配置着限制辊，该限制辊限制从该喷嘴对薄板材喷射的处理液在薄板材的外表面上朝前后运送方向流动；该限制辊沿着左右宽度方向并面临着薄板材外表面配置，并且留有前后间隔地每两个一组，该喷嘴位于与该前后间隔对应的位置。在本专利技术的薄板表面处理装置中，喷嘴在前后左右配置着多个，并且，前后配置着的喷嘴相互间，不处于相对位置而是左右错开。在本专利技术的薄板表面处理装置中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
薄板材表面处理装置，对运送的薄板材从对应配置着的多个喷嘴喷射处理液，进行该薄材的表面处理；其特征在于，该喷嘴相对于运送方向是朝着左右的宽度方向，并以倾斜的喷射角度固定配置着。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：新山喜三郎，绿川昌広，菅原清司，
申请(专利权)人：东京化工机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]