【技术实现步骤摘要】
从EP-A-O 164 564已知用一个激元激光器来在一种层次为金属-电介质-金属的层压板上产生盲孔的方法。该层压板的最上金属层被当作孔掩模用，其孔图用光技术传输并随即通过蚀刻制作。然后通过激元激光器的作用把这个掩模的孔区内露出的电介质去掉直至达到最下的金属层并结束该加工过程。这种方法特别适用于制作多层印制电路板所需的盲孔形式的通孔。从德国杂志《精密仪器技术和测量技术》91(1983)2，56～58页已知一种制造多层印制电路板的类似方法，这种方法是用一个CO2激光器来产生作为充分接触用的盲孔。在这里也是把最上层铜箔作为孔掩模用，在这种掩模时，凡是激光束要产生一个孔的地方，都把铜蚀刻去。从DE-A-197 19 700也已知一些层压板激光钻孔装置。在这些装置中，金属层的钻孔使用波长约为266纳米至1064纳米范围的第一激光器，而电介质层的钻孔则使用波长约为1064纳米至10600纳米范围的第二激光器。从US-A-5 593 606已知一种层压板的激光钻孔方法，该方法的金属层钻孔和电介质层钻孔都用唯一的紫外线激光器，其波长低于400纳米，而其脉冲宽度则低于100纳秒。在...
【技术保护点】
具有至少一层金属层和至少一层用一种有机材料制成的电介质层的层压板的激光钻孔方法，其特征为，所用的倍频钕－钒酸盐激光器具有如下的激光参数： －脉冲宽度 ＜４０纳秒； －脉冲频率 ≥３０千赫，用于金属层， ≥２０千赫，用于电介质层； －波长 ＝５３２纳米。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：J范普伊姆布雷克，M赫尔曼，H德施托伊尔，
申请(专利权)人：西门子公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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