一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜制造技术

本发明专利技术公开了一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜，包括双框架万向节(1)，双框架万向节(1)上设有十字连接架(6)，十字连接架(6)的顶部设有镜面(3)，十字连接架的(6)的底面上设有多个磁性体(4)，磁性体(4)下方设有相对应的通电螺线管(5)；本发明专利技术可以提供更大的驱动力来灵活调节镜面的扫描角度，且具有承载可靠性佳的特点。的特点。的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜


[0001]本专利技术涉及激光雷达
，特别涉及一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜。

技术介绍

[0002]基于微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
MechanicalSystem，MEMS)的微镜技术具有响应速度快，扫描精度高、稳定性强、工作寿命长、可批量化制备等优势，被广泛应用于激光雷达领域。MEMS激光雷达分为共轴扫描和非共轴扫描两种方式，共轴扫描是指激光发射光路和回波光路共用MEMS扫描镜；非共轴是指发射光路和回波光路分开，不共用MEMS扫描镜。使用共轴扫描的情况下，接收透镜的视场角较小，所受环境光或其他干扰也较少，适合远距离测量，而镜面直径越大，同轴探测光路接受的能量越多，探测距离越远。由于大直径微镜本身具有较大的转动惯量，其要求更大的驱动能力和驱动空间来达到大扫描角度；电磁驱动方式以其较大驱动力和较低的驱动电压，满足大直径微镜的驱动要求。目前电磁式二维MEMS微镜一般采用闭合线圈
‑
磁铁式结构，当线圈接入交流信号后，与磁铁产生的静态本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜，其特征在于：包括双框架万向节(1)，双框架万向节(1)上设有十字连接架(6)，十字连接架(6)的顶部设有镜面(3)，十字连接架的(6)的底面上设有多个磁性体(4)，磁性体(4)下方设有相对应的通电螺线管(5)。2.根据权利要求1所述的电磁驱动式的大直径MEMS微镜，其特征在于：所述双框架万向节(1)包括基底(11)，基底(11)的中部设有转动连接的外框架(12)，外框架(12)中部设有转动连接的内框架(10)，内框架(10)中...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜新泉，奚庆新，
申请(专利权)人：苏州璇光半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：