温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜，包括双框架万向节(1)，双框架万向节(1)上设有十字连接架(6)，十字连接架(6)的顶部设有镜面(3)，十字连接架的(6)的底面上设有多个磁性体(4)，磁性体(4)下方设有相对应的通电螺线管(...该专利属于苏州璇光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州璇光半导体科技有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种电磁驱动式的大直径MEMS微镜，包括双框架万向节(1)，双框架万向节(1)上设有十字连接架(6)，十字连接架(6)的顶部设有镜面(3)，十字连接架的(6)的底面上设有多个磁性体(4)，磁性体(4)下方设有相对应的通电螺线管(...