微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质，包括：微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动；通过光电探测器件获取所述微镜的实时偏振运动轨迹信号；对实时偏振运动轨迹信号进行分析，并确定目标驱动频率，在所述目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值；所述微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动。本发明专利技术能够快速测量微镜的谐振频率，并自动确定每个微镜的谐振频率以及谐振幅值，避免了在工艺生产过程中，需要对每个微镜单独进行测试调试的过程，从而大幅度缩短对微镜产品的测试调试时间，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质


[0001]本专利技术涉及仪器控制
，尤其涉及一种微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质。

技术介绍

[0002]微镜工作在谐振频率下，MEMS微镜能够以最小的驱动功率工作在最大振动幅值。由于微镜生产公司给出的产品特性中谐振频率是一个范围，因此在制造工艺上，无法严格生产出具有相同谐振频率的一批产品，不同的产品之间的谐振频率存在误差。当用户需要对微镜进行大批量应用时，需要测试每一个微镜的谐振频率，并且需要在控制系统中更新数据，这一过程非常繁琐且严重影响工作进度。
[0003]因此，亟需一种能够自动调整微镜谐振频率的电磁驱动型微镜偏振运动控制方案。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种微镜偏振运动控制方法、装置、校准设备及可读存储介质，具体方案如下：
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种微镜偏振运动控制方法，所述方法包括：
[0006]微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动，所述第一幅值为预设值本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微镜偏振运动控制方法，其特征在于，所述方法包括：微镜根据第一幅值和第一驱动频率进行偏振运动，所述第一幅值为预设值，所述第一驱动频率为预设值；通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号，所述P为正整数；对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值，所述N为正整数且N<P；遍历第二幅值，确定第二幅值最大的第二驱动频率为目标驱动频率，所述微镜在目标驱动频率下进行幅值调整，确定目标幅值；所述微镜根据所述目标驱动频率和所述目标幅值进行谐振运动。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述“对P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号进行分析，得到N个第二驱动频率以及每个第二驱动频率对应的第二幅值”，包括：基于实时偏振运动轨迹信号，得到实时驱动频率以及对应的第一实时幅值；基于预设增量计算模型调节所述实时驱动频率，直至所述实时驱动频率等于预设频率阈值；若连续M个偏振周期内的实时驱动频率之间的差值符合预设范围，则将所述实时驱动频率确定为所述第二驱动频率，并将对应所述第二驱动频率的第一实时幅值的平均值确定为所述第二幅值，所述M为正整数且M≤P。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设增量计算模型的计算公式为：其中，Δu(k)为增量，u(k)为当前微镜偏振周期内的驱动控制信号，u(k
‑
1)为前一微镜偏振周期的驱动控制信号，e(k)为当前微镜偏振周期的误差，e(k
‑
1)为前一个微镜偏振周期的误差，e(k
‑
2)为前两个微镜偏振周期的误差，K
p
为比例系数、K
i
为积分系数，K
d
为微分系数。4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的方法，其特征在于，所述的“通过光电探测器件获取所述微镜在P个偏振周期的实时偏振运动轨迹信号”包括以下内容：根据光电探测器件得到两路光电感应电流；基于两路光电感应电流得到所述微镜的偏振角度；基于连续的偏振角度的变化得到实时偏振运动轨迹信号。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述的“基于两路光电感应电流得到所述微镜的偏振角度”，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵猛，付文波，王靖逸，石维刚，李向隆，
申请(专利权)人：深圳市镭神智能系统有限公司，
类型：发明
国别省市：