一种用于激光雷达的大直径MEMS微镜制造技术

本发明专利技术公开了一种用于激光雷达的大直径MEMS微镜，包括承重件(1)，承重件(1)的上表面设有承重杆(2)，承重杆(2)的端部设有镜面(3)；所述承重件(1)的下表面设有多个磁性体(4)，磁性体(4)的下方设有与其相对应的通电螺线管(5)；所述承重件(1)的侧面设有多个连接杆组(6)，连接杆组(6)的外端经扭转梁共同连接有外底座(9)；本发明专利技术可以提供更大的驱动力来灵活调节镜面的扫描角度并具备良好的承载可靠性，同时还能有效保证镜面的镜面完整，使镜面保持良好的动态形变。良好的动态形变。良好的动态形变。

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光雷达的大直径MEMS微镜


[0001]本专利技术涉及激光雷达
，特别涉及一种用于激光雷达的大直径MEMS微镜。

技术介绍

[0002]基于微机电系统(Micro
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Electro
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MechanicalSystem，MEMS)的微镜技术具有响应速度快，扫描精度高、稳定性强、工作寿命长、可批量化制备等优势，被广泛应用于激光雷达领域。MEMS激光雷达分为共轴扫描和非共轴扫描两种方式，共轴扫描是指激光发射光路和回波光路共用MEMS扫描镜；非共轴是指发射光路和回波光路分开，不共用MEMS扫描镜。使用共轴扫描的情况下，接收透镜的视场角较小，所受环境光或其他干扰也较少，适合远距离测量，而镜面直径越大，同轴探测光路接受的能量越多，探测距离越远。由于大直径微镜本身具有较大的转动惯量，其要求更大的驱动能力和驱动空间来达到大扫描角度；电磁驱动方式以其较大驱动力和较低的驱动电压，满足大直径微镜的驱动要求。目前电磁式二维MEMS微镜一般采用闭合线圈
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磁铁式结构，当线圈接入交流信号后，与磁铁产生的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于激光雷达的大直径MEMS微镜，其特征在于：包括承重件(1)，承重件(1)的上表面设有承重杆(2)，承重杆(2)的端部设有镜面(3)；所述承重件(1)的下表面设有多个磁性体(4)，磁性体(4)的下方设有与其相对应的通电螺线管(5)；所述承重件(1)的侧面设有多个连接杆组(6)，连接杆组(6)的外端经扭转梁共同连接有外底座(9)。2.根据权利要求1所述的用于激光雷达的大直径MEMS微镜，其特征在于：所述连接杆组(6)包括设置于承重件(1)侧部的连接杆(7)，连接杆(7)位置与所在侧的磁性体(4)相对应。3.根据权利要求2所述的用于激光雷达的大直径MEM...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜新泉，奚庆新，
申请(专利权)人：苏州璇光半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：