气体阀门箱的气体泄露检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种气体阀门箱的气体泄露检测装置，设置于排气出口下方，包括：用于连接排气出口的安装部；可拆卸安装于安装部上的检测试纸；用于对检测试纸的颜色进行监测的感应部，当检测试纸的颜色变化时，发出报警信号。气体阀门箱经由排气出口会持续进行抽气，保持箱内负压，所以气体阀门箱内存在的气体必然会经过设置于排气出口下方的气体泄露检测装置。若发生长期小浓度的有害气体泄露，在累积的有害气体通过量达到一定程度时，检测试纸将会反应变色，用于对检测试纸的颜色进行监测的感应部将获取检测试纸变色的信息，发出报警信号。从而，能够实现检测长期小浓度的有害气体泄露，并及时发出报警信号。并及时发出报警信号。并及时发出报警信号。

【技术实现步骤摘要】
气体阀门箱的气体泄露检测装置


[0001]本专利技术涉及气体检测
，尤其涉及一种气体阀门箱的气体泄露检测装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造车间(2FFAB)所使用的气体阀门箱(ValveManifoldBox，VMB)内，所安装的大多为有毒有害气体管路，这些气体若逸散至空气中，对半导体制造车间内工作人员的生命安全将造成重大的威胁。现在对这些有害气体主要是通过成分检测的方式进行监控检测，具体为在气体阀门箱上方排风的管路里以及环境中建立检测点，若检测到有害气体成分超出阈值，则发出警报。
[0003]而现有技术所检测到的气体成分均为实时的，气体的浓度情况转变为电信号，而且会在达到某一阈值之后才会报警，这些电信号不会进行累加，所以若发生在阈值之下长期小流量的泄漏的情况，报警器不会被激发，在这种情况下，存在一定的安全隐患。因此，需要提供一种新的气体泄露检测方法以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种气体阀门箱的气体泄露检测装置，用以改善无法检测小流量气体泄露的问题。
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体阀门箱的气体泄露检测装置，其特征在于，设置于排气出口下方，包括：安装部，用于连接所述排气出口；检测试纸，可拆卸安装于所述安装部上；感应部，用于对所述检测试纸的颜色进行监测，当所述检测试纸的颜色变化时，发出报警信号。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述安装部将所述检测试纸划分为N个检测区域，所述感应部包括N个感应单元，一个所述感应单元对应监测一个所述检测区域的颜色，N为正整数。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述感应单...

【专利技术属性】
技术研发人员：王岩，於阳阳，王凯凯，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：发明
国别省市：