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本发明公开了一种用于激光雷达的大直径MEMS微镜，包括承重件(1)，承重件(1)的上表面设有承重杆(2)，承重杆(2)的端部设有镜面(3)；所述承重件(1)的下表面设有多个磁性体(4)，磁性体(4)的下方设有与其相对应的通电螺线管(5)；所...该专利属于苏州璇光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州璇光半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于激光雷达的大直径MEMS微镜，包括承重件(1)，承重件(1)的上表面设有承重杆(2)，承重杆(2)的端部设有镜面(3)；所述承重件(1)的下表面设有多个磁性体(4)，磁性体(4)的下方设有与其相对应的通电螺线管(5)；所...