一种真空吸盘治具制造技术

本发明专利技术公开了一种真空吸盘治具，包括底盘，所述底盘内设有第一通道，所述第一通道的其中一端连通于所述底盘外；还包括周向活动块，所述周向活动块在所述底盘的周向上与所述底盘滑动连接，所述周向活动块上设有第二通道，所述第二通道的其中一端与所述第一通道的另一端连通；还包括径向活动块，所述径向活动块在所述底盘的径向上与所述周向活动块滑动连接，所述径向活动块内设有第三通道。本发明专利技术采用吸盘固定代替粘蜡的固定方式，硅产品与吸盘治具靠真空完成连接固定，只需控制治具与产品接触面的平面度和平行度即可做到硅产品与治具的无缝连接，保证后续加工中的精度。保证后续加工中的精度。保证后续加工中的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空吸盘治具


[0001]本专利技术涉及半导体硅材料制造
，特别的，涉及一种真空吸盘治具。

技术介绍

[0002]随着硅产品市场的增加，客户对高标准的硅产品的需求也日益增大，内外径需求也仅仅是最基础的要求，硅产品也增加了其他造型，比如孔、螺纹、台阶等等。
[0003]现有技术中加工硅产品时多使用石英锭盘治具，硅产品与治具之间采用粘蜡方式粘连，其加工前的安装和加工后的拆卸占用了一定的工序，需要一定的人工成本，影响加工效率，并且这种方式依赖人工，因此对于粘连处的缝隙精度无法保证，难以保证硅产品安装在治具上的平面度，影响后续加工中的精确度；再者，粘蜡方式下硅产品与治具之间距离较为贴近，对于各种不同造型的硅产品，粘蜡方式无法做到对硅产品进行合适点位的支撑固定，以保证加工造型时不出问题，例如加工孔、螺纹、台阶等时发生刀具与治具撞刀。

技术实现思路

[0004]为了解决
技术介绍
中提到的至少一个技术问题，本专利技术的目的在于提供一种真空吸盘治具，以提高硅产品与治具的固定精度，简化硅产品与治具的安装固定工序。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空吸盘治具，包括底盘（1），其特征在于，所述底盘（1）内设有第一通道，所述第一通道的其中一端连通于所述底盘（1）外；还包括周向活动块（2），所述周向活动块（2）在所述底盘（1）的周向上与所述底盘（1）滑动连接，所述周向活动块（2）上设有第二通道，所述第二通道的其中一端与所述第一通道的另一端连通；还包括径向活动块（3），所述径向活动块（3）在所述底盘（1）的径向上与所述周向活动块（2）滑动连接；所述径向活动块（3）内设有第三通道，所述第三通道的其中一端与所述第二通道的另一端连通，所述径向活动块（3）的上端设有用于吸附硅产品的吸口（32），所述吸口（32）连通于所述第三通道的另一端。2.根据权利要求1所述的一种真空吸盘治具，其特征在于，所述底盘（1）上开设有弧槽（11），所述周向活动块（2）的下侧设有滑动部（21），所述滑动部（21）位于所述弧槽（11）内并与所述弧槽（11）滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种真空吸盘治具，其特征在于，所述第一通道具有连通于所述弧槽（11）的底壁的第一开口（12），所述第二通道具有连通于所述滑动部（21）的下壁的第二开口（23），所述滑动部（21）的下壁与所述弧槽（11）的底壁贴合，在竖直方向的投影位置上，所述第一开口（12）位于所述第二开口（23）的范围内。4.根据权利要求3所述的一种真空吸盘治具，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝军，祝建敏，张亚博，
申请(专利权)人：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：