一种半自动化绷膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半自动化绷膜装置，应用于卷膜对晶圆的绷膜，所述卷膜包括粘膜和防护粘膜的盖膜，涉及晶圆绷膜设备领域，半自动化绷膜装置包括：工作台；盖膜盒，固定于工作台，设置有用于放置卷膜的穿膜棒，所述穿膜棒可绕所述盖膜盒转动而释放卷膜；拉伸棒，设置于盖膜盒与工作台之间，开设有容纳卷膜中的粘膜通过的导孔，所述导孔用于对粘膜拉至工作台进行导向；边夹，设置于所述工作台的两侧，用于夹紧所述工作台上粘膜的两侧；载台，使粘膜绷紧于所述晶圆；切割刀，用于所述晶圆绷膜后切割所述载台外侧的多余粘膜。本实用新型专利技术提供的一种半自动化绷膜装置，能够解决绷膜过程中粘膜松弛的现象，提高晶圆的绷膜效率和绷膜质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种半自动化绷膜装置


[0001]本技术涉及晶圆绷膜设备领域，尤其涉及一种半自动化绷膜装置。

技术介绍

[0002]半导体晶圆解理工艺过程中，需要将各类粘性膜绷在扩晶环上，再贴晶圆进行解理。目前市面上自动化贴片设备不仅价格昂贵，且对于100微米左右薄片存在裂片比例高、易造成损伤，多数使用者采用设备绷环贴膜时以人工贴片的方式进行生产，目前现在设备的膜面绷紧程度较为松弛，造成解理裂片效果不良的异常情况。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种半自动化绷膜装置，以解决现有技术中贴膜过程中膜面松弛造成晶圆与膜贴合不紧密的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0005]一种半自动化绷膜装置，应用于卷膜对晶圆的绷膜，所述卷膜包括粘膜和防护粘膜的盖膜，包括：
[0006]工作台；
[0007]盖膜盒，固定于工作台，设置有用于放置卷膜的穿膜棒，所述穿膜棒可绕所述盖膜盒转动而释放卷膜；
[0008]拉伸棒，设置于盖膜盒与工作台之间，开设有容纳卷膜中的粘膜通过的导孔，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半自动化绷膜装置，应用于卷膜对晶圆的绷膜，所述卷膜包括粘膜和防护粘膜的盖膜，其特征在于，包括：工作台；盖膜盒，固定于工作台，设置有用于放置卷膜的穿膜棒，所述穿膜棒可绕所述盖膜盒转动而释放卷膜；拉伸棒，设置于盖膜盒与工作台之间，开设有容纳卷膜中的粘膜通过的导孔，所述导孔用于对粘膜拉至工作台进行导向；边夹，设置于所述工作台的两侧，用于夹紧所述工作台上粘膜的两侧；载台，可相对于所述工作台移动，用于放置所述晶圆后移动顶紧粘膜，使粘膜绷紧于所述晶圆；切割刀，所述载台设置有与所述载台外侧相匹配的轨道，所述切割刀可沿所述轨道运动，用于所述晶圆绷膜后切割所述载台外侧的多余粘膜。2.根据权利要求1所述的一种半自动化绷膜装置，其特征在于，所述边夹包括上夹和下夹，所述下夹设置有压紧槽，所述上夹设置有压紧凸台，所述上夹和下夹活动连接，所述压紧槽与所述压紧凸台相对设置，所述上夹和下夹夹合时所述压紧凸台压入所述压紧槽内。3.根据权利要求2所述的一种半自动化绷膜装置，其特征在于，所述工作台设置有螺纹杆，所述螺纹杆套设...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘奕，周露露，肖成，贺慧婷，徐马记，刘徐龙，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：