本实用新型专利技术公开了一种半自动化绷膜装置，应用于卷膜对晶圆的绷膜，所述卷膜包括粘膜和防护粘膜的盖膜，涉及晶圆绷膜设备领域，半自动化绷膜装置包括：工作台；盖膜盒，固定于工作台，设置有用于放置卷膜的穿膜棒，所述穿膜棒可绕所述盖膜盒转动而释放卷膜；拉伸棒，设置于盖膜盒与工作台之间，开设有容纳卷膜中的粘膜通过的导孔，所述导孔用于对粘膜拉至工作台进行导向；边夹，设置于所述工作台的两侧，用于夹紧所述工作台上粘膜的两侧；载台，使粘膜绷紧于所述晶圆；切割刀，用于所述晶圆绷膜后切割所述载台外侧的多余粘膜。本实用新型专利技术提供的一种半自动化绷膜装置，能够解决绷膜过程中粘膜松弛的现象，提高晶圆的绷膜效率和绷膜质量。量。量。
【技术实现步骤摘要】
一种半自动化绷膜装置
[0001]本技术涉及晶圆绷膜设备领域，尤其涉及一种半自动化绷膜装置。
技术介绍
[0002]半导体晶圆解理工艺过程中，需要将各类粘性膜绷在扩晶环上，再贴晶圆进行解理。目前市面上自动化贴片设备不仅价格昂贵，且对于100微米左右薄片存在裂片比例高、易造成损伤，多数使用者采用设备绷环贴膜时以人工贴片的方式进行生产，目前现在设备的膜面绷紧程度较为松弛，造成解理裂片效果不良的异常情况。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种半自动化绷膜装置，以解决现有技术中贴膜过程中膜面松弛造成晶圆与膜贴合不紧密的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0005]一种半自动化绷膜装置，应用于卷膜对晶圆的绷膜，所述卷膜包括粘膜和防护粘膜的盖膜，包括：
[0006]工作台；
[0007]盖膜盒，固定于工作台，设置有用于放置卷膜的穿膜棒，所述穿膜棒可绕所述盖膜盒转动而释放卷膜；
[0008]拉伸棒，设置于盖膜盒与工作台之间，开设有容纳卷膜中的粘膜通过的导孔，所述导孔用于对粘膜拉至工作台进行导向；
[0009]边夹，设置于所述工作台的两侧，用于夹紧所述工作台上粘膜的两侧；
[0010]载台，可相对于所述工作台移动，用于放置所述晶圆后移动顶紧粘膜，使粘膜绷紧于所述晶圆；
[0011]切割刀，所述载台设置有与所述载台外侧相匹配的轨道，所述切割刀可沿所述轨道运动，用于所述晶圆绷膜后切割所述载台外侧的多余粘膜。
[0012]在本申请可选的实施例中，所述边夹包括上夹和下夹，所述下夹设置有压紧槽，所述上夹设置有压紧凸台，所述上夹和下夹活动连接，所述压紧槽与所述压紧凸台相对设置，所述上夹和下夹夹合时所述压紧凸台压入所述压紧槽内。
[0013]在本申请可选的实施例中，所述工作台设置有螺纹杆，所述螺纹杆套设有连接座，所述边夹固定于连接座，所述连接座设置有用于错开工作台的避空槽。
[0014]在本申请可选的实施例中，所述边夹的两端与工作台的两端齐平。
[0015]在本申请可选的实施例中，所述盖膜盒设置有联动轴，所述联动轴用于分离覆盖于粘膜的盖膜。
[0016]在本申请可选的实施例中，所述工作台设置有切割电机，所述切割电机的输出连接有具有伸缩性的伸缩杆，所述切割刀设置于伸缩杆的端部，所述切割电机带动切割刀沿轨道运动。
[0017]在本申请可选的实施例中，所述载台设置有加热器，所述加热器用于对载台加热。
[0018]在本申请可选的实施例中，所述载台设置有环卡扣，用于对晶圆放置于所述载台时的定位。
[0019]在本申请可选的实施例中，所述载台为六边形环。
[0020]在本申请可选的实施例中，所述载台的材质为导热材料。
[0021]本技术公开的一种半自动化绷膜装置的有益效果是：将需要绷膜的晶圆放置于载台。将卷膜套设于盖膜盒的穿模棒上，分离粘膜和用于防护粘膜的盖膜，将粘膜穿过拉伸棒的导孔拉至工作台，粘膜平铺于工作台。通过工作台两侧的边夹夹紧于粘膜的两侧，由于边夹既起到压紧工作台上粘膜两侧的作用，也起到压紧粘膜前后的作用。将载体上升并顶住粘膜，使粘膜进一步拉伸绷紧于晶圆表面。最后用切割刀沿轨道运动切割掉载台外侧的多余粘膜，实现晶圆的绷膜作业。通过半自动化的作业，有效提升了晶圆绷膜的效率，同时通过边夹夹紧，再通过中间载台的上升顶紧粘膜，解决了粘膜松弛的问题，并进一步使粘膜延展，使晶圆和粘膜的粘和更为紧密，有效提高晶圆的绷膜质量。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术一种半自动化绷膜装置的结构示意图；
[0024]图2为本技术一种半自动化绷膜装置的绷膜状态中的示意图。
[0025]附图标号：100、半自动化绷膜装置；10、工作台；20、盖膜盒；21、穿膜棒；30、边夹；31、连接座；40、拉伸棒；50、载台；51、环卡扣；60、卷膜；61、粘膜；70、切割刀。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0029]在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连
通”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0032]以下结合本说明书的附图1
‑
图2，对本技术公开的较佳实施方式予以进一步地详尽阐述。
[0033]请参照图1和图2，本申请实施例提供了一种半自动化绷膜装置，本申请实施例提供的半自动化绷膜装置能够应用于晶圆的绷膜作业。卷膜60套设于穿膜棒21，手动分离粘膜61和用于防护粘膜61的盖膜，将粘膜61穿过拉伸棒40的导孔拉至工作台10，再通过工作台10两侧的边夹30夹紧拉直，将晶圆放置与载台50，再通过载台50上升进一步使粘膜61延展崩直，粘膜61覆盖于本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半自动化绷膜装置，应用于卷膜对晶圆的绷膜，所述卷膜包括粘膜和防护粘膜的盖膜，其特征在于，包括：工作台；盖膜盒，固定于工作台，设置有用于放置卷膜的穿膜棒，所述穿膜棒可绕所述盖膜盒转动而释放卷膜；拉伸棒，设置于盖膜盒与工作台之间，开设有容纳卷膜中的粘膜通过的导孔，所述导孔用于对粘膜拉至工作台进行导向；边夹，设置于所述工作台的两侧，用于夹紧所述工作台上粘膜的两侧；载台，可相对于所述工作台移动，用于放置所述晶圆后移动顶紧粘膜，使粘膜绷紧于所述晶圆；切割刀，所述载台设置有与所述载台外侧相匹配的轨道，所述切割刀可沿所述轨道运动，用于所述晶圆绷膜后切割所述载台外侧的多余粘膜。2.根据权利要求1所述的一种半自动化绷膜装置，其特征在于，所述边夹包括上夹和下夹，所述下夹设置有压紧槽，所述上夹设置有压紧凸台，所述上夹和下夹活动连接，所述压紧槽与所述压紧凸台相对设置，所述上夹和下夹夹合时所述压紧凸台压入所述压紧槽内。3.根据权利要求2所述的一种半自动化绷膜装置，其特征在于，所述工作台设置有螺纹杆，所述螺纹杆套设...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘奕，周露露，肖成，贺慧婷，徐马记，刘徐龙，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。