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本实用新型公开了一种半自动化绷膜装置，应用于卷膜对晶圆的绷膜，所述卷膜包括粘膜和防护粘膜的盖膜，涉及晶圆绷膜设备领域，半自动化绷膜装置包括：工作台；盖膜盒，固定于工作台，设置有用于放置卷膜的穿膜棒，所述穿膜棒可绕所述盖膜盒转动而释放卷膜；拉...
该专利属于武汉锐晶激光芯片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉锐晶激光芯片技术有限公司授权不得商用。

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