金属覆膜的成膜装置及其成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及金属覆膜的成膜装置及其成膜方法，抑制在金属覆膜(F)的表面产生凹凸，谋求成膜品质的提高。成膜装置(1)具备：阳极(11)；固体电解质膜(13)，配置于阳极与基材(B)之间；电源部(14)，将基材作为阴极，对阳极与基材之间施加电压；及液收纳体(15)，以分离的状态保持阳极和固体电解质膜，在阳极与固体电解质膜之间收纳包含金属离子的电解液(L)。固体电解质膜包括：中央部(13a)，是与基材和电解液接触的部分；以及外缘部(13b)，位于中央部的外侧。成膜装置具备拉膜机构(18)，在液收纳体中收纳有加热后的电解液的状态下，该拉膜机构从中央部朝向外缘部对中央部施加拉伸力，使固体电解质膜的中央部伸长。质膜的中央部伸长。质膜的中央部伸长。

【技术实现步骤摘要】
金属覆膜的成膜装置及其成膜方法


[0001]本专利技术涉及在基材的表面形成金属覆膜的成膜装置及其成膜方法。

技术介绍

[0002]一直以来，在基材的表面析出金属离子而形成金属覆膜(例如，专利文献1)。在专利文献1中记载了一种金属覆膜的成膜装置，其具备阳极、配置于阳极与作为阴极的基材之间的固体电解质膜、对阳极与基材之间施加电压的电源部、以及在阳极与固体电解质膜之间收纳包含金属离子的电解液的液体收纳部。
[0003]在该成膜装置中，固体电解质膜与阳极分离地配置于壳体，由壳体、固体电解质膜以及阳极形成液收纳部。收纳于该液收纳部的电解液与阳极和固体电解质膜直接接触。
[0004]在使用该成膜装置形成金属覆膜的情况下，有时使固体电解质膜从上方与基材接触，之后，向壳体的液收纳部注入电解液，使用电源部对阳极与基材之间施加电压。由此，固体电解质膜中含有的金属离子在基材的表面被还原，使金属在基材的表面析出而形成金属覆膜。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2016
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属覆膜的成膜装置，其特征在于，该金属覆膜的成膜装置具备：阳极；固体电解质膜，配置于所述阳极与基材之间；电源部，将所述基材作为阴极，对所述阳极与所述基材之间施加电压；以及液收纳体，以分离的状态保持所述阳极和所述固体电解质膜，在所述阳极与所述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的电解液，在使所述固体电解质膜与所述基材接触的状态下对所述阳极与所述基材之间施加电压，将所述固体电解质膜的内部所含有的金属离子还原，从而在所述基材的表面形成金属覆膜，其中，所述固体电解质膜包括：中央部，该中央部是与所述基材和所述电解液接触的部分；以及外缘部，该外缘部位于所述中央部的外侧，所述成膜装置还具备拉膜机构，在所述液收纳体中收纳有加热后的所述电解液的状态下，所述拉膜机构从所述固体电解质膜的所述中央部朝向所述外缘部对所述中央部施加拉伸力，使所述固体电解质膜的所述中央部伸长。2.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，所述拉膜机构至少包括：框体，在将所述外缘部沿着所述液收纳体的外侧面弯折的状态下，在与所述外侧面之间夹入所述外缘部；以及拉伸装置，通过使所述框体沿着所述外侧面滑动，使所述拉伸力作用于所述中央部。3.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，所述拉膜机构至少包括：卷绕部，部分地卷绕所述固体电解质膜的所述外缘部；以及拉伸装置，通过在所述外缘部与所述卷绕部接触的状态下使所述卷绕部旋转，使所述拉伸力作用于所述中央部。4.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，所述拉膜机构至少包括：膜支承部，支承所述固体电解质膜的所述外缘部；棒构件，抵接于所述外缘部，相对于所述固体电解质膜在所述固体电解质膜的膜厚方向上移动自如；以及拉伸装置，通过在所述外缘部由所述膜支承部支承的状态下使所述棒构件在所述膜厚方向上移动，从而使所述拉伸力作用于所述中央部。5.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，该金属覆膜的成膜装置具备：第1温度传感器，检测所述固体电解质膜的温度；第2温度传感器，检测所述基材的温度；第3温度传感器，检测所述电解液的温度；以及控制装置，接收在所述液收纳体中收纳有所述电解液的状态下的来自所述第1温度传感器的第1温度信息、来自所述第2温度传感器的第2温度信息...

【专利技术属性】
技术研发人员：近藤春树，稻垣功二，黑田圭児，冈本和昭，
申请(专利权)人：丰田自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：