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金属覆膜的成膜装置及其成膜方法制造方法及图纸
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文档序号:37294545
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本发明涉及金属覆膜的成膜装置及其成膜方法,抑制在金属覆膜(F)的表面产生凹凸,谋求成膜品质的提高。成膜装置(1)具备:阳极(11);固体电解质膜(13),配置于阳极与基材(B)之间;电源部(14),将基材作为阴极,对阳极与基材之间施加电压;...
该专利属于丰田自动车株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过丰田自动车株式会社授权不得商用。
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