本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种冷却系统的动态调节控制方法、装置、系统及外延设备。该冷却系统的动态调节控制方法包括：获取冷却系统的水温；根据冷却系统的水温，调节变频器的运行频率；以及根据变频器的运行频率，调节冷却系统的循环水泵的驱动频率。这种冷却系统的动态调节控制方法实时采集冷却系统中冷却水的温度，并根据冷却水的实时温度对应调节变频器的运行频率，从而使得变频器对循环水泵的输出驱动频率进行对应调节，如此可以更加契合碳化硅外延设备当前的降温需求，保障冷却系统的管路运行在合理的温度范畴，从而有效保证冷却系统的冷却效果，进而提高外延设备使用过程的可靠性。备使用过程的可靠性。备使用过程的可靠性。
【技术实现步骤摘要】
冷却系统的动态调节控制方法、装置、系统及外延设备
[0001]本申请涉及半导体制造
，具体涉及一种冷却系统的动态调节控制方法、装置、系统及外延设备。
技术介绍
[0002]碳化硅(SiC)是一种高性能的半导体材料，可用于制备大功率电力电子器件，在国民经济和国防安全中有重要的运用价值。目前，制备碳化硅外延材料需要用到碳化硅高温外延设备，碳化硅高温外延生长设备一般包括传输系统、外延反应室系统、真空抽气系统以及冷却系统等。
[0003]相关技术中，碳化硅外延设备通常选用不间断运行的冷却水循环系统来达到冷却的目的，此类冷却系统的冷却效果恒定。但是，碳化硅外延设备的降温需求是动态变化的，冷却系统的降温能力不能随降温需求改变，如此使得其无法满足碳化硅外延生长的温度需求，大大影响了碳化硅外延设备的使用效果。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本申请提供了一种冷却系统的动态调节控制方法、装置、系统及外延设备，解决或改善了现有技术中碳化硅外延设备的冷却系统降温模式恒定，无法满足使用需求的技术问题。
[0005]根据本申请的第一个方面，本申请提供了一种冷却系统的动态调节控制方法，此冷却系统的动态调节控制方法包括：获取冷却系统的水温；根据所述冷却系统的水温，调节变频器的运行频率；以及根据所述变频器的运行频率，调节所述冷却系统的循环水泵的驱动频率。
[0006]在一种可能的实现方式中，所述根据所述冷却系统的水温，调节变频器的运行频率，包括：根据所述冷却系统的水温以及多个预设温度区间，确定所述冷却系统的水温的所属预设温度区间；根据所述冷却系统的水温的所述所属预设温度区间，调节所述变频器的当前运行频率至预设运行频率区间；其中，每个所述预设温度区间均对应设有所述预设运行频率区间。
[0007]在一种可能的实现方式中，所述获取冷却系统的水温，包括：获取温度感应装置传输的感应信号，所述感应信号用于表示所述冷却系统的水温。
[0008]根据本申请的第二个方面，本申请还提供了一种冷却系统的动态调节控制装置，此冷却系统的动态调节控制装置包括：水温获取模块，用于获取冷却系统的水温；运行频率调节模块，用于根据所述冷却系统的水温，调节变频器的运行频率；以及循环水泵运行频率调节模块，用于根据所述变频器的运行频率，调节所述冷却系统的循环水泵的驱动频率。
[0009]根据本申请的第三个方面，本申请还提供了一种冷却系统的动态调节控制系统，此冷却系统的动态调节控制系统包括：温度感应装置，所述温度感应装置用于检测冷却系统的水温；变频器，所述变频器与所述温度感应装置以及所述冷却系统的循环水泵电连接；
如上所述的冷却系统的动态调节控制装置，所述动态调节控制装置与所述温度感应装置、所述变频器以及所述循环水泵电连接。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述温度感应装置为温度变送器，所述温度变送器将输入的温度信号转变为用于输出的电压信号。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述温度变送器包括：温度探头，所述温度探头设置在所述冷却系统的回水口。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述动态调节控制装置集成设置在所述变频器中。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述变频器分别与所述循环水泵的启动电路以及停止电路电连接，所述变频器用于控制所述循环水泵的启动与停止。
[0014]根据本申请的第三个方面，本申请还提供了一种外延设备，此外延设备包括：冷却系统；如上任一项所述的冷却系统的动态调节控制系统，所述动态调节系统与所述冷却系统电连接。
[0015]本申请提供了一种冷却系统的动态调节控制方法、装置、系统及外延设备，其中，冷却系统的动态调节控制方法具体包括如下步骤：获取冷却系统的水温；根据冷却系统的水温，调节变频器的运行频率；以及根据变频器的运行频率，调节冷却系统的循环水泵的驱动频率。这种冷却系统的动态调节控制方法实时采集冷却系统中冷却水的温度，并根据冷却水的实时温度对应调节变频器的运行频率，从而使得变频器对循环水泵的输出驱动频率进行对应调节，如此可以更加契合碳化硅外延设备当前的降温需求，保障冷却系统的管路运行在合理的温度范畴，从而有效保证冷却系统的冷却效果，进而提高外延设备使用过程的可靠性。
附图说明
[0016]通过结合附图对本申请实施例进行更详细的描述，本申请的上述以及其他目的、特征和优势将变得更加明显。附图用来提供对本申请实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请实施例一起用于解释本申请，并不构成对本申请的限制。在附图中，相同的参考标号通常代表相同部件或步骤。
[0017]图1所示为本申请一实施例提供的冷却系统的动态调节控制方法的流程示意图。
[0018]图2所示为本申请另一实施例提供的冷却系统的动态调节控制方法的流程示意图。
[0019]图3所示为本申请一实施例提供的冷却系统的动态调节控制装置的结构框图。
[0020]图4所示为本申请一实施例提供的冷却系统的动态调节控制系统的结构框图。
[0021]图5所示为本申请另一实施例提供的冷却系统的动态调节控制系统的结构框图。
[0022]图6所示为本申请一实施例提供的电子设备的框图。
[0023]附图标记说明：100、动态调节控制装置；101、水温获取模块；102、运行频率调节模块；103、循环水泵运行频率调节模块；200、温度变送器；201、温度探头；300、变频器；400、循环水泵；401、启动电路；402、停止电路；10、电子设备；11、处理器；12、存储器；13、输入装置；14、输出装置。
具体实施方式
[0024]本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。本申请实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、顶、底
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0025]另外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0026]申请概述
[0027]申请人对于现有技术中存在的碳化硅外延设备的冷却系统降温模式恒定，无法满足使用需求的技术问题进一步分析后得知：
[0028]目前常见的碳化硅外延设备的冷却系统，是自外延设备开机就不间断地运行的，具体本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却系统的动态调节控制方法，其特征在于，包括：获取冷却系统的水温；根据所述冷却系统的水温，调节变频器的运行频率；以及根据所述变频器的运行频率，调节所述冷却系统的循环水泵的驱动频率。2.根据权利要求1所述的冷却系统的动态调节控制方法，其特征在于，所述根据所述冷却系统的水温，调节变频器的运行频率，包括：根据所述冷却系统的水温以及多个预设温度区间，确定所述冷却系统的水温的所属预设温度区间；根据所述冷却系统的水温的所述所属预设温度区间，调节所述变频器的当前运行频率至预设运行频率区间；其中，每个所述预设温度区间均对应设有所述预设运行频率区间。3.根据权利要求1所述的冷却系统的动态调节控制方法，其特征在于，所述获取冷却系统的水温，包括：获取温度感应装置传输的感应信号，所述感应信号用于表示所述冷却系统的水温。4.一种冷却系统的动态调节控制装置，其特征在于，包括：水温获取模块，用于获取冷却系统的水温；运行频率调节模块，用于根据所述冷却系统的水温，调节变频器的运行频率；以及循环水泵运行频率调节模块，用于根据所述变频器的运行频率，调节所述冷却系统的循环水泵的驱动频率。5.一种冷却系统的动态调节控制系...
【专利技术属性】
技术研发人员：向常汉，董其赞，肖蕴章，陈炳安，钟国仿，
申请(专利权)人：深圳市纳设智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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