电气控制系统技术方案

本申请涉及一种电气控制系统，包括：可编程逻辑控制器、温度控制模块、第一运动控制模块、水路检测模块和气体控制模块；其中，可编程逻辑控制器分别与温度控制模块、第一运动控制模块、水路检测模块和气体控制模块通信连接，用于实现对碳化硅外延炉运行的温度、运动、水路和气体的控制。如此，采用可编程逻辑控制器进行控制，能够有效提高控制的精度和可靠性，实现产品制备过程中精准的电气控制，进而提升产品质量。产品质量。产品质量。

【技术实现步骤摘要】
电气控制系统


[0001]本申请涉及电气控制
，具体涉及一种电气控制系统。

技术介绍

[0002]碳化硅外延炉是生产碳化硅材料的高科技设备，近年来，随着市场产品的多元化需求以及生产工艺的不断提高，对设备的电气控制的要求也在不断提高。因此，如何在产品制备过程中提供精准的电气控制，以提高产品质量，是亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供了一种电气控制系统，既能够在产品制备过程中提供精准的电气控制，进而提高产品质量。
[0004]为实现以上目的，本申请采用如下技术方案：
[0005]本申请提供一种电气控制系统，包括：可编程逻辑控制器、温度控制模块、第一运动控制模块、水路检测模块和气体控制模块；其中，
[0006]所述可编程逻辑控制器分别与所述温度控制模块、所述第一运动控制模块、所述水路检测模块和所述气体控制模块通信连接，用于实现对碳化硅外延炉运行的温度、运动、水路和气体的控制。
[0007]可选的，还包括通信模块；
[0008]所述可编程逻辑控制器通过所述通信本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电气控制系统，其特征在于，包括：可编程逻辑控制器、温度控制模块、第一运动控制模块、水路检测模块和气体控制模块；其中，所述可编程逻辑控制器分别与所述温度控制模块、所述第一运动控制模块、所述水路检测模块和所述气体控制模块通信连接，用于实现对碳化硅外延炉运行的温度、运动、水路和气体的控制。2.根据权利要求1所述的电气控制系统，其特征在于，还包括通信模块；所述可编程逻辑控制器通过所述通信模块分别与所述温度控制模块、所述第一运动控制模块、所述水路检测模块和所述气体控制模块通信连接。3.根据权利要求2所述的电气控制系统，其特征在于，所述通信模块包括通信单元和模拟量传输单元；所述可编程逻辑控制器通过所述通信单元分别与所述温度控制模块和所述第一运动控制模块通信连接；所述可编程逻辑控制器通过所述模拟量传输单元分别与所述水路控制模块和所述气体控制模块通信连接。4.根据权利要求3所述的电气控制系统，其特征在于，还包括与所述可编程逻辑控制器通信连接的辅助传感器模块；所述辅助传感器模块用于反馈碳化硅外延炉上电气元件对应的传感信息给所述可编程逻辑控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：董其赞，向常汉，刘永明，肖蕴章，陈炳安，钟国仿，
申请(专利权)人：深圳市纳设智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：