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本申请涉及一种电气控制系统，包括：可编程逻辑控制器、温度控制模块、第一运动控制模块、水路检测模块和气体控制模块；其中，可编程逻辑控制器分别与温度控制模块、第一运动控制模块、水路检测模块和气体控制模块通信连接，用于实现对碳化硅外延炉运行的温度...
该专利属于深圳市纳设智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市纳设智能装备有限公司授权不得商用。

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