【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种印刷焊锡检查装置，使光在印刷有检查对象物的焊锡的印刷基板上，进行偏向扫描，并且测量位移量，从测量检查焊锡等的形状，特别是涉及一种可以使用多数道光，一方面有效地进行偏向，同时还能够进行检查的一种技术。
技术介绍
一般在测量形状时，使用的是位移测量装置。已知的此种位移测量装置是以三角测量原理为依据，对测量对象物体的对象面的位移进行测量(例如，专利文件1)。图18显示的是对专利文件1进行变化之后的位移测量装置的结构斜视图。图18所示的位移测量装置大致上由投影光学系统(光学扫描系统)51与光接收系统55所构成。投影光学系统51大致由光源52、偏向器53与透镜54构成，以对测量对象物60进行照射。光源52是由例如雷射二极管等所构成，并对偏向器53射出光束。偏向器53，在图18的例子中采用了多角镜(polygon mirror)。多角镜在其圆盘状的周围具有多数个镜面部53a，藉由它的旋转，使从光源52入射的光束发生偏向，至少对包含测量对象物60的所要扫描对象范围(图19所示的H)进行扫描。在此种多角镜构成的偏向器53中，在一个镜面以一个光束对扫描对象范围进...
【技术保护点】
一种印刷焊锡检查装置，具备投射部（３）与受光部（８），前述投射部（３）对横跨被焊锡印刷的印刷基板的预定的扫描对象范围，射出光并进行扫描，前述受光部（８）接受来自前述印刷焊锡检查装置用以检查前述焊锡的印刷状态，其特征在于：前述投射部（ ３）还包括：光产生部（１），出射Ｍ（多数）个光；偏向器（４），以不同的入射角接受前述Ｍ个光，使往前述对象范围偏向，依序扫描前述印刷基板的前述扫描对象范围。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：益田纪彦，田下贵久，菅井雅也，
申请(专利权)人：安立株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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