晶圆固化装置制造方法及图纸

本申请属于半导体技术领域，公开了一种晶圆固化装置，包括机体，所述机体内设置有固化平台和UV灯固化机构，所述机体侧边开设有门孔，所述门孔四周向内凸伸有凸边，所述机体内设置有升降机构，所述升降机构顶端设置有升降门，所述升降门整体呈顶边缺口的槽状，升降机构顶推升降门上下运动与门孔闭合或分离。通过在门孔四周向内凸伸设置凸边，再将升降门设置为整体呈顶边缺口的槽状，可以使升降门和门孔凸边严密贴合，整体封闭性高；通过升降机构顶推升降门上下运动，实现门孔的自动闭合与打开，配合外部机械手等传送部件工作，实现自动化进料出料，操作简单方便。操作简单方便。操作简单方便。

【技术实现步骤摘要】
晶圆固化装置


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种晶圆固化装置。

技术介绍

[0002]晶圆固化是指通过UV灯对晶圆进行照射，使其在短时间内固化。由于UV灯的工作原理是在真空的石英管中加入定量的高纯汞(水银)，通过对两端电极提供电压差(压降)，产生离子放电，从而产生紫外线辐射。这就要求晶圆固化需要在封闭环境下进行。
[0003]现有技术中，在进行晶圆固化时，需要通过机械手等传送部件将晶圆放置到晶圆固化装置的固化平台上，待固化完成后再将晶圆取出，这就要求在晶圆固化装置上要留有供机械手等传送部件通过的门孔，为了保持晶圆固化装置内的封闭环境，一般会在门孔上铰接设置有门板，通过手动方式开启或闭合，这就使得门板的启闭十分不方便，且传统的门板结构封闭性较差。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供一种晶圆固化装置。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆固化装置，包括机体，所述机体内设置有固化平台和UV灯固化机构，所述机体侧边开设有门孔，所述门孔四周向内凸伸有凸边，所述机体内设置有升降机构，所述升降机构顶端设置有升降门，所述升降门整体呈顶边缺口的槽状，升降机构顶推升降门上下运动与门孔闭合或分离。
[0006]通过采用上述技术方案，在门孔四周向内凸伸设置凸边，再将升降门设置为整体呈顶边缺口的槽状，可以使升降门和门孔凸边严密贴合，整体封闭性高；通过升降机构顶推升降门上下运动，实现门孔的自动闭合与打开，配合外部机械手等传送部件工作，实现自动化进料出料，操作简单方便。
[0007]进一步的，所述升降门包括与门孔平行的门板，所述门板的底板和两竖边向外凸伸有槽边，所述槽边的宽度与凸边宽度一致，所述门板两竖向槽边的内板面间距与门孔两竖向凸边的外板面间距一致。
[0008]通过采用上述技术方案，将槽边的宽度与凸边宽度设置为一致，门板两竖向槽边的内板面间距与门孔两竖向凸边的外板面间距设置为一致，使得升降门整体与凸边围成的门孔内环贴合紧密，整体封闭性更好。
[0009]进一步的，所述门板背离门孔的一面设置有加强筋。
[0010]通过采用上述技术方案，在门板背离门孔的一面设置加强筋，对门板起到加强作用，放置门板在长期使用过程中变形影响封闭性。
[0011]进一步的，所述升降机构包括伺服电缸，所述伺服电缸的缸体部分固定在机体内，所述伺服电缸的推杆向上且顶端设置有固定块，所述门板的底边槽边与固定块固定连接。
[0012]通过采用上述技术方案，升降机构采用伺服电缸，可以精确控制升降门的升降，确保升降门开启和关闭时的稳定性。
[0013]进一步的，所述固定块两端底部向下凸伸有导向杆，所述伺服电缸缸体上端设置有导向板，所述导向板对应导向杆位置处开设有导向孔，所述导向杆穿过导向孔。
[0014]通过采用上述技术方案，设置导向杆和导向孔，对升降门的升降运动进行竖直方向上的限位导向，使得升降门只能沿竖直方向运动，避免跑偏。
[0015]进一步的，所述伺服电缸的缸体上设置有安装架，所述安装架固定安装在机体内。
[0016]通过采用上述技术方案，设置安装架，使伺服电缸能很好地安装在机体内，安装稳定。
[0017]综上所述，本技术具有以下有益效果：本申请中，通过在门孔四周向内凸伸设置凸边，再将升降门设置为整体呈顶边缺口的槽状，可以使升降门和门孔凸边严密贴合，整体封闭性高；通过升降机构顶推升降门上下运动，实现门孔的自动闭合与打开，配合外部机械手等传送部件工作，实现自动化进料出料，操作简单方便。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例的整体结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例的外部框架示意图；
[0020]图3、4是本技术实施例升降机构和升降门部分的结构示意图。
[0021]图中：10、机体；11、门孔；12、凸边；20、固化平台；30、UV灯固化机构；40、升降机构；41、伺服电缸；42、固定块；43、导向杆；44、导向板；45、导向孔；46、安装架；50、升降门；51、门板；52、槽边；53、加强筋。
具体实施方式
[0022]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]如图1
‑
4所示，本申请实施例公开晶圆固化装置，包括机体10，机体10内设置有固化平台20和UV灯固化机构30，机体10侧边开设有门孔11，机体10内设置有升降机构40，升降机构40顶端设置有升降门50，升降机构40顶推升降门50上下运动与门孔11闭合或分离。即在进行进料和取料时，升降门50向下运动与门孔11分离使得门孔11打开；完成进料和取料后，升降门50向上运动与门孔11配合使得门孔11关闭。
[0024]具体的，门孔11四周向内凸伸有凸边12，四个凸边12在门孔11内侧形成方形环状。升降门50包括与门孔11平行的门板51，升降门50门板51的底板和两竖边向外凸伸有槽边52，门板51与三个槽边52构成整体呈顶边缺口的槽状。具体设置时，槽边52的宽度与凸边12宽度一致，即门孔11关闭时，门板51外板面与凸边12的边沿贴合，槽边52边沿与机体10侧边贴合，使得升降门50与门孔11配合后整体封闭性好。门板51两竖向槽边52的内板面间距与门孔11两竖向凸边12的外板面间距一致，即升降门50两侧刚好扣住门孔11内侧的方环，进一步增强整体封闭性。
[0025]进一步的设置为，门板51背离门孔11的一面设置有加强筋53，通过设置加强筋53，可以增强门板51整体强度，可以防止门板51在长期使用后发生变形，使门板51始终保持板
直。
[0026]升降机构40包括伺服电缸41，伺服电缸41的缸体部分固定在机体10内，具体的，在伺服电缸41的缸体上设置有安装架46，将安装架46固定安装在机体10内。伺服电缸41的推杆向上设置，在伺服电缸41的推杆的顶端设置有固定块42，固定块42用于与门板51的底边槽边52固定连接，门板51的底边槽边52的边沿与固定块42边沿平齐，或者门板51的底边槽边52的边沿伸出固定块42边沿，防止固定块42边沿凸出影响升降门50与门孔11配合的封闭性。
[0027]固定块42两端底部向下凸伸有导向杆43，伺服电缸41缸体上端设置有导向板44，导向板44对应导向杆43位置处开设有导向孔45，导向杆43穿过导向孔45。导向杆43与导向孔45构成竖直方向上的限位导向配合，即在升降机构40顶推升降门50上下运动时起到限位导向作用，确保升降门50的运动轨迹始终沿竖直方向运动，这样才能保证升降门50与门孔11完美配合，提高封闭性。
[0028]进一步的，伺服电缸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆固化装置，包括机体(10)，所述机体(10)内设置有固化平台(20)和UV灯固化机构(30)，其特征是：所述机体(10)侧边开设有门孔(11)，所述门孔(11)四周向内凸伸有凸边(12)，所述机体(10)内设置有升降机构(40)，所述升降机构(40)顶端设置有升降门(50)，所述升降门(50)整体呈顶边缺口的槽状，升降机构(40)顶推升降门(50)上下运动与门孔(11)闭合或分离。2.根据权利要求1所述的晶圆固化装置，其特征是：所述升降门(50)包括与门孔(11)平行的门板(51)，所述门板(51)的底板和两竖边向外凸伸有槽边(52)，所述槽边(52)的宽度与凸边(12)宽度一致，所述门板(51)两竖向槽边(52)的内板面间距与门孔(11)两竖向凸边(12)的外板面间距一致。3.根据权利要求2所述的晶圆固化装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑棉胜，
申请(专利权)人：苏州贝爱特自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：