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本申请属于半导体技术领域,公开了一种晶圆固化装置,包括机体,所述机体内设置有固化平台和UV灯固化机构,所述机体侧边开设有门孔,所述门孔四周向内凸伸有凸边,所述机体内设置有升降机构,所述升降机构顶端设置有升降门,所述升降门整体呈顶边缺口的槽状...该专利属于苏州贝爱特自动化科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州贝爱特自动化科技有限公司授权不得商用。
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本申请属于半导体技术领域,公开了一种晶圆固化装置,包括机体,所述机体内设置有固化平台和UV灯固化机构,所述机体侧边开设有门孔,所述门孔四周向内凸伸有凸边,所述机体内设置有升降机构,所述升降机构顶端设置有升降门,所述升降门整体呈顶边缺口的槽状...