【技术实现步骤摘要】
一种环保型智能化IC软胶清洗装置
[0001]本专利技术涉及半导体加工设备
,尤其是涉及一种环保型智能化IC软胶清洗装置。
技术介绍
[0002]在IC产品器件生产过程中,塑封后,产品表面经常存在溢胶的问题,溢胶会造成IC产品电镀不良,从而导致焊接不良或散热不良,影响IC产品的正常使用,故需要对IC塑封溢胶进行清理,再进行电镀。
[0003]相关技术中,IC软胶清理的一般过程,先将IC产品在软胶槽浸泡一定温度时间后,使IC产品表面的溢胶蓬松易脱落,然后水洗IC产品表面的药水,再上电镀线;在上电镀线前,需要经高压水冲洗处理,使蓬松的溢胶脱落。IC产品经软胶槽浸泡后在对IC产品水洗处理,水洗水中含有大量软胶药水,软胶药水一般含有大量溶剂,水洗水正常排到废水站处理,此类废水的COD含量高达上万ppm,处理成本极高,较高的COD废水排放,容易对环境造成较大的污染,这也是半导体封测行业目前一个痛点和难点。
技术实现思路
[0004]为了解决环保问题,本申请提供一种环保型智能化IC软胶清洗装置。
[0005]本申请提供的一种环保型智能化IC软胶清洗装置采用如下的技术方案:一种环保型智能化IC软胶清洗装置,包括工作台;加热机构,安装于所述工作台上,所述加热机构用于加热药水软化IC产品上的软胶,所述加热机构包括加热桶和第一加热件,所述加热桶安装于所述工作台上,所述第一加热件安装于所述加热桶内,所述第一加热件用于加热所述加热桶内药水升温;软胶料架,放置于所述加热桶内,所述软胶料架用于放置IC产品储 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种环保型智能化IC软胶清洗装置,其特征在于,包括:工作台(1);加热机构(2),安装于所述工作台(1)上,所述加热机构(2)用于加热药水软化IC产品上的软胶,所述加热机构(2)包括加热桶(21)和第一加热件(22),所述加热桶(21)安装于所述工作台(1)上,所述第一加热件(22)安装于所述加热桶(21)内,所述第一加热件(22)用于加热所述加热桶(21)内药水升温;软胶料架(3),放置于所述加热桶(21)内,所述软胶料架(3)用于放置IC产品储料盒;第一甩干机构(4),安装于所述工作台(1)上,所述第一甩干机构(4)用于甩干IC产品表面附着的药水,所述第一甩干机构(4)包括固定桶(41)、甩干座(42)和甩干驱动组件(43),所述固定桶(41)安装于所述工作台(1)上,所述甩干座(42)位于所述固定桶(41)内,所述甩干座(42)转动连接于所述固定桶(41)的内底面,所述甩干座(42)用于固定所述软胶料架(3),所述甩干驱动组件(43)安装于所述固定桶(41)上,所述甩干驱动组件(43)用于驱动所述软胶料架(3)进行转动;传输机构(5),安装于所述工作台(1)上,所述传输机构(5)用于取放所述软胶料架(3)并驱动所述软胶料架(3)移动;回收机构(6),安装于所述工作台(1)上,所述回收机构(6)用于回收所述固定桶(41)内的药水。2.根据权利要求1所述的一种环保型智能化IC软胶清洗装置,其特征在于:所述甩干座(42)顶面连接有限位块(421);所述软胶料架(3)包括底座(31)、围板(32)、料架连接杆(34)和料架挂杆(35),所述底座(31)底面设置有与所述限位块(421)插接配合限位槽(311);所述底座(31)呈齿轮状,所述围板(32)绕所述底座(31)边缘一周设置且所述围板(32)底边连接于所述底座(31)顶面,所述围板(32)上设置有多个孔洞,IC产品储料盒放置于所述底座(31)顶面的齿牙位置处;所述料架连接杆(34)有多个,所述料架连接杆(34)连接于所述围板(32)的顶部且对称设置,所述料架挂杆(35)周面连接于所述料架连接杆(34)的顶部,所述传输机构(5)用于取放所述料架挂杆(35)并驱动所述软胶料架(3)移动。3.根据权利要求1所述的一种环保型智能化IC软胶清洗装置,其特征在于:绕所述加热桶(21)顶面边缘一周设置有第一环形槽(211),所述加热桶(21)顶面设置有第一密封盖(23),所述第一密封盖(23)边缘抵接于所述第一环形槽(211)的槽底,所述第一密封盖(23)顶面连接有第一盖连接杆(231),所述第一盖连接杆(231)顶端连接有第一盖挂杆(232),所述传输机构(5)用于取放所述第一盖挂杆(232)并驱动所述第一密封盖(23)移动。4.根据权利要求3所述的一种环保型智能化IC软胶清洗装置,其特征在于,还包括:喷淋机构(7),安装于所述工作台(1)上,所述喷淋机构(7)用于抽取所述回收机构(6)回收的药水喷淋至所述加热桶(21)开盖时的蒸汽上;所述喷淋机构(7)包括喷淋头(71)、抽水泵(73)和抽水管(72),所述喷淋头(71)安装于所述加热桶(21)的外周侧,所述抽水管(72)一端连通于所述喷淋头(71),所述抽水管(72)的另一端连通于所述抽水泵(73),所述抽水泵(73)用于抽取所述回收机构(6)回收的药水。5.根据权利要求4所述的一种环保型智能化IC软胶清洗装置,其特征在于:所述回收机构(6)包括回收盒(61)、回收桶(62)和过滤组件(63);所述回收盒(61)安装于所述工作台(1)上,所述加热桶(21)连接于所述回收盒(61)的内底面,所述回收盒(61)和所述固定桶
(41)之间连通;所述回收桶(62)连通于所述回收盒(61)的外底面,所述过滤组件(63)安装于所述回收桶(62)顶部的内周面,所述过滤组件(63)用于过滤药水中的异物,所述抽水泵(73)安装于所述回收桶(62)的内底面。6.根据权利要求5所述的一种环保型智能化IC软胶清洗装置,其特征在于:所述过滤组件...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘德强,
申请(专利权)人:深圳市盛元半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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