一种蚀刻浸泡及喷淋装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蚀刻浸泡及喷淋装置，涉及基板的加工制造领域，包括：浸泡槽；蚀刻喷管，多组横向布设在所述浸泡槽内；清洁喷管，多组纵向布设在所述浸泡槽内，且处在所述蚀刻喷管上方一层；清洁管，与所述清洁喷管相连接；气动阀，连接在所述清洁管连接所述清洁喷管的另一端；排液管，一端与所述浸泡槽底部相连接；气动隔膜阀，连接在所述排液管连接所述浸泡槽的另一端；接水管，连接在所述气动阀连接所述清洁管的另一端；以达到缩短制程时间，简化工艺步骤的目的。简化工艺步骤的目的。简化工艺步骤的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻浸泡及喷淋装置


[0001]本技术涉及基板的加工制造领域，具体涉及一种蚀刻浸泡及喷淋装置。

技术介绍

[0002]在基板的加工制造过程中，需要对相关产品进行喷洒药液进行刻蚀制程，现有技术中，常采用移动式喷洒装置；用马达驱动螺杆，带动喷洒机构，来回往复对基板进行喷洒；此种方法制程时需要较长时间，并且对基板表面喷洒的均匀性不佳；原移动喷洒机构透过马驱动齿轮，带动螺杆，使喷洒装置来回摆动，在上述传动过程中机件接触会产生粉尘与油污，而影响产品质量。
[0003]因此，有必要提供一种蚀刻浸泡及喷淋装置以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种蚀刻浸泡及喷淋装置，包括：
[0005]浸泡槽；
[0006]蚀刻喷管，多组横向布设在所述浸泡槽内；
[0007]清洁喷管，多组纵向布设在所述浸泡槽内，且处在所述蚀刻喷管上方一层；
[0008]清洁管，与所述清洁喷管相连接；
[0009]气动阀，连接在所述清洁管连接所述清洁喷管的另一端；
[001本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻浸泡及喷淋装置，其特征在于：包括：浸泡槽(1)；蚀刻喷管(2)，多组横向布设在所述浸泡槽(1)内；清洁喷管(3)，多组纵向布设在所述浸泡槽(1)内，且处在所述蚀刻喷管(2)上方一层；清洁管(7)，与所述清洁喷管(3)相连接；气动阀(4)，连接在所述清洁管(7)连接所述清洁喷管(3)的另一端；排液管(6)，一端与所述浸泡槽(1)底部相连接；气动隔膜阀(5)，连接在所述排液管(6)连接所述浸泡槽(1)的另一端；接水管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘智修，
申请(专利权)人：亚智系统科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：