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本实用新型公开了一种蚀刻浸泡及喷淋装置,涉及基板的加工制造领域,包括:浸泡槽;蚀刻喷管,多组横向布设在所述浸泡槽内;清洁喷管,多组纵向布设在所述浸泡槽内,且处在所述蚀刻喷管上方一层;清洁管,与所述清洁喷管相连接;气动阀,连接在所述清洁管连接...该专利属于亚智系统科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚智系统科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种蚀刻浸泡及喷淋装置,涉及基板的加工制造领域,包括:浸泡槽;蚀刻喷管,多组横向布设在所述浸泡槽内;清洁喷管,多组纵向布设在所述浸泡槽内,且处在所述蚀刻喷管上方一层;清洁管,与所述清洁喷管相连接;气动阀,连接在所述清洁管连接...