【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种制造半导体装置或者印刷基板等工作产品的制造装置的管理控制系统。
技术介绍
本专利技术的目的在于提供一种,无论进行何种制造均可减少制造装置的错误并使之连续运转的有效的管理控制系统。
技术实现思路
本专利技术是一种基于按各个种类进行设定的种类参数而制造工作产品的制造装置的管理控制系统,通过如下系统结构而达成上述目的,该系统结构包括判断电路,其从制造装置的运转信息中提取制造上的错误信息,并根据该错误信息判断是提示操作员进行设置,还是由制造装置尝试自动避免错误;错误抑制电路,其提取与在判断电路中所提取的错误信息相对应,且预先记录设定的用以避免错误的参数信息,并可变地控制制造装置的种类参数,且使制造装置继续运转。此处,制造装置通过可自动化制造半导体装置、印刷基板等电气电路产品,或者精密机械产品的制造设备,从而在每次改变制造产品的种类时改变种类参数。此种制造装置基于设定的种类参数,在复数个制造工序中进行连续性运转,且有时在运转时的某一工序中会产生错误。本专利技术向制造装置添加判断电路,其检测产生的该错误并判定该错误为何种错误;以及错误抑制电路,其进行用以使 ...
【技术保护点】
一种制造装置的管理控制系统,其特征在于包括:判断电路,其从基于将工作产品按各种类进行设定的种类参数而制造的制造装置的运转信息中提取制造上的错误信息,并根据该错误信息判断是提示操作员进行调整,还是由制造装置尝试自动避免错误;以及 错误抑制电路,其提取与在判断电路中提取的错误信息相对应,且预先记录设定的用于避免错误的参数信息,并可变地控制上述种类参数,从而使制造装置继续运转。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:喜多村章司,
申请(专利权)人:NEC机械股份有限公司,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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