制造装置的控制管理系统制造方法及图纸

本发明专利技术是提供一种基于种类参数而进行制造的制造装置（３）的管理控制系统，其包括：判断电路（５），其从制造装置（３）的运转信息（ａ）中提取错误信息（ｂ）；错误抑制电路（６），其提取用以与已提取的错误信息（ｂ）相对应的错误避免的参数（ｄ），并可变地控制制造装置（３）的种类参数，并且从存储由制造装置（３）制造的各种工作产品的各种参数和用于错误避免的数据的产品制法数据库部（１１），通过产品检索引擎部（１２）检索与由制造装置（３）制造的工作产品相对应的数据，并设置制造装置（３）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种制造半导体装置或者印刷基板等工作产品的制造装置的管理控制系统。
技术介绍
本专利技术的目的在于提供一种，无论进行何种制造均可减少制造装置的错误并使之连续运转的有效的管理控制系统。
技术实现思路
本专利技术是一种基于按各个种类进行设定的种类参数而制造工作产品的制造装置的管理控制系统，通过如下系统结构而达成上述目的，该系统结构包括判断电路，其从制造装置的运转信息中提取制造上的错误信息，并根据该错误信息判断是提示操作员进行设置，还是由制造装置尝试自动避免错误；错误抑制电路，其提取与在判断电路中所提取的错误信息相对应，且预先记录设定的用以避免错误的参数信息，并可变地控制制造装置的种类参数，且使制造装置继续运转。此处，制造装置通过可自动化制造半导体装置、印刷基板等电气电路产品，或者精密机械产品的制造设备，从而在每次改变制造产品的种类时改变种类参数。此种制造装置基于设定的种类参数，在复数个制造工序中进行连续性运转，且有时在运转时的某一工序中会产生错误。本专利技术向制造装置添加判断电路，其检测产生的该错误并判定该错误为何种错误；以及错误抑制电路，其进行用以使制造装置继续运转并抑止错误的动作。判断电路包括，逐一读出来自制造装置的运转信息并判断错误信息的有无、程度以及种类等的功能。错误抑制电路读出来自判断电路的错误信息，判断其种类，从存储器等中提取预先记录设定的用以错误避免的参数信息，并仅改变与运转的制造装置的种类参数内的错误信息相对应的参数，从而减低并避免产生错误。在进行该错误避免的动作中，运转信息将不断从制造装置传输到判断电路，不久错误信息将会从运转信息中消失。此种错误抑制可在制造装置的复数个制造工中进行，从而可提高良率，并且不会因产生错误而导致制造装置停止运转，因此可提高运转率。再者，至于本专利技术，可将判断电路和错误抑制电路添加到制造装置中，并且可将产品制法数据库部和产品检索引擎部添加到制造装置中，其中产品制法数据库部，其存储包含由制造装置制造的复数种工作产品的用户信息、参数信息以及制造条件信息的数据；产品检索引擎部，其从该产品制法数据库部检索并提取与由制造装置制造的工作产品相一致或者最近似的数据，并将其作为制造装置的种类参数设定的信息。该时的产品制法数据库部将全部产品的用户信息等制法数据记录到一个计算机的存储器中，并也在数据库化的终端机器中记录以及存储来自判断电路的各个产品的错误信息。此外，与全部产品的错误信息相对应的用以错误避免的信息记录于该产品制法数据库部的存储器中，并且该信息将介由产品检索引擎部等而被读入到错误抑制电路中。产品检索引擎部获得作为由制造装置制造的工作产品的种类、用户等信息的工作信息，并从产品制法数据库中检索并提取特定数据(由此制造的工作产品的存储数据，当不存在该数据时为最近似的数据)，辅助制造装置的种类参数设定，从而可使制造装置的设置能正确且顺利地进行，并可在短时间内进行设置。上述制造装置，可有効地适用于制造半导体装置的粘晶机等。例如，至于将半导体芯片接合在引线框上的粘晶机，含有从料斗存取半导体晶圆的工序，从晶圆分割芯片的工序，将银浆涂布在引线框上的工序等多个制造工序，且在各工序中有可能产生不同种类的错误，并且通过本专利技术的管理控制系统可有效避免、抑止在各工序中产生的各种错误。以下，根据图式，对本专利技术的实施形态加以说明。附图说明图1是表示本专利技术管理控制系统的概要的区块图。图2是将图1的区块图具体化的附动作内容说明文的区块图。1工作 3制造装置5判断电路 6错误抑制电路11产品制法数据库部12产品检索引擎部13向导部 a运转信息b错误信息 c指令信号d错误避免的参数具体实施方式以下，参照图1和图2，对本专利技术系统的实施形态加以说明。由于同图适用于作为半导体装置的制造装置的粘晶机，因此图1是表示系统整体概要的区块图，图2是表示已写上各区块动作内容的区块图。图1所示的工作产品1在引线框上，将(半导体)芯片接合到该引线框，从而制造产品。引线框有许多种，其中一种从未图示的料斗1逐片切割并运送到制造装置3，从而用于半导体装置的制造。制造装置3包括(半导体)晶圆切割装置，其含有多数个芯片；使用环状物而扩展贴附有晶圆的薄片，从而将其分割为复数个芯片的装置；将芯片贴装用银浆涂布到引线框的装置；以及在已涂布的银浆上贴装芯片的自动机，并且各自动机分别基于所设定的种类参数而进行运转。如图2所示，制造装置3上除设置有用以使之进行运转的种类参数之外，还配备有偏移信息或者固定参数信息、速度信息等各种信息，并且在制造装置运转前，上述信息被进行设置。本专利技术将一下判断电路5、错误抑制电路6添加到使该制造装置3运转的系统中，并且适用产品制法数据库部11和产品检索引擎部12。判断电路5，从运转中的制造装置3的各制造工序中的运转信息a中提取制造上的错误信息b。速度信息或者温度信息、时间信息、参数信息等混杂于运转信息a中，并且一旦在制造装置3的任一制造工序中产生不正常状况，都将导致产生错误信息，且通过判断电路5判断并提取该等错误信息。由判断电路5提取的错误信息b将会被传输到错误抑制电路6，且将通过其他路径传输到产品制法数据库11和各种向导部13。错误抑制电路6进行与所输入的错误信息b相对应的动作。所输入的错误信息b的内容多种多样，其包括芯片接合时的吸附遗漏、各制造工序中的引线框运送遗漏、向料斗的收容遗漏等。错误抑制电路6，一旦被输入错误信息b，则提取预先记录设定在产品制法数据库部11等的用于错误避免的参数信息d，并将改变参数的指令信号c传输到产生错误信息b的制造装置3中。该改变参数的控制，在制造装置3的运转中进行，从而可抑止并减低在产生错误信息的制造工序中产生错误。使该错误抑制动作进行的同时，使制造装置3继续运转，并将运转信息a传输到判断电路5。判断电路5判断是否正正确地进行错误抑制，并将该信息传输到产品制法数据库部11。通过判断电路5对错误抑制的监视，从而逐步消除在制造装置3中产生的错误。与上述错误信息b对应的用以错误抑制的参数信息d，在制造装置3之前的运转中，已经在经验上知道“产生何种错误，将改变何种参数从而可避免错误”，且基于该经验上的信息而进行预先设定。也可将此种错误抑制的参数信息d记录于专用存储器中，但较理想的是将其和每个其他产的品数据一起记录到产品制法数据库部11的存储器中。各种向导部13是软件部，其基于多种错误信息b而进行方法交换等，从而可迅速且顺利地进行改变制造装置3的参数的动作。产品制法数据库部11是存储器部，其将包含由制造装置3制造的复数种工作产品的用户信息、参数信息以及制造条件信息的多种数据加以总结并存储。产品检索引擎部12从产品制法数据库部11检索并提取与由制造装置3制造的工作产品相一致的数据，或者，当与其不一致时最近似的数据，从而进行制造装置3的种类参数设定(设置)。在使制造装置3运转前，设置特定的工作信息。该工作信息含有，引线框信息或者芯片信息、接合信息、引线框存取时的料斗信息、晶圆分割时的已贴附晶圆的切割信息等。该工作信息和制造装置3一起被传输到产品检索引擎部12，产品检索引擎部12从产品制法数据库部11中检索并提取与工作信息相对应的数据，并基于该数据进行制造装置3参数的设定。因此，若从产品本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造装置的管理控制系统，其特征在于包括：判断电路，其从基于将工作产品按各种类进行设定的种类参数而制造的制造装置的运转信息中提取制造上的错误信息，并根据该错误信息判断是提示操作员进行调整，还是由制造装置尝试自动避免错误；以及　 　错误抑制电路，其提取与在判断电路中提取的错误信息相对应，且预先记录设定的用于避免错误的参数信息，并可变地控制上述种类参数，从而使制造装置继续运转。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：喜多村章司，
申请(专利权)人：NEC机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]