一种采用全裹保护的芯片晶船制造技术

本实用新型专利技术公开了一种采用全裹保护的芯片晶船，涉及芯片加工技术领域，包括强化顶边、减震活塞和防护夹具，所述强化顶边的两侧固定安装有防护侧柱，所述减震活塞垂直安装于防护侧柱的中段，所述固定架的上下两侧连接有缓冲立柱，所述防护夹具阵列安装于固定架远离减震活塞的一侧。该采用全裹保护的芯片晶船，为了对放置其中的圆晶起到良好的保护，通过在防护侧柱的一侧安装的减震活塞，使得整个固定架与防护夹具在水平方向上尽可能减缓振动与冲击，通过固定架上下两端设置的缓冲立柱，在垂直方向上缓解上下方向上传来的震动，通过防护夹具的设置，可以将水平插入的圆晶进行固定的同时还能对表面进行有效的保护，避免出现损伤。避免出现损伤。避免出现损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种采用全裹保护的芯片晶船


[0001]本技术涉及芯片加工
，具体为一种采用全裹保护的芯片晶船。

技术介绍

[0002]在半导体芯片的制造过程中，常需要一种工具作为芯片的传送及加工作用，这种承载芯片的工具一般称之为晶舟，又称为芯片晶船，随着光伏、电子、半导体行业的崛起，人们对芯片的需求量日益剧增，在晶圆进一步制造的过程中，高端芯片的退火工艺达到了1350℃；随着5nm进程的推进以及芯片稳定性的要求，对于晶圆高温退火的气氛中的金属杂质含量要求极低，这就意味着要求装载晶圆的碳化硅晶舟的金属杂质很低。
[0003]如申请号CN201721751620.4的技术公开了一种晶舟，该晶舟相邻的所述卡条与支架内侧构成卡槽，用于放置晶圆；其中，所述支架的数量为三个，且其中两个所述支架间的距离与晶圆的直径相适应，以使得晶圆可顺利放置于卡槽内，并且放入卡槽内的晶圆与所述卡槽下方的每个所述卡条接触。本技术的晶舟避免了晶圆底部与卡条之间存在间隙而导致的震动加剧，有效降低了晶舟传输晶圆过程中导致的缺陷，提高了晶圆的良率和整体产能，但类似于上述文件中的冷切飞锯机的芯片晶船在放置圆晶的结构设置中，保护范围有限，同时在避免震动的结构设置上过于简单，在保护效果上还需要进一步优化。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种采用全裹保护的芯片晶船。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种采用全裹保护的芯片晶船，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种采用全裹保护的芯片晶船，包括强化顶边、减震活塞和防护夹具，所述强化顶边的两侧固定安装有防护侧柱，所述减震活塞垂直安装于防护侧柱的中段，且减震活塞远离防护侧柱的一端连接有固定架，所述固定架的上下两侧连接有缓冲立柱，所述防护夹具阵列安装于固定架远离减震活塞的一侧，所述防护夹具包括限位框架、弹簧夹、防护导轮和缓冲块，所述限位框架的内侧顶部安装有弹簧夹，且弹簧夹远离限位框架的一端设置有防护导轮，所述弹簧夹的内侧中央设置有缓冲块。
[0007]进一步的，所述减震活塞包括内嵌管、弹簧压缩杆、压缩推板、连接抵块和稳定套管，所述内嵌管的内部设置有弹簧压缩杆，且弹簧压缩杆的两端安装有压缩推板，所述压缩推板远离弹簧压缩杆的一侧安装有连接抵块，所述内嵌管的外侧安装有稳定套管。
[0008]进一步的，所述固定架包括中央支柱、弹簧架、支撑架和侧边固定架，所述中央支柱的上下两端连接有弹簧架，且弹簧架远离中央支柱的一侧安装有支撑架，所述支撑架远离弹簧架的一侧安装有侧边固定架。
[0009]进一步的，所述缓冲立柱包括防护套柱、固定连接柱、滑动套管和弹簧稳定杆，所
述防护套柱的内部安装有固定连接柱，且固定连接柱的底部安装有滑动套管，所述滑动套管的内部连接有弹簧稳定杆。
[0010]进一步的，所述强化顶边以防护侧柱的水平中轴线为对称轴上下对称安装，且防护侧柱以强化顶边的垂直中轴线为对称轴左右对称安装。
[0011]进一步的，所述减震活塞以强化顶边的垂直中轴线为对称轴左右对称安装，所述固定架以减震活塞的水平中轴线为对称轴上下对称安装。
[0012]进一步的，所述缓冲立柱以固定架的水平中轴线为对称轴上下对称安装，所述强化顶边和防护侧柱呈“口”字型相互连接。
[0013]本技术提供了一种采用全裹保护的芯片晶船，具备以下有益效果：为了对放置其中的圆晶起到良好的保护，通过在防护侧柱的一侧安装的减震活塞，使得整个固定架与防护夹具在水平方向上尽可能减缓振动与冲击，通过固定架上下两端设置的缓冲立柱，在垂直方向上缓解上下方向上传来的震动，通过防护夹具的设置，可以将水平插入的圆晶进行固定的同时还能对表面进行有效的保护，避免出现损伤。
[0014]1、本技术，其中为了能够尽可能减少水平方向上产生的震动或是冲击，从而造成对装置内部放置的圆晶造成损伤，通过减震活塞的结构设置，一方面缓解外界传导的震动，另一方面可以在水平方向上连接与防护侧柱，从而协助缓冲立柱对固定架进行加固稳定。
[0015]2、本技术，为了能够减少在垂直方向上产生的震动或是冲击，从而影响到固定架对于圆晶的夹持固定，通过在固定架上下两端连接设置的缓冲立柱，一方面可以在垂直方向上将固定架架设于上下两侧的强化顶边，另一方面可以有效缓解垂直方向上传来的震动活或是冲击，能够有效的保护左右对称设置的固定架中间通过防护夹具夹持的圆晶。
[0016]3、本技术，由于圆晶的结构本身是圆盘薄片的形状为了能够在有效夹持的同时还能保护圆晶被夹持的表面，利用防护夹具从左右两侧进行对圆晶进行加持，为了避免夹持的接触面受到损伤利用防护导轮的软胶材料，既增加夹持时的阻尼力，又不会对圆晶表面产生损伤，而缓冲块会进一步保护圆晶的侧边，避免在防护夹具出现晃动或是整个固定架出现震动时冲击造成圆晶侧边出现损伤。
附图说明
[0017]图1为本技术一种采用全裹保护的芯片晶船的本体侧视结构示意图；
[0018]图2为本技术一种采用全裹保护的芯片晶船的减震活塞结构示意图；
[0019]图3为本技术一种采用全裹保护的芯片晶船的固定架结构示意图；
[0020]图4为本技术一种采用全裹保护的芯片晶船的防护夹具结构示意图；
[0021]图5为本技术一种采用全裹保护的芯片晶船的防护侧柱立体结构示意图。
[0022]图中：1、强化顶边；2、防护侧柱；3、减震活塞；301、内嵌管；302、弹簧压缩杆；303、压缩推板；304、连接抵块；305、稳定套管；4、固定架；401、中央支柱；402、弹簧架；403、支撑架；404、侧边固定架；5、缓冲立柱；501、防护套柱；502、固定连接柱；503、滑动套管；504、弹簧稳定杆；6、防护夹具；601、限位框架；602、弹簧夹；603、防护导轮；604、缓冲块。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0024]如图1至图5所示，一种采用全裹保护的芯片晶船，包括强化顶边1、减震活塞3和防护夹具6，强化顶边1的两侧固定安装有防护侧柱2，减震活塞3垂直安装于防护侧柱2的中段，且减震活塞3远离防护侧柱2的一端连接有固定架4，固定架4的上下两侧连接有缓冲立柱5，防护夹具6阵列安装于固定架4远离减震活塞3的一侧，强化顶边1以防护侧柱2的水平中轴线为对称轴上下对称安装，且防护侧柱2以强化顶边1的垂直中轴线为对称轴左右对称安装，减震活塞3包括内嵌管301、弹簧压缩杆302、压缩推板303、连接抵块304和稳定套管305，内嵌管301的内部设置有弹簧压缩杆302，且弹簧压缩杆302的两端安装有压缩推板303，压缩推板303远离弹簧压缩杆302的一侧安装有连接抵块304，内嵌管301的外侧安装有稳定套管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种采用全裹保护的芯片晶船，包括强化顶边(1)、减震活塞(3)和防护夹具(6)，其特征在于：所述强化顶边(1)的两侧固定安装有防护侧柱(2)，所述减震活塞(3)垂直安装于防护侧柱(2)的中段，且减震活塞(3)远离防护侧柱(2)的一端连接有固定架(4)，所述固定架(4)的上下两侧连接有缓冲立柱(5)，所述防护夹具(6)阵列安装于固定架(4)远离减震活塞(3)的一侧，所述防护夹具(6)包括限位框架(601)、弹簧夹(602)、防护导轮(603)和缓冲块(604)，所述限位框架(601)的内侧顶部安装有弹簧夹(602)，且弹簧夹(602)远离限位框架(601)的一端设置有防护导轮(603)，所述弹簧夹(602)的内侧中央设置有缓冲块(604)。2.根据权利要求1所述的一种采用全裹保护的芯片晶船，其特征在于，所述减震活塞(3)包括内嵌管(301)、弹簧压缩杆(302)、压缩推板(303)、连接抵块(304)和稳定套管(305)，所述内嵌管(301)的内部设置有弹簧压缩杆(302)，且弹簧压缩杆(302)的两端安装有压缩推板(303)，所述压缩推板(303)远离弹簧压缩杆(302)的一侧安装有连接抵块(304)，所述内嵌管(301)的外侧安装有稳定套管(305)。3.根据权利要求1所述的一种采用全裹保护的芯片晶船，其特征在于，所述固定架(4)包括中央支柱(401)、弹簧架...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐政辉，周旺，
申请(专利权)人：深圳市嘉海辉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：