有机光电场效应晶体管的测试设备制造技术

技术编号:37236160 阅读:13 留言:0更新日期:2023-04-20 23:18
本发明专利技术提供一种有机光电场效应晶体管的测试设备,用于测试底栅顶接触型有机光电场效应晶体管,包括暗箱、滑台、PCB测试板、器件固定装置、双排弹簧电极PCB测试板;器件固定装置为上盒体和下盒体,与现有的探针台测试装置相比,该测试装置在更换测试光源的速度远超探针台测试装置,探针台测试装置每次更换光源都需要调整光斑照射区域,因此更换光源时间很长且存在每次对准区域有误差导致测试误差,该装置的激光头更换装置上夹持有激光头,可以通过转动来更换光源,即提升了更换速度又提升了更换稳定性,使每次更换激光头光斑可以对准同一片区域。区域。区域。

【技术实现步骤摘要】
有机光电场效应晶体管的测试设备


[0001]本专利技术属于晶体管型有机光电探测器测试领域,具体是指一种有机光电场效应晶体管的测试设备。

技术介绍

[0002]有机光电探测器是一种基于有机半导体材料为光敏层的光电探测器,场效应晶体管型有机光电探测器一种基于场效应晶体管工作原理的有机光电探测器。场效应晶体管通常由栅极、绝缘层、活性层和源漏电极组成,其特点是可以通过栅极电压控制源漏电极之间的电导率来控制源漏电极之间电流的大小,有机光电场效应晶体管活性层为有机材料。根据有机场效应晶体管在暗态和光照下的转移特性曲线(Ids

Vg特性曲线)可以计算得到有机光电探测器的开关比、阈值电压迁移、光响应度、外量子效率和比探测率。有机光电场效应管在测试的过程中需要将电极从基片上引出来施加电压并测量电流。
[0003]将有机光电场效应晶体管电极引出最常用的方法是使用探针台引出,探针台通过用钨针刺入电极来连接,针座上连接着同轴电线,同轴电线上连接着半导体特性参数测试设备。这种方法需要花费大量时间在显微镜下对准针与电极并微调针座扎针以及换用不同的光源,有机光电场效应晶体管的活性层材料与制备工艺非常丰富,对材料和工艺的研究需要制备大量器件,因此测试速度对研究进展有非常重要的影响。此外,探针台价格高昂,具有基础功能的探针台价格动辄数万元,且有机光电场效应晶体管的测试需要屏蔽外界光环境,探针台体积通常较大,大体积屏蔽箱价格同样高昂。
[0004]因此,提供一种小体检快速测试有机光电场效应晶体管的测试设备对于有机光电场效应晶体管的研究至关重要。

技术实现思路

[0005]为了解决上述问题,本专利技术提供一种价格低廉、测试简易快速的有机光电场效应晶体管的测试装置,以解决有机光电场效应晶体管使用探针台测试时扎针对准花费时间长,切换光源对准时间长且对准有偏差的问题,同时实现大幅度减小有机光电场效应晶体管测试设备的价格的目标。
[0006]为实现上述专利技术目的,本专利技术技术方案如下:
[0007]一种有机光电场效应晶体管的测试设备,用于测试底栅顶接触型有机光电场效应晶体管,包括暗箱1、暗箱1内底部的滑台2、滑台2上的PCB测试板3、PCB测试板3上的器件固定装置5、器件固定装置5上方的双排弹簧电极PCB测试板4;
[0008]暗箱1包括暗箱主体101、活动连接在暗箱主体101上的暗箱门102、固定在暗箱下方的支撑腿103;暗箱主体101顶部设有激光头更换装置104,其上安装有多个激光头,暗箱1侧面设有与外界相连的双头BNC连接头105;
[0009]滑台2包括滑台底座201,滑台底座201上方活动连接一连接板204,连接板204上设有横向移动机构和纵向移动机构,连接板204与上方的PCB测试板3可拆卸式连接;
[0010]PCB测试板3包括弹簧电极301、弹簧电极标定卡槽302、第一BNC连接头303;弹簧电极301位于弹簧电极标定卡槽302内部,第一BNC连接头303位于弹簧电极标定卡槽302外部,弹簧电极标定卡槽302和器件固定装置5的下盒体的弹簧电极通孔505a对准卡接,第一BNC连接头303和双头BNC连接头105位于暗箱内部的一端连接,弹簧电极301连接待测晶体管的栅极;
[0011]双排弹簧电极PCB测试板4包括双排弹簧电极401、双排弹簧电极标定卡槽402、旋钮开关403、第二BNC头404,双排弹簧电极401分为两排,分别连接待测晶体管的源极和漏极;双排弹簧电极401位于双排弹簧电极标定卡槽402的内部,旋钮开关403电性连接双排弹簧电极401,旋钮开关403用于切换测试点位,第二BNC头404和暗箱双头BNC105位于暗箱内部的接头连接,双排弹簧电极标定卡槽402的外轮廓框和上盒体外轮廓框507卡接;双排弹簧电极标定卡槽402的外轮廓框与双排弹簧电极PCB测试板4的外框卡接,旋钮开关403用于连通双排弹簧电极401上不同的弹簧电极,两排弹簧电极401之间设置透光孔405,透光孔405的位置和激光头更换装置104上激光头的位置上下对应;
[0012]器件固定装置5为上盒体和下盒体,上、下盒体通过连接结构和限位结构卡接在一起并固定待测晶体管器件,上盒体的限位机构都为凹槽,下盒体限位结构为与所述凹槽对应卡接的凸起,上盒体中间为晶体管器件放置槽505b,晶体管器件放置槽是向下凹陷的台阶孔,台阶孔的台阶504上放置晶体管器件,上盒体外轮廓框507嵌入下盒体的双向限位框501内;上盒体限位机构包括横向限位槽502b、垂直于横向限位槽502b的纵向限位槽503b,上盒体和上方的双排弹簧电极PCB测试板4卡接;双排弹簧电极PCB测试板4的双排弹簧电极401穿过上盒体的晶体管器件放置槽505b;
[0013]下盒体限位机构包括双向限位框501、横向限位凸起502a,垂直于横向限位凸起502a的纵向限位凸起503a,双向限位框501为矩形封闭框体,下盒体中间为弹簧电极通孔505a,弹簧电极301、双排弹簧电极401穿过弹簧电极通孔505a。
[0014]作为优选方式,暗箱1通过铰链固定暗箱门102。
[0015]作为优选方式,激光头更换装置104包括圆盘,圆盘转动连接在暗箱1的上表面,圆盘上沿周向均布6个激光头。
[0016]作为优选方式,连接板204与PCB测试板3通过磁性相反的磁铁连接。
[0017]作为优选方式,横向移动机构、纵向移动机构选自曲柄连杆机构、皮带传动机构、蜗杆涡轮机构、齿轮传动机构其中的一种。
[0018]作为优选方式,横向移动结构通过横向调节旋钮202调节连接板204的横向位置,纵向移动结构通过纵向调节旋钮203调节连接板204的纵向位置。
[0019]作为优选方式,上下盒体之间的连接结构为磁性相反的磁铁,上盒体上设有第一磁铁放置槽506b,其内部设有第一磁铁;下盒体上设有第二磁铁放置槽506a,其内设有与第一磁铁极性相反的第二磁铁。
[0020]作为优选方式,旋钮开关403为单刀六掷开关。
[0021]作为优选方式,旋钮开关403的内部中心为阴极片,周围均布6个阳极片,6个阳极片分别电性连接双排弹簧电极401上面的6个弹簧电极,阴极片上设有一连接片,通过旋转旋钮开关403使连接片分别接触周围的6个阳极片,使阴极片和不同的阳极片连通。
[0022]作为优选方式,滑台2为xyz轴三轴调节平台。
[0023]与现有技术相比,本专利技术具有如下有益效果:
[0024]与现有的探针台测试装置相比,其成本有显著降低,该装置的主要花费在于屏蔽箱主体,但是其价格相较于体积更大的探针台屏蔽箱小得多,激光头更换装置和滑台底座价格都在1000元以内,PCB测试板3、双排弹簧电极PCB测试板4和器件固定装置5总价在100元以内,该设备整体价格比动辄数十万的探针台相比要低很多。
[0025]与现有的探针台测试装置相比,该测试装置测试速度远高于探针台测试装置,探针台测试装置需要先在显微镜下对准待扎针区域,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机光电场效应晶体管的测试设备,用于测试底栅顶接触型有机光电场效应晶体管,包括暗箱(1)、暗箱(1)内底部的滑台(2)、滑台(2)上的PCB测试板(3)、PCB测试板(3)上的器件固定装置(5)、器件固定装置(5)上方的双排弹簧电极PCB测试板(4);暗箱(1)包括暗箱主体(101)、活动连接在暗箱主体(101)上的暗箱门(102)、固定在暗箱下方的支撑腿(103);暗箱主体(101)顶部设有激光头更换装置(104),其上安装有多个激光头,暗箱(1)侧面设有与外界相连的双头BNC连接头(105);滑台(2)包括滑台底座(201),滑台底座(201)上方活动连接一连接板(204),连接板(204)上设有横向移动机构和纵向移动机构,连接板(204)与上方的PCB测试板(3)可拆卸式连接;PCB测试板(3)包括弹簧电极(301)、弹簧电极标定卡槽(302)、第一BNC连接头(303);弹簧电极(301)位于弹簧电极标定卡槽(302)内部,第一BNC连接头(303)位于弹簧电极标定卡槽(302)外部,弹簧电极标定卡槽(302)和器件固定装置(5)的下盒体的弹簧电极通孔(505a)对准卡接,第一BNC连接头(303)和双头BNC连接头(105)位于暗箱内部的一端连接,弹簧电极(301)连接待测晶体管的栅极;双排弹簧电极PCB测试板(4)包括双排弹簧电极(401)、双排弹簧电极标定卡槽(402)、旋钮开关(403)、第二BNC头(404),双排弹簧电极(401)分为两排,分别连接待测晶体管的源极和漏极;双排弹簧电极(401)位于双排弹簧电极标定卡槽(402)的内部,旋钮开关(403)电性连接双排弹簧电极(401),旋钮开关(403)用于切换测试点位,第二BNC头(404)和暗箱双头BNC(105)位于暗箱内部的接头连接,双排弹簧电极标定卡槽(402)的外轮廓框和上盒体外轮廓框(507)卡接;双排弹簧电极标定卡槽(402)的外轮廓框与双排弹簧电极PCB测试板(4)的外框卡接,旋钮开关(403)用于连通双排弹簧电极(401)上不同的弹簧电极,两排弹簧电极(401)之间设置透光孔(405),透光孔(405)的位置和激光头更换装置(104)上激光头的位置上下对应;器件固定装置(5)为上盒体和下盒体,上、下盒体通过连接结构和限位结构卡接在一起并固定待测晶体管器件,上盒体的限位机构都为凹槽,下盒体限位结构为与所述凹槽对应卡接的凸起,上盒体中间为晶体管器件放置槽(505b),晶体管器件放置槽是向下凹陷的台阶孔,台阶孔的台阶(504)上放置晶体管...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜晓松李闰虎代静王洋袁柳顾德恩黎威志太惠玲蒋亚东
申请(专利权)人:电子科技大学
类型:发明
国别省市:

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