基板清洗装置制造方法及图纸

一种基板清洗装置，适于清洗一沿着一移动方向来移动的基板，该基板清洗装置包括：　　　　第一毛刷轮，沿着第一旋转轴线来旋转，用以刷洗该基板的第一表面，其中该第一旋转轴线与该移动方向的夹角大于０度且小于９０度；以及　　　　第一角度调整器，连接于该第一毛刷轮，用以调整该第一旋转轴线与该移动方向的夹角。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种清洗装置，特别是涉及一种利用毛刷轮来清洗基板表 面的装置。
技术介绍
由于平面显示技术的突飞猛进，其应用逐渐从计算机用屏幕延伸至家用电视。就薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)制作工艺而言，清洗步骤 经常连接于镀膜、光刻及蚀刻等步骤的前、中、后等时机，用以维持显示 器基板在生产过程中的表面洁净度。基板表面的清洗方式包括化学性及物理性的清洗方式。举例而言，利 用转动中的毛刷轮表面的纤毛来刷洗(scrub)基板表面以达到清洗目的者 属于物理性的清洗方式。毛刷刷洗(brush cleaning)通常应用于刚拆封后的 素玻璃基板的清洗，并广泛地应用于目前的湿式清洗设备。由于显示器基 板的尺寸的不断增加，大尺寸素玻璃基板的清洗步骤大多已采用毛刷刷洗， 所以毛刷刷洗装置的零组件具有很大的市场商机。在实际应用上，以滚轮式毛刷来清洗基板表面的可控制参数包括毛刷 接触基板的时间及压合力道。因此，为了提高基板表面的清洗度，可增加 毛刷接触基板的时间、增加毛刷接触基板的压合力道或同时增加时间及压 合力道。然而，若增加毛刷接触基板的时间，则势必造成清洗步骤所消耗的时 间过长，这不利于显本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡东璋，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：