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一种基板清洗装置，适于清洗一沿着一移动方向来移动的基板，该基板清洗装置包括：　　　　第一毛刷轮，沿着第一旋转轴线来旋转，用以刷洗该基板的第一表面，其中该第一旋转轴线与该移动方向的夹角大于０度且小于９０度；以及　　　　第一角度调整器，连接于该...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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