一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖制造技术

本实用新型专利技术属于冷却装置技术领域，涉及一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖，包括盘形的本体，所述本体的中部设有进气管口，所述本体的偏心位置设有出气管口，所述本体内设有环绕所述进气管口和所述出气管口的走水腔，所述走水腔包括环绕所述出气管口的上出口的进水管，所述进水管上设有进水口，所述本体的上表面还设有一个连通所述走水腔的出水管。本实用新型专利技术通过在顶盖内设置水冷结构，既降低了顶盖的外表面温度，又对离开设备的气体做了预冷，充分利用了顶盖的空间，提高了处理的安全性。提高了处理的安全性。提高了处理的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖


[0001]本技术涉及冷却装置
，特别涉及一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖。

技术介绍

[0002]电气工业中有时候会用到很多氟化物，如三氟化氮NF3、四氟化碳CF4、六氟化硫SF6等，在微电子行业它们都可以用作电子蚀刻剂。然而它们都属于温室气体，因此在排放前需要收集起来做去氟处理。为了完成以上处理，本公司开发了一种加热催化分解设备，它具有同轴设置的顶盖、加热管和外壳，顶盖处有进气口和出气口，加热管中间用来给含氟气体预热，加热管与外壳之间有热催化剂。含氟气体从进气口进气，向下通过加热管时升温，热气从加热管下部流出，然后再向上穿过热催化剂进行分解，最后从出气口排出。因为这个处理过程必须用到加热，所以设备内部很热，顶盖同样也会因热而变形，严重会导致气体泄漏；且流出设备的气体初始温度也很高，更容易导致烫伤。
[0003]因此有必要改进顶盖结构，使气体得到冷却并降低顶盖温度。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖，能够利用水冷结构帮助降低顶盖的表面温度，又对离开设备的气体进行了预冷，充分利用了顶盖的空间，提高了处理的安全性。
[0005]本技术通过如下技术方案实现上述目的：一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖，包括盘形的本体，所述本体的中部设有进气管口，所述本体的偏心位置设有出气管口，所述本体内设有环绕所述进气管口和所述出气管口的走水腔，所述走水腔包括环绕所述出气管口的上出口的进水管，所述进水管上设有进水口，所述本体的上表面还设有一个连通所述走水腔的出水管。
[0006]具体的，所述进水管与所述出水管位于穿过所述本体轴线的同一直径的两侧。
[0007]具体的，所述本体包括与所述进气管口同轴焊接的上部和下部，所述上部和所述下部均被所述进气管口穿过，所述进水管与所述出水管均设于所述上部的上表面。
[0008]进一步的，所述上部的底面设有圆槽，所述下部的外径大于所述圆槽的内径，所述进气管口的外壁、所述下部的上表面及所述圆槽围成所述走水腔。
[0009]进一步的，所述上部的上表面上设有一对对称设于所述进气管口两侧的把手。
[0010]进一步的，所述上部的边缘具有用来与加热催化分解设备的外壳固定的法兰边。
[0011]具体的，所述本体上还设有用来安装测温装置的安装孔，所述安装孔穿透所述本体的上下表面。
[0012]本技术技术方案的有益效果是：
[0013]本技术通过在顶盖内设置水冷结构，既降低了顶盖的外表面温度，又对离开设备的气体做了预冷，充分利用了顶盖的空间，提高了处理的安全性。
附图说明
[0014]图1为实施例水冷顶盖的剖视图；
[0015]图2为实施例水冷顶盖的俯视透视图；
[0016]图3为实施例水冷顶盖与加热管和外壳的位置关系图。
[0017]图中数字表示：
[0018]1‑
本体，11
‑
进气管口，12
‑
出气管口，13
‑
上部，131
‑
法兰边，132
‑
安装孔，133
‑
把手，14
‑
下部，15
‑
走水腔，151
‑
进水管，152
‑
进水口，153
‑ꢀ
出水管；
[0019]2‑
加热管；
[0020]3‑
外壳。
具体实施方式
[0021]下面结合具体实施例对本技术作进一步详细说明。
[0022]实施例：
[0023]如图1至图3所示，本技术的一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖，包括盘形的本体1，本体1的中部设有进气管口11，本体1的偏心位置设有出气管口12，本体1内设有环绕进气管口11和出气管口12的走水腔15，走水腔15包括环绕出气管口12的上出口的进水管151，进水管 151上设有进水口152，本体1的上表面还设有一个连通走水腔15的出水管153。进气管口11的内径匹配加热管2的外径，两者之间密封连接，这样待处理的气体从进气管口11就导入加热管2中，加热管2内可以用电加热方式、等离子体加热方式帮助气体升高温度，等高温气体从加热管2内流动到外壳3与加热管2之间的热催化剂中后，气体就开始催化分解成无害的气体，最后再从出气管口12流出。在这个过程中，外壳3内部都会有较高的热量，而冷却水从进水管151进入走水腔15再从出水管153流出。因为冷却水温度最低是在包围出气管口11的进水管151处，所以能够大量吸收气体中的热量，帮离开设备的气体降低到一个比较低的温度。同时处在走水腔15内的冷却水又构成了一个环形的水隔热层，热量一旦到达水隔热层，绝大部分热量就会随冷却水的流动而被带走，达到降低顶盖的外表面温度的效果。所以本技术通过在顶盖内设置水冷结构，既降低了顶盖的外表面温度，又对离开设备的气体做了预冷，充分利用了顶盖的空间，提高了处理的安全性。
[0024]如图2所示，进水管151与出水管153位于穿过本体1轴线的同一直径的两侧。走水腔15是一种环形的腔体，从进水管151进入的冷却水可以从两侧绕过进气管口11到达出水管153，两边的距离相等，所以冷却水的流速两边会比较平均，避免一侧路程短一侧路程长而导致吸热不均。
[0025]如图1所示，本体1包括与进气管口11同轴焊接的上部13和下部14，上部13和下部14均被进气管口11穿过，进水管151与出水管153均设于上部13的上表面。本体1是一种焊接结构，这样比较方便在内部设置走水腔15。因为冷却水从高于走水腔15的进水口152流入，又从高于走水腔 15的出水管153流出，所以不会发生气体困在走水腔15内的问题，能够保证热量被冷却水充分带走。
[0026]如图1和图2所示，上部13的底面设有圆槽，下部14的外径大于圆槽的内径，进气管口11的外壁、下部14的上表面及圆槽围成走水腔15。下部14是面向设备内侧的部分，并且是承载冷却水重量的部位，需要有一定的厚度，因此通过圆槽掏空的上部13的下表面来形成
走水腔15较好。
[0027]如图1和图3所示，上部13的边缘具有用来与加热催化分解设备的外壳3固定的法兰边131。法兰边131上均布有很多固定孔，可以与外壳3进行多点固定，中间夹持密封圈以保证两者之间的密封性。
[0028]如图1和图2所示，上部13的上表面上设有一对对称设于进气管口11 两侧的把手133。因为可能在紧急状态下需要拆下顶盖，而若此时设备还在工作，上部13多少还会有一定温度，容易烫伤操作人员。把手133只是设于上部13的一个小结构，热量传导比较慢，所以在提起顶盖时不大会烫手。
[0029]如图2所示，本体1上还设有用来安装测温装置的安装孔132，安装孔 132穿透本体1的上下表面。设备在工作时内部温度需要得到控制，这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于加热催化分解设备的水冷顶盖，其特征在于：包括盘形的本体，所述本体的中部设有进气管口，所述本体的偏心位置设有出气管口，所述本体内设有环绕所述进气管口和所述出气管口的走水腔，所述走水腔包括环绕所述出气管口的上出口的进水管，所述进水管上设有进水口，所述本体的上表面还设有一个连通所述走水腔的出水管。2.根据权利要求1所述的用于加热催化分解设备的水冷顶盖，其特征在于：所述进水管与所述出水管位于穿过所述本体轴线的同一直径的两侧。3.根据权利要求1所述的用于加热催化分解设备的水冷顶盖，其特征在于：所述本体包括与所述进气管口同轴焊接的上部和下部，所述上部和所述下部均被所述进气管口穿过，所述进水管与所述出水管均设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帅，
申请(专利权)人：星烁苏州电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：