本实用新型专利技术公开了一种硅片表面色差去除装置,涉及硅片技术领域,包括装置本体,所述装置本体包括水槽、清洗装置和去除装置,所述水槽上设置有清洗装置,所述水槽一端设置有去除装置,所述去除装置包括机架、皮带、安装块、收卷辊和限位板,所述机架上端驱动连接有皮带,所述两端机架上端均固定连接有安装块,所述两端机架上均安装有三组安装块,且均为对称设置,所述安装块之间连接有收卷辊,所述皮带上端固定连接有限位板,所述限位板等间距设置有若干个,该一种硅片表面色差去除装置,通过去除装置的设置,通过收卷辊对其进行进行摩擦去除,进而进一步提高该硅片表面色差去除装置的色差去除效果,从而使得该装置实用性增强。从而使得该装置实用性增强。从而使得该装置实用性增强。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面色差去除装置
[0001]本技术涉及硅片
,具体为一种硅片表面色差去除装置。
技术介绍
[0002]元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素,硅晶片又称晶圆片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造。
[0003]经检索,中国专利授权号为CN 215299195 U的专利,公开了一种硅片清洗烘干装置,属于硅片清洗装置领域,该一种硅片清洗烘干装置,包括清洗机构和烘干机构,所述清洗机构包括清洗箱、螺纹杆、固定板、电机和第一水泵,所述清洗箱一端开通,所述螺纹杆两端转动连接在所述清洗箱内壁,所述烘干机构包括支架、电动推杆、盖板和热风机,所述支架固定在所述清洗箱顶面,所述电动推杆固定在所述支架一侧,所述盖板固定在所述电动推杆输出端,所述热风机固定在所述盖板一侧,所述热风机一端连接有风管,所述风管穿透所述盖板表面朝向所述清洗箱内部,该一种硅片清洗烘干装置利用底部循环泵对杂质进行吸附,使得清洗液始终保持较澄清清洗效果好;但依然存在的问题是现有的硅片表面存在一定的色差,且去除程序繁琐,从而导致该装置在使用过程中存在一定的局限性。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种硅片表面色差去除装置,解决了
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:本技术提供了一种硅片表面色差去除装置,包括装置本体,所述装置本体包括水槽、清洗装置和去除装置,所述水槽上设置有清洗装置,所述水槽一端设置有去除装置,所述去除装置包括机架、皮带、安装块、收卷辊和限位板,所述机架上端驱动连接有皮带,所述两端机架上端均固定连接有安装块,所述两端机架上均安装有三组安装块,且均为对称设置,所述安装块之间连接有收卷辊。
[0006]优选的,所述皮带上端固定连接有限位板,所述限位板等间距设置有若干个。
[0007]优选的,所述清洗装置包括液压缸、液压杆、第一通孔、安装槽、电动推杆、推板和第二通孔。
[0008]优选的,所述水槽底部设置有液压缸,所述液压缸一侧固定套接有液压杆,所述水槽一端开设有第一通孔。
[0009]优选的,所述水槽上端固定连接有安装槽,所述安装槽一端开设有第二通孔,所述第二通孔一端的水槽上固定连接有电动推杆,所述电动推杆一端固定连接有推板,所述推板贯穿第二通孔内部。
[0010]本技术提供了一种硅片表面色差去除装置。具备以下有益效果:
[0011]该一种硅片表面色差去除装置,通过去除装置的设置,通过收卷辊对其进行摩擦
去除,进而进一步提高该硅片表面色差去除装置的色差去除效果,从而使得该装置实用性增强。
附图说明
[0012]图1为本技术整体的结构示意图;
[0013]图2为本技术清洗装置结构示意图;
[0014]图3为本技术电动推杆位置结构示意图;
[0015]图4为本技术去除装置结构示意图;
[0016]图中,1、装置本体;2、水槽;3、清洗装置;31、液压缸;32、液压杆;33、第一通孔;34、安装槽;35、电动推杆;36、推板;37、第二通孔;4、去除装置;41、机架;42、皮带;43、安装块;44、收卷辊;45、限位板;
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
‑
4,本技术实施例提供一种技术方案:一种硅片表面色差去除装置,包括装置本体1,所述装置本体1包括水槽2、清洗装置3和去除装置4,所述水槽2上设置有清洗装置3,所述水槽2一端设置有去除装置4,所述去除装置4包括机架41、皮带42、安装块43、收卷辊44和限位板45,所述机架41上端驱动连接有皮带42,所述两端机架41上端均固定连接有安装块43,所述两端机架41上均安装有三组安装块43,且均为对称设置,所述安装块43之间连接有收卷辊44。通过设置有去除装置4,通过在皮带42上安装有限位板45,从而使得限位板45对硅片进行限位,且通过在皮带43上设置有收卷辊44,且在收卷辊44上设有膜布,对其进行擦拭,从而使得对其上端的色差进行去除。
[0019]所述皮带42上端固定连接有限位板45,所述限位板45等间距设置有若干个。通过限位板45的设置,通过在皮带42上设置有限位板45,通过限位板45对其进行限位,避免在进行收卷辊44对其进行擦拭时,出现硅片移动的问题发生,从而使得该装置实用性增强。
[0020]所述清洗装置3包括液压缸31、液压杆32、第一通孔33、安装槽34、电动推杆35、推板36和第二通孔37。通过设置有清洗装置3,通过对其进行浸泡,从而使得可将其表面色差进行处理,从而方便后续对其去除工作,从而使得该装置实用性增强,且适用范围更广。
[0021]所述水槽2底部设置有液压缸31,所述液压缸31一侧固定套接有液压杆32,所述水槽2一端开设有第一通孔33。通过设置液压缸31和液压杆32,从而方便将其从水中推起,从而使得可进行推动,从而使得该装置使用更加便捷。
[0022]所述水槽2上端固定连接有安装槽34,所述安装槽34一端开设有第二通孔37,所述第二通孔37一端的水槽2上固定连接有电动推杆35,所述电动推杆35一端固定连接有推板36,所述推板36贯穿第二通孔37内部。通过设置有电动推杆35和第二通孔37,电动推杆35推动推板36且贯穿第二通孔37,从而使得可将硅片进行推出,以便于对其进行色差去除工作,从而使得该装置实用性增强。
[0023]工作原理:该一种硅片表面色差去除装置,首先通过将硅片放置在安装槽34内,且放置在水槽2中浸泡,通过底部的液压缸31内部的液压油推动液压杆进行上下的移动,从而将硅片进行推起,且通过一侧电动推杆35推动推板36,从而穿过第二通孔37且将硅片从第一通孔33进行推出,从而使得硅片运送至皮带42上端,通过在皮带42上安装有限位板45,从而使得限位板45对硅片进行限位,且通过在皮带43上设置有收卷辊44,且在收卷辊44上设有膜布,对其进行擦拭,从而使得对其上端的色差进行去除,使得该装置实用性增强,且使用更加便捷。
[0024]本技术的1、装置本体;2、水槽;3、清洗装置;31、液压缸;32、液压杆;33、第一通孔;34、安装槽;35、电动推杆;36、推板;37、第二通孔;4、去除装置;41、机架;42、皮带;43、安装块;44、收卷辊;45、限位板;部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0025]以上显示和描述了本实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片表面色差去除装置,包括装置本体(1),其特征在于:所述装置本体(1)包括水槽(2)、清洗装置(3)和去除装置(4),所述水槽(2)上设置有清洗装置(3),所述水槽(2)一端设置有去除装置(4),所述去除装置(4)包括机架(41)、皮带(42)、安装块(43)、收卷辊(44)和限位板(45),所述机架(41)上端驱动连接有皮带(42),所述两端机架(41)上端均固定连接有安装块(43),所述两端机架(41)上均安装有三组安装块(43),且均为对称设置,所述安装块(43)之间连接有收卷辊(44)。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面色差去除装置,其特征在于:所述皮带(42)上端固定连接有限位板(45),所述限位板(45)等间距设置有若干个。3.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨长剑,陈斯奇,刘静彩,
申请(专利权)人:嘉兴昇望科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。