一种硅片表面色差去除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片表面色差去除装置，涉及硅片技术领域，包括装置本体，所述装置本体包括水槽、清洗装置和去除装置，所述水槽上设置有清洗装置，所述水槽一端设置有去除装置，所述去除装置包括机架、皮带、安装块、收卷辊和限位板，所述机架上端驱动连接有皮带，所述两端机架上端均固定连接有安装块，所述两端机架上均安装有三组安装块，且均为对称设置，所述安装块之间连接有收卷辊，所述皮带上端固定连接有限位板，所述限位板等间距设置有若干个，该一种硅片表面色差去除装置，通过去除装置的设置，通过收卷辊对其进行进行摩擦去除，进而进一步提高该硅片表面色差去除装置的色差去除效果，从而使得该装置实用性增强。从而使得该装置实用性增强。从而使得该装置实用性增强。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片表面色差去除装置


[0001]本技术涉及硅片
，具体为一种硅片表面色差去除装置。

技术介绍

[0002]元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。
[0003]经检索，中国专利授权号为CN 215299195 U的专利，公开了一种硅片清洗烘干装置，属于硅片清洗装置领域，该一种硅片清洗烘干装置，包括清洗机构和烘干机构，所述清洗机构包括清洗箱、螺纹杆、固定板、电机和第一水泵，所述清洗箱一端开通，所述螺纹杆两端转动连接在所述清洗箱内壁，所述烘干机构包括支架、电动推杆、盖板和热风机，所述支架固定在所述清洗箱顶面，所述电动推杆固定在所述支架一侧，所述盖板固定在所述电动推杆输出端，所述热风机固定在所述盖板一侧，所述热风机一端连接有风管，所述风管穿透所述盖板表面朝向所述清洗箱内部，该一种硅片清洗烘干装置利用底部循环泵对杂质进行吸附，使得清洗液始终保持较澄清清洗效果好；但依然存在的问题是现有的硅片表面存在一定的色差，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片表面色差去除装置，包括装置本体(1)，其特征在于：所述装置本体(1)包括水槽(2)、清洗装置(3)和去除装置(4)，所述水槽(2)上设置有清洗装置(3)，所述水槽(2)一端设置有去除装置(4)，所述去除装置(4)包括机架(41)、皮带(42)、安装块(43)、收卷辊(44)和限位板(45)，所述机架(41)上端驱动连接有皮带(42)，所述两端机架(41)上端均固定连接有安装块(43)，所述两端机架(41)上均安装有三组安装块(43)，且均为对称设置，所述安装块(43)之间连接有收卷辊(44)。2.根据权利要求1所述的一种硅片表面色差去除装置，其特征在于：所述皮带(42)上端固定连接有限位板(45)，所述限位板(45)等间距设置有若干个。3.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨长剑，陈斯奇，刘静彩，
申请(专利权)人：嘉兴昇望科技有限公司，
类型：新型
国别省市：