电场传感器制造技术

本申请涉及一种电场传感器，所述电场传感器包括：基座框；固定电极，所述固定电极与所述基座框连接；压电驱动梁，所述压电驱动梁与所述基座框连接，所述压电驱动梁包括多个激励区域；为各个所述激励区域施加驱动电压的驱动电路，其中，向各所述激励区域施加的驱动电压驱动各所述激励区域在垂直方向上向同向移动；可动电极，所述可动电极设置于所述压电驱动梁上，且，在所述电场传感器处于非工作状态时，所述可动电极与所述固定电极位于同一平面上。本申请实现了灵敏度较高的电场传感器。申请实现了灵敏度较高的电场传感器。申请实现了灵敏度较高的电场传感器。

【技术实现步骤摘要】
电场传感器


[0001]本申请涉及电场传感器
，特别是涉及一种电场传感器。

技术介绍

[0002]MEMS(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，微机电系统)电场传感器因具有小型化、低功耗、可集成和易于批量生产等优点，在空间电场测量中有着广泛的应用，也是微型化电场传感器的主要研究方向。
[0003]传统技术中，有压电悬臂梁式MEMS电场传感器和双端固支压电梁式MEMS电场传感器，其中，压电悬臂梁式MEMS电场传感器采用悬臂梁式结构，其压电梁一端有支撑，另一端悬空；双端固支压电梁式MEMS电场传感器采用双端固支结构，其压电梁两端均有支撑。
[0004]然而，压电梁的振幅与梁长度成正相关，压电悬臂梁式MEMS电场传感器由于仅是一端支撑，其梁长度受限制，而双端固支压电梁式MEMS电场传感器虽然可以制作较长的梁，但其压电梁的振幅远小于同样长度的压电悬臂梁式MEMS电场传感器的压电梁的振幅。因此，传统技术中的MEMS电场传感器的压电梁的位移均受限制，进而存在灵敏度低的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电场传感器，其特征在于，所述电场传感器包括：基座框；固定电极，所述固定电极与所述基座框连接；压电驱动梁，所述压电驱动梁与所述基座框连接，所述压电驱动梁包括多个激励区域；为各个所述激励区域施加驱动电压的驱动电路，其中，向各所述激励区域施加的驱动电压驱动各所述激励区域在垂直方向上向同向移动；可动电极，所述可动电极设置于所述压电驱动梁上，且，在所述电场传感器处于非工作状态时，所述可动电极与所述固定电极位于同一平面上。2.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁为梳齿结构。3.根据权利要求2所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括主梁和与所述主梁连接的多个梳齿梁；所述压电驱动梁包括第一激励区域、第二激励区域以及第三激励区域；其中，所述第一激励区域位于所述主梁的两端；所述第二激励区域位于所述主梁的中段；所述第三激励区域位于所述梳齿梁上。4.根据权利要求3所述的电场传感器，其特征在于，所述驱动电路，用于向所述第一激励区域和所述第二激励区域施加幅值相同，相位相反的交流电，并用于向所述第一激励区域和所述第三激励区域施加相位相同的交流电。5.根据权利要求2至4任一所述的电场传感器，其特征在于，所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏，田兵，骆柏锋，尹旭，吕前程，刘仲，张佳明，陈仁泽，樊小鹏，王志明，钟枚汕，何毅，
申请(专利权)人：南方电网数字电网研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：